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番号 発明の名称
1 ギヤドモータ及びギヤドモータ用軸部材
2 ピニオン付きモータ
3 リニアパルスモータの制御方法
4 リニアパルスモータの制御方法
5 ギヤドモータ、ギヤドモータのシリーズ及びギヤドモータの製造方法
6 アクチュエータ及び平面移動装置
7 多自由度アクチュエータ
8 リニアモータ
9 アクチュエータ
10 リニアモータ及びその製造方法及びこのリニアモータを用いたステージ装置
11 アクチュエータ及び平面モータ及び平面移動装置
12 ピニオン一体型モータ

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