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発明の名称 グリーンシート及びその製造方法と製造装置、並びにこれを用いたプラズマディスプレイパネル及びその製造方法
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開2007−141850(P2007−141850A)
公開日 平成19年6月7日(2007.6.7)
出願番号 特願2006−315377(P2006−315377)
出願日 平成18年11月22日(2006.11.22)
代理人 【識別番号】110000165
【氏名又は名称】グローバル・アイピー東京特許業務法人
発明者 朴 大鉉 / 金 卿九 / 徐 炳華 / 朴 ▲ミン▼洙 / 全 源錫 / 申 東牛 / 朴 徳海 / 李 洪哲 / 金 濟▲ソク▼ / 柳 炳吉 / ▲ベ▼ 範鎭 / 姜 南錫
要約 課題
プラズマディスプレイパネル及びその製造工程において、製造工程を単純化し、電極に用いられる材料の損失を防止し、電極形成時、乾燥工程なしに電極パターンを形成できるグリーンシート及びその製造方法と製造装置、並びにこれを用いたプラズマディスプレイパネル及びその製造方法を提供する。

解決手段
ディスプレイパネルの製造に用いられるグリーンシートにおいて、多数の電極材料46が所定間隔をおいて結合される誘電体グリーンシート71と、前記誘電体グリーンシート71の少なくとも一面に付着される保護フィルム47と、を含んでグリーンシートを構成する。
特許請求の範囲
【請求項1】
ディスプレイパネルの製造に用いられるグリーンシートにおいて、
多数の電極材料が所定間隔をおいて結合される誘電体グリーンシートと、
前記誘電体グリーンシートの少なくとも一面に付着される保護フィルムと、を含んで構成されることを特徴とするグリーンシート。
【請求項2】
前記電極材料と誘電体グリーンシートは、
前記誘電体グリーンシートに前記電極材料が埋め込まれて互いに結合されることを特徴とする請求項1に記載のグリーンシート。
【請求項3】
前記電極は、プラズマディスプレイパネルのバス電極であることを特徴とする請求項1に記載のグリーンシート。
【請求項4】
電極グリーンシートと、
前記電極グリーンシート上に位置する感光性有機物層と、
前記電極グリーンシートまたは感光性有機物層を保護する保護フィルムと、を含んで構成されることを特徴とするグリーンシート。
【請求項5】
前記感光性有機物層は、PR(photoresist)感光性有機物からなることを特徴とする請求項4に記載のグリーンシート。
【請求項6】
前記電極グリーンシートは、
電極パウダーと、
前記電極パウダーと混合され、現像工程時に現像液によって除去される有機物と、を含んで構成されることを特徴とする請求項4に記載のグリーンシート。
【請求項7】
前記電極グリーンシートは、
フォイル形態の電極と、
前記フォイル形態の電極と混合され、現像工程時に現像液によって除去される有機物と、を含んで構成されることを特徴とする請求項4に記載のグリーンシート。
【請求項8】
請求項4に記載のグリーンシートを用いたプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
上部基板に感光性ブラックマトリックスグリーンシートを塗布し、ブラックマトリックス用マスクを用いて露光させる段階と、
前記塗布されたブラックマトリックス上部に電極グリーンシートを塗布し、電極用マスクを用いて露光させる段階と、
前記露光されたブラックマトリックスグリーンシート及び電極グリーンシートを現像する段階と、を含んで構成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項9】
前記ブラックマトリックスグリーンシートは、実際に映像が表示されるアクティブ領域以外のパッド領域で、全体が露光されることを特徴とする請求項8に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項10】
前記現像段階で、前記電極グリーンシートは、前記感光性有機物層の露光部分によってパターニングされ、前記パターニングされて感光性有機物層が除去された部分は、現像液によって除去されることを特徴とする請求項8に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項11】
第1保護フィルム上に誘電体グリーンシートを付着する段階と、
前記誘電体グリーンシートに電極材料を所定間隔をおいて埋め込んで互いに結合する段階と、を含んで構成されることを特徴とするグリーンシート製造方法。
【請求項12】
前記電極材料は、第2保護フィルムに付着された状態で前記誘電体グリーンシートに結合されることを特徴とする請求項11に記載のグリーンシート製造方法。
【請求項13】
前記電極材料は、
インクジェット方法、ディスペンシング方法またはオフセット方法によって前記第2保護フィルム上に形成されることを特徴とする請求項12に記載のグリーンシート製造方法。
【請求項14】
前記誘電体グリーンシートに電極材料を所定間隔をおいて埋め込んで互いに結合する段階では、
前記誘電体グリーンシートと電極材料とが一対のローラによって結合されることを特徴とする請求項11に記載のグリーンシート製造方法。
【請求項15】
第1保護フィルム上に誘電体グリーンシートを付着する一対の第1ローラと、
第2保護フィルム上に所定パターンの電極材料を形成する電極材料供給部と、
前記誘電体グリーンシートに、前記電極材料供給部で形成された所定パターンの電極材料を結合する一対の第2ローラと、から構成されることを特徴とするグリーンシート製造装置。
【請求項16】
プラズマディスプレイパネルにおいて、
Ag原材料を薄膜化して形成した電極を含んで構成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項17】
前記電極の厚さは、5〜10μmであることを特徴とする請求項16に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項18】
前記電極には、Ag原材料の結晶構造が維持されることを特徴とする請求項16に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項19】
前記電極の材料は、Ag原材料の圧延によって製造することを特徴とする請求項16に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項20】
前記電極の材料は、Ag薄膜またはAgフォイルであることを特徴とする請求項16に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項21】
前記電極は、ブラックマトリックス上に位置することを特徴とする請求項16に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項22】
前記ブラックマトリックスは、パネルの透明電極上のブラック層に連結形成されることを特徴とする請求項21に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項23】
前記電極は、パネルの透明電極上に形成されるブラック層上に位置することを特徴とする請求項16に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項24】
前記電極は、バス電極またはアドレス電極であることを特徴とする請求項16に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項25】
電極をそれぞれ含む上部パネル及び下部パネルを備えており、前記電極のうち何れか一つ以上がAg原材料の結晶構造を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項26】
上部基板または下部基板上にAg原材料を薄膜化して製造したAg層を転写する転写段階と、
前記Ag層をパターニングして電極を形成するパターニング段階と、を含んで構成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの電極製造方法。
【請求項27】
前記転写段階では、上部基板上に形成されたブラックマトリックスパターン上に前記Ag層を転写することを特徴とする請求項26に記載のプラズマディスプレイパネルの電極製造方法。
【請求項28】
前記Ag層は、Agフォイル形態であることを特徴とする請求項26に記載のプラズマディスプレイパネルの電極製造方法。
【請求項29】
前記Ag層の製造段階は、
Ag原材料を圧延して薄膜化する段階と、
前記薄膜化されたAg原材料を軟化する段階と、を含んで構成されることを特徴とする請求項26に記載のプラズマディスプレイパネルの電極製造方法。
【請求項30】
前記軟化したAg原材料をDFR(dry film resist)にラミネートする段階をさらに含むことを特徴とする請求項29に記載のプラズマディスプレイパネルの電極製造方法。
【請求項31】
前記パターニング段階では、エッチングによってパターニングすることを特徴とする請求項26に記載のプラズマディスプレイパネルの電極製造方法。
【請求項32】
前記エッチングには、酸(Acid)を用いることを特徴とする請求項31に記載のプラズマディスプレイパネルの電極製造方法。
【請求項33】
前記転写段階では、下部基板上に形成された下地膜上に前記Ag層を転写することを特徴とする請求項26に記載のプラズマディスプレイパネルの電極製造方法。
【請求項34】
基板と、
前記基板上に形成される透明電極と、
前記透明電極上に形成され、Ag原材料が薄膜化されて形成されたバス電極と、
前記透明電極、バス電極及び基板を覆う誘電体層と、
前記誘電体層上に位置する保護膜と、を含んで構成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの上部パネル。
【請求項35】
前記透明電極とバス電極との間には、ブラック層が形成されることを特徴とする請求項34に記載のプラズマディスプレイパネルの上部パネル。
【請求項36】
前記ブラック層は、ブラックマトリックスに連結形成されることを特徴とする請求項35に記載のプラズマディスプレイパネルの上部パネル。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、グリーンシート及びその製造方法と製造装置、並びにこれを用いたプラズマディスプレイパネル及びその製造方法に関するもので、特に、製造工程を縮小するとともに、電極の形成形態及び結晶状態を向上できるグリーンシート及びその製造方法と製造装置、並びにこれを用いたプラズマディスプレイパネル及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
プラズマディスプレイパネル(plasma display panel:以下、PDPという)は、放電現象を用いて画像を表示する発光型素子の一種である。このPDPは、各セルごとにアクティブ素子を装着する必要がないので、製造工程が簡単であり、画面の大型化が容易でかつ、応答速度が速いので、大型画面を有する画像表示装置の表示素子として脚光を浴びている。
【0003】
上記のようなPDPは、図1に示すように、上部パネル10と下部パネル20とを対向させて重ね合わせた構造となっている。前記上部パネル10には、上部基板11上に多数対の維持電極が配列されるが、通常、この維持電極は、それぞれ透明電極12及びバス電極13からなる。
【0004】
前記維持電極は、AC駆動のための誘電体層14によって被覆され、この誘電体層14の表面には、保護膜15が形成される。
【0005】
一方、前記下部パネル20の内面には、下部基板21上にアドレス電極22が配列され、その上に誘電体層23が形成され、この誘電体層23上には、放電セル空間を分離するためのストライプまたはウェルタイプの隔壁24が形成される。この隔壁24によって区画されるセルには、カラー表示のための赤色、青色及び緑色の蛍光体層26が塗布されることで、サブピクセルが構成される。
【0006】
前記隔壁24によって放電セル25がサブピクセルごとに区画され、この放電セル25には放電ガスが封入され、一つのピクセルは、前記3個のサブピクセルからなる。
【0007】
前記電極のうち、銀(Ag)を含むバス電極13を形成する方法としては、通常、電極ペーストを用いる方法と、グリーンシートを用いるドライフィルム法が挙げられる。
【0008】
前記電極ペーストを用いる方法では、まず、ブラックマトリックス(Black Matrix;BM)ペーストを、印刷によって上部基板の全面に塗布してから乾燥する。
【0009】
前記乾燥過程後、ブラックマトリックス用マスクを用いてブラックマトリックスパターンで露光を実施し、露光されたブラックマトリックス部分を現像液を用いてエッチングし、ブラックマトリックスパターンを形成する。
【0010】
前記ブラックマトリックスは、通常、透明電極12対の間の非放電領域に形成されるが、コントラストを高めるために、透明電極12対の間にブラック層が形成されることもある。
【0011】
前記ブラックマトリックスパターンが形成された基板上に、前記ブラックマトリックス層形成過程と同様に、バス電極13用電極ペーストを印刷によって塗布してから乾燥する。
【0012】
前記乾燥過程後、バス電極13上に電極用マスクを用いてパターン露光を実施し、この露光が終了すると、現像液を用いてパターンを形成し、その後、焼成過程を経てバス電極13を形成する。
【0013】
上記のような従来のペーストを用いる方法及びドライフィルム法によって電極を形成する際、印刷及び乾燥工程のために印刷機及び印刷用マスクなどの装備が必要となり、乾燥工程のために時間的・空間的な消耗が大きくなる。
【0014】
また、上記のように、前記ペーストには電極に含まれるAgが粒子状態で存在し、このAg粒子を有機バインダーなどのビヒクルと一緒に用いてパターンを形成した後、焼結して結晶状態に作る方法を用いている。
【0015】
すなわち、図2に示すように、Ag粒子27は、塗布された状態では、ペーストまたはグリーンシートに存在するが、焼成過程を経ると、図3に示すように、各粒子が互いに焼結して結晶状態の電極28をなす。
【0016】
上記のようなAg電極28の結晶状態では、Ag原材料(バルク)より低下した特性を有し、電極28の抵抗及びその他の電気的特性に影響を及ぼすようになる。
【0017】
これは、図3の点線で示すように、Ag粒子を焼成してなる結晶は、多くの界面29を有しており、この界面29によって、Agの特性がバルク状態の原材料の特性より低下してしまう。特に、この界面29では、電気抵抗が大きくなる。
【0018】
さらに、上記のような従来のAg電極の形成方法は、パネルの電極を高精細に形成することを妨害している。
【0019】
したがって、Ag電極を形成するにおいて、粒子の大きさ及び結晶化度を高める方向に改善する必要がある。
【0020】
また、前記バス電極及び誘電体層が互いに異なる工程によって形成されるので、製造工程が複雑であり、バス電極を形成する際に露光現像工程が用いられるので、バス電極以外の領域に塗布された感光性電極ペーストの材料が損失されることもある。
【0021】
一方、上記の過程を通して形成されたPDP構造では、実際に画像を表示するアクティブ領域及びこのアクティブ領域以外のパッド領域においてブラックマトリックスの構造が異なるので、このブラックマトリックス上に形成される電極構造に損傷が発生しうる。
【0022】
すなわち、図4と、図4の各部分(a、b及びc)の断面図である図5A〜図5Cに示すように、ブラックマトリックス16は、アクティブ領域(a)においては、上部基板11の一部領域に形成された透明電極12上の一部領域と、二つの透明電極12の間に露出された上部基板11上に形成され、パッド領域(b、c)においては、上部基板11上のバス電極13が形成される領域のみに形成される。
【0023】
上述したPDPの製造過程から分かるように、従来のPDPは、ブラックマトリックス16及びバス電極13を形成するために、ブラックマトリックス用ペースト及びバス電極用ペーストをスクリーンプリンティングによって塗布してから乾燥すべきであって、スクリーンプリンティングのための装備が必要であり、乾燥工程を経るべきである。
【0024】
また、従来のPDPは、ブラックマトリックス用ペースト露光時に用いられるブラックマトリックス用マスクが、アクティブ領域(a)のみに露光され、パッド領域(b、c)には露光されないように製作されるので、焼成前にブラックマトリックス16の硬化が行われず、パターン現像及び焼成時、パッド領域でパターン崩れ現象が発生する確率が高くなる。その結果、ブラックマトリックス上に形成される電極構造にも、損傷が発生しうる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0025】
本発明は、上記の問題点を解決するためのもので、その目的は、プラズマディスプレイパネル及びその製造工程において、製造工程を単純化し、電極に用いられる材料の損失を防止し、電極形成時、乾燥工程なしに電極パターンを形成できるグリーンシート及びその製造方法と製造装置、並びにこれを用いたプラズマディスプレイパネル及びその製造方法を提供することにある。
【0026】
また、パッド領域におけるブラックマトリックスと電極との間の整列問題を解決し、パターン現像及び焼成時に発生しうるパターン崩れ現象を除去することで、微細パターンを実現することができ、電極の形成形態及び結晶状態を向上させて電気抵抗を低下することで、パネル全体の効率を向上できるグリーンシート及びその製造方法と製造装置、並びにこれを用いたプラズマディスプレイパネル及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0027】
上記のような本発明の目的を達成するための第1観点として、ディスプレイパネルの製造に用いられるグリーンシートにおいて、多数の電極材料が所定間隔をおいて結合される誘電体グリーンシートと、前記誘電体グリーンシートの少なくとも一面に付着される保護フィルムと、を含んで構成されることが好ましい。
【0028】
上記のような本発明の目的を達成するための第2観点として、電極グリーンシートと、前記電極グリーンシート上に位置する感光性有機物層と、前記電極グリーンシートまたは感光性有機物層を保護する保護フィルムと、を含んで構成されることが好ましい。
【0029】
上記のような本発明の目的を達成するための第3観点として、本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法において、上部基板に感光性ブラックマトリックスグリーンシートを塗布し、ブラックマトリックス用マスクを用いて露光させる段階と、前記塗布されたブラックマトリックスグリーンシートの上部に電極グリーンシートを塗布し、電極用マスクを用いて露光させる段階と、前記露光されたブラックマトリックスグリーンシート及び電極グリーンシートを現像する段階と、を含んで構成されることが好ましい。
【0030】
上記のような本発明の目的を達成するための第4観点として、本発明は、第1保護フィルム上に誘電体グリーンシートを付着する段階と、前記誘電体グリーンシートに電極材料を所定間隔をおいて埋め込んで互いに結合する段階と、を含んで構成されることが好ましい。
【0031】
上記のような本発明の目的を達成するための第5観点として、本発明は、グリーンシート製造装置において、第1保護フィルム上に誘電体グリーンシートを付着する一対の第1ローラと、第2保護フィルム上に所定パターンの電極材料を形成する電極材料供給部と、前記誘電体グリーンシートに、前記電極材料供給部で形成された所定パターンの電極材料を結合する一対の第2ローラと、から構成されることが好ましい。
【0032】
上記のような本発明の目的を達成するための第6観点として、本発明は、プラズマディスプレイパネルにおいて、Ag原材料を薄膜化して形成した電極を含んで構成されることが好ましい。
【0033】
上記のような本発明の目的を達成するための第7観点として、本発明は、プラズマディスプレイパネルにおいて、電極をそれぞれ含む上部パネル及び下部パネルを備えており、前記電極のうち何れか一つ以上がAg原材料の結晶構造を有することが好ましい。
【0034】
上記のような本発明の目的を達成するための第8観点として、本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法において、上部基板または下部基板上にAg原材料を薄膜化して製造したAg層を転写する転写段階と、前記Ag層をパターニングして電極を形成するパターニング段階と、を含んで構成されることが好ましい。
【0035】
上記のような本発明の目的を達成するための第9観点として、本発明は、プラズマディスプレイパネルの上部パネルにおいて、基板と、前記基板上に形成される透明電極と、前記透明電極上に形成され、Ag原材料が薄膜化されて形成されたバス電極と、前記透明電極、バス電極及び基板を覆う誘電体層と、前記誘電体層上に位置する保護膜と、を含んで構成されることが好ましい。
【発明の効果】
【0036】
本発明に係るプラズマディスプレイパネル及びその製造工程において、製造工程を単純化し、電極に用いられる材料の損失を防止し、電極形成時、乾燥工程なしに電極パターンを形成できるという効果がある。
【0037】
また、本発明に係るグリーンシートとその製造方法及び製造装置、並びにこれを用いたプラズマディスプレイパネル及びその製造方法において、パッド領域におけるブラックマトリックスと電極との間の整列問題を解決し、パターン現像及び焼成時に発生しうるパターン崩れ現象を除去することで、微細パターンを実現することができ、電極の形成形態及び結晶状態を向上させて電気抵抗を低下することで、パネル全体の効率を向上できるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【0038】
以下、本発明の好適な実施例について、添付の図面に基づいて詳細に説明する。
【0039】
<第1実施例>
【0040】
図6は、本発明に係るPDPの上部パネルを示す平面図で、図示したように、実際に映像が表示されるアクティブ領域に形成されたブラックマトリックス30の構造と、パッド領域に形成されたブラックマトリックス30の構造とが異なっている。
【0041】
図7A〜図7Cは、図6に表示された各部分(a、b及びc)に対する断面図で、図7A〜図7Cに示すように、ブラックマトリックス30は、アクティブ領域(a)においては、バス電極40が形成される領域と、二つの透明電極60の間に露出された上部基板50の上部に形成され、パッド領域(b、c)においては、バス電極40が形成される領域のみならず、それ以外の全領域に形成される。
【0042】
すなわち、アクティブ領域(a)に対する断面図に示すように、ブラックマトリックス30は、上部基板50上に形成された透明電極60の上部一部と、二つの透明電極60の間に露出された上部基板50上に形成され、パッド領域(b、c)に対する断面図に示すように、ブラックマトリックス30は、上部基板50上の全領域に形成される。
【0043】
図6に示したブラックマトリックス30及びバス電極40は、グリーンシートを用いて形成されるが、図8A及び図8Bは、ブラックマトリックスグリーンシート及びバス電極グリーンシートに対する断面構造をそれぞれ示している。
【0044】
前記ブラックマトリックスグリーンシート31の上部及び下部には、図8Aに示すように、前記ブラックマトリックスグリーンシート31を保護するための保護フィルム32,33が付着される。
【0045】
ここで、前記ブラックマトリックスグリーンシート31は、ネガティブ感光性有機物及び非伝導性黒色度を有するブラックマトリックス用パウダーを含んで構成されるが、前記ブラックマトリックスグリーンシート31は、露光時に露光された部分のみが硬化し、現像時に露光部分のみが残るようになる。
【0046】
また、バス電極グリーンシート41には、図8Bに示すように、その上部に感光性有機物層42が形成され、この感光性有機物層42及びバス電極グリーンシート41を保護するための保護フィルム43,44が付着される。
【0047】
前記感光性有機物層42は、ネガティブPR感光性有機物によって形成され、バス電極用マスクによる露光時に露光された部分のみが維持される性質を有する。前記バス電極グリーンシート41は、Agパウダーと、現像時に露光と関係なしに現像液に溶解される有機物と、を含んで構成される。
【0048】
以下、図8A及び図8Bに示したブラックマトリックスグリーンシート31及びバス電極グリーンシート41を用いてPDPを製造する過程を、図9A〜図9Eに基づいて説明する。
【0049】
まず、図9Aに示すように、上部基板50上にITOなどの物質を塗布し、透明電極用パターンマスク(図示せず)を用いたパターニングを通して透明電極60を形成する。
【0050】
その後、図9Bに示すように、前記透明電極60が形成された上部基板50の上部に、ブラックマトリックスグリーンシート31をラミネーターを用いてラミネートさせる。その後、前記構造物の上部にブラックマトリックス用マスク34を位置させた後、紫外線(UV)露光を実施し、ブラックマトリックスが形成される部分のブラックマトリックスグリーンシート31に含まれたネガティブ感光性有機物を硬化させる。
【0051】
その後、図9Cに示すように、前記構造物の上部に、バス電極グリーンシート41及び感光性有機物層42をラミネーターを用いてラミネートさせ、前記構造物の上部にバス電極用マスク45を所定間隔をおいて位置させた後、紫外線露光を実施する。このとき、前記バス電極グリーンシート41上部にネガティブPRによって形成された感光性有機物層42は、パターン露光された部分のみが硬化される。
【0052】
その後、図9Dに示すように、前記構造物を現像液によって現像するが、前記感光性有機物層42及びブラックマトリックスグリーンシート31において硬化した部分のみが残り、硬化していない部分は現像液によって現像される。すなわち、透明電極60の上部一部及びこの透明電極60の間に露出された上部基板50の上部のみに、硬化したブラックマトリックスグリーンシート31が残り、前記透明電極60の上部に形成されたブラックマトリックスグリーンシート31の上部のみに、硬化した感光性有機物層42及びバス電極グリーンシート41が残る。
【0053】
このとき、前記バス電極グリーンシート41において、感光性有機物層42がパターニングされて露出された部分は、現像液によって溶解されて除去される。
【0054】
その後、図9Eに示すように、前記構造物を焼成することで、ブラックマトリックス30及びバス電極40が形成される。ここで、前記バス電極40の上部に形成された感光性有機物層42は、有機物のみからなるので、焼成時に完全に燃焼されて除去される。
【0055】
上記のような過程を通して、PDPにおいて実際に映像を表示するアクティブ領域の上板構造物が形成される。そして、パッド領域に形成される上板構造物におけるブラックマトリックス形成過程は、前記アクティブ領域に形成される上板構造物におけるブラックマトリックス形成過程と異なる。もちろん、パッド領域には透明電極が形成されない。
【0056】
すなわち、ブラックマトリックスグリーンシートをラミネートさせた後、紫外線を露光するとき、パッド領域にラミネートされたブラックマトリックスグリーンシートは、パターニングされず、全体が露光される。その結果、パッド領域にラミネートされたブラックマトリックスグリーンシートの全体が硬化されることで、現像時に現像される部分なしにパッド領域で上部基板の全面にブラックマトリックスが形成される。
【0057】
本発明によると、前記パッド領域のブラックマトリックスがバス電極領域のみならず、全領域に形成されるので、ブラックマトリックスが露光されずにパターン崩れ現象が発生することを防止できる。その結果、アライン問題が解決されることで、微細パターンを形成可能になる。
【0058】
<第2実施例>
【0059】
以下、本発明に係るグリーンシート製造装置を、図10に基づいて説明する。
【0060】
まず、一対の第1ローラ73,74は、製造された誘電体グリーンシート71と第1保護フィルム72とを付着させ、電極材料供給部80は、第2保護フィルム47に電極材料46を形成する。
【0061】
また、一対の第2ローラ75,76は、前記第1保護フィルム72が付着された誘電体グリーンシート71と、前記電極材料46が形成された第2保護フィルム47とを付着させる。
【0062】
本発明の実施例に係るグリーンシート製造装置においては、第1保護フィルム72上に誘電体グリーンシート71を塗布し、塗布された誘電体グリーンシート71上に電極材料46が結合される。
【0063】
前記グリーンシート製造装置は、誘電体グリーンシート71及び第1保護フィルム72を一対の第1ローラ73,74の間に通過させることで誘電体部材を完成し、電極材料46が形成された保護フィルム47及び前記誘電体部材を、一対の第2ローラ75,76の間に通過させることで、電極材料46が結合された誘電体グリーンシート71を製造する。
【0064】
このとき、前記電極材料46は、図示したように、保護フィルム47上に所定間隔をおいて配置され、この電極材料46は、プラズマディスプレイパネルのバス電極として用いられる。
【0065】
また、前記電極材料46は、誘電体グリーンシート71との結合過程で誘電体グリーンシート71に埋め込まれ、プラズマディスプレイパネルの製造に用いられる。
【0066】
前記第2保護フィルム47上の電極材料46は、インクジェット方法、ディスペンシング方法またはオフセット方法によって形成される。また、前記誘電体グリーンシート71の代りに、誘電体ペーストがスクリーン印刷法によって誘電体材料として用いられる。
【0067】
以下、前記グリーンシート製造装置を用いた前記グリーンシートの製造工程を説明すると、まず、誘電体グリーンシート71は、誘電体グリーンシートのための組成物をキャリアフィルム上に塗布した後、乾燥させてフィルム化することで製造される。
【0068】
その後、製造された誘電体グリーンシート71及び第1保護フィルム72は、一対の第1ローラ73,74に供給され、これら第1ローラ73,74の間を通過して互いに付着される。
【0069】
前記第1保護フィルム72には、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリエチレンフィルムなどのプラスチックフィルムが用いられ、このプラスチックフィルムの一面には、シリコン樹脂などの剥離剤が塗布される。
【0070】
前記誘電体グリーンシート71と第1保護フィルム72とが付着されたグリーンシート部材を製造すると同時に、電極材料46が付着された第2保護フィルム47を製造する。
【0071】
上述したように、前記第2保護フィルム47上に電極材料46を形成する方法には、インクジェット方法、ディスペンシング方法またはオフセット方法が挙げられる。
【0072】
例えば、オフセット方法では、陰極板にバス電極用Ag組成物を注入し、陰極板に形成されたAg組成物をブランケットの円筒に接着し、ブランケットに接着されたAg組成物を保護フィルムの間に印刷する。
【0073】
前記Ag組成物は、保護フィルム47上に印刷されてバス電極としての役割をする。また、インクジェット方法またはディスペンシング方法では、バス電極用Ag組成物を混合したインクを保護フィルム47に噴射することで電極材料を形成する。
【0074】
その後、製造された誘電体部材と、電極材料46が形成された第2保護フィルム47は、第2ローラ75,76に供給され、これら一対のローラ75,76の間を通過して互いに付着される。
【0075】
上記のような付着は、前記誘電体部材の表面に前記電極材料46が埋め込まれてなり、第2保護フィルム47と付着された前記電極材料46の面と、前記誘電体グリーンシート71の表面とが平坦になる。
【0076】
すなわち、一面のみが露出された前記電極材料46と、前記電極材料46が埋め込まれた前記誘電体グリーンシート71を所定の構造物に適用する場合、前記電極材料46の電気的連結性及び誘電体グリーンシート71の保護性の全てを満足させられる。
【0077】
前記電極材料46と誘電体グリーンシート71との間の接合力を高めるために、接着層をさらに形成できるが、この接着層は、接着特性を有する誘電体ペーストを誘電体部材上にスクリーンプリンティング法によって一回印刷することで形成される。
【0078】
前記電極材料46は、所定間隔をおいて形成されるので、誘電体グリーンシート71と電極材料46が形成された第2保護フィルム47とが付着されるとき、孔隙によって気泡が発生しうる。この気泡は、電極材料46によって形成される電極に損傷を及ぼす恐れがあるので、気泡の発生を抑制すべきである。
【0079】
上記のような気泡の発生を抑制するために、図11に示すように、誘電体グリーンシート71の進行方向Aに沿って形成された電極材料46のパターンが接着層の流動性と結合し、第2ローラ75,76の圧着力が適用される。
【0080】
図示したように、誘電体グリーンシート71に形成された前記電極材料46、または、この電極材料46によって形成された電極パターンは、両端部の電極幅が中央部の電極幅より広い。
【0081】
両端部の電極は、外部の連結線に連結されるので電極幅が広く、中央部の電極は、画素セルの行または列を区分するので、画素セルのピッチ間隔に対応する電極幅を有する。このとき、電極材料46のパターンは、誘電体グリーンシート71の進行方向Aに沿って形成されるので、誘電体グリーンシート71と電極材料46との孔隙による気泡の発生を最小化できる。
【0082】
また、前記第2ローラ75,76の圧着力により、接着層の誘電体ペーストがエンボスされて前記電極材料46の間に整列される。このとき、第2ローラ75,76を加熱することで、接着層と電極材料46との接合力を高められる。
【0083】
図12に示すように、前記電極材料46を含む誘電体グリーンシート71が基板50にラミネートされ、基板50上に電極40及び誘電体層70が同時に形成される。その後、焼成工程によって上板または下板が製造される。
【0084】
したがって、前記上板または下板を製造するために、グリーンシートを用いたラミネーティング工程及び焼成工程のみが実施されるので、製造工程を単純化でき、バス電極などの電極を材料の損失なしに形成できる。
【0085】
<第3実施例>
【0086】
図13に示すように、プラズマディスプレイパネルの電極は、バルク状態のAg原材料48を薄膜化した電極材料49によってPDPの電極を形成できる。
【0087】
前記薄膜化された電極材料49は、通常、Ag薄膜またはAgフォイルなどの形態である。
【0088】
前記電極材料49は、図13に示すように、バルク状態のAg原材料48を一対のローラ77によってフォイル状態に作った後、再び他の一対のローラ78によってPDPで使用可能な適当な厚さで電極材料49を製造する。
【0089】
もちろん、前記Ag原材料48を一対のローラ77によって1回圧延した後、直ちに適当な厚さの電極材料49を形成することもできる。
【0090】
前記適当な厚さで製作された電極材料49は、再び軟化過程を経て硬度及び軟性が調節される。
【0091】
前記電極材料49は、グリーンシートなどのDFR(dry film resist)にラミネートすることで、電極転写及びパターニングが容易になる。
【0092】
上述したように、前記電極材料49は、圧延及び軟化過程を経て製造されるので、原材料の結晶構造を維持できる。
【0093】
すなわち、従来のAg粒子を用いる方法では、Ag原材料が粒子に分化されることで、結晶構造が互いに断絶された多結晶をなすが、前記電極材料49は、圧延及び軟化過程で結晶間の距離が縮小されることで、結晶の密度が高くなるが、結晶構造は維持できる。
【0094】
このとき、前記薄膜化された電極材料49によって形成するPDPの電極は、従来のAg粒子が含まれた電極ペーストまたはグリーンシートによって形成する電極より界面が相対的に少ないので、電気抵抗の減少が発生しなくなる。
【0095】
上記のように、前記電極材料49は、優れた電気的性質を有するので、従来の厚さより薄く形成することも可能である。
【0096】
通常、従来のAg粒子によって形成する電極の厚さは、焼成後4〜5μmになるが、前記電極材料49は、5〜10μmに形成することが好ましい。
【0097】
前記電極材料49によってPDPの上部パネルにバス電極を形成し、下部パネルにアドレス電極を形成することもできる。
【0098】
以下、前記電極材料49によってPDPのバス電極を形成する過程を説明する。
【0099】
まず、基板50に透明電極60を形成した後、この透明電極60上にブラックマトリックス層31を形成する。
【0100】
その後、図14に示すように、前記ブラックマトリックス層31上に前記電極材料49を転写する。
【0101】
一方、前記透明電極60上に形成されるブラックマトリックス層31は、パネルのコントラストを高めるために、透明電極60対の間の非放電領域にも形成可能である。この場合、非放電領域におけるブラックマトリックス(ブラック層)に絶縁性を持たせる。
【0102】
その後、図15に示すように、開口部35が形成されたマスク36を用いてエッチングし、前記電極材料49を電極パターンにパターニングすることで、図16に示すように、電極40が形成される。
【0103】
ここで、前記電極材料49がAgからなるので、エッチングの際は、酸(Acid)を用いてエッチングすることが好ましい。
【0104】
上記のように、ブラックマトリックス層31上に電極材料49を転写する際は、ブラックマトリックス層31に粘性があるので、ブラックマトリックス層31上に電極材料49を転写するのに困難さがない。
【0105】
しかしながら、ブラックマトリックス層31を形成せず、透明電極60上に電極材料49を直ちに転写する場合、別途の接着剤を用いることもできる。
【0106】
その後、図17に示すように、前記電極60,40を覆う誘電体層70を形成し、この誘電体層70を覆う保護膜90を形成することで、上部パネルが完成される。
【0107】
一方、下部基板上には、前記電極材料49によってアドレス電極を形成できるが、この場合、下部基板上に下地膜を形成した後、前記電極材料49を転写してパターニングすることで、アドレス電極が形成される。
【0108】
上述した実施例は、本発明の技術的思想を具体的に説明するための一例であり、本発明は、上述した実施例によって限定されることなく、多様な形態に変形可能である。また、本発明の技術的思想内の多様な実施例は、全て本発明の保護範囲に属することが当然である。
【図面の簡単な説明】
【0109】
【図1】一般的なプラズマディスプレイパネルの一例を示す斜視図である。
【図2】従来のプラズマディスプレイパネルにおける電極材料の塗布状態を示す拡大図である。
【図3】図2に示した電極材料の焼成状態を示す拡大図である。
【図4】従来のプラズマディスプレイパネルにおける上部パネルの平面図である。
【図5A】図4に表示されたa領域に対する断面図である。
【図5B】図4に表示されたb領域に対する断面図である。
【図5C】図4に表示されたc領域に対する断面図である。
【図6】本発明のプラズマディスプレイパネルにおける上部パネルの平面図である。
【図7A】図6に表示されたa領域に対する断面図である。
【図7B】図6に表示されたb領域に対する断面図である。
【図7C】図6に表示されたc領域に対する断面図である。
【図8A】本発明の一実施例に係るグリーンシートの断面図である。
【図8B】本発明の他の実施例に係るグリーンシートの断面図である。
【図9A】本発明のプラズマディスプレイパネル製造過程の一実施例を示す断面図である。
【図9B】本発明のプラズマディスプレイパネル製造過程の一実施例を示す断面図である。
【図9C】本発明のプラズマディスプレイパネル製造過程の一実施例を示す断面図である。
【図9D】本発明のプラズマディスプレイパネル製造過程の一実施例を示す断面図である。
【図9E】本発明のプラズマディスプレイパネル製造過程の一実施例を示す断面図である。
【図10】本発明のグリーンシート製造工程の一実施例を示す概略図である。
【図11】本発明のグリーンシートによるバス電極のパターン形成を説明するための平面図である。
【図12】本発明のグリーンシートによるPDP形成を示す断面図である。
【図13】本発明のプラズマディスプレイパネルにおける電極材料を製造する一実施例を示す概略図である。
【図14】本発明のプラズマディスプレイパネルの製造段階の一実施例を示す断面図である。
【図15】本発明のプラズマディスプレイパネルの製造段階の一実施例を示す断面図である。
【図16】本発明のプラズマディスプレイパネルの製造段階の一実施例を示す断面図である。
【図17】本発明のプラズマディスプレイパネルの一実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
【0110】
30 ブラックマトリックス
40 バス電極
50 上部基板
60 透明電極




 

 


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