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プラズマディスプレイパネル及びその製造方法 - エルジー エレクトロニクス インコーポレイティド
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発明の名称 プラズマディスプレイパネル及びその製造方法
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開2007−134312(P2007−134312A)
公開日 平成19年5月31日(2007.5.31)
出願番号 特願2006−248113(P2006−248113)
出願日 平成18年9月13日(2006.9.13)
代理人 【識別番号】100078330
【弁理士】
【氏名又は名称】笹島 富二雄
発明者 金 龍浩 / 金 仁▲ちょる▼
要約 課題
プラズマディスプレイパネルの製造工程、特に背面構造の製造工程の簡略化を図る。

解決手段
本発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、背面基板上に誘電体層330を形成する段階(a〜c)と、前記誘電体層330の上方にメッシュ400を配置する段階と(d、f)、前記メッシュ400を介して前記誘電体層330上にガラスパウダー344aを分散させる段階(d、f)と、前記分散させたガラスパウダー344aに所定の温度及び圧力を加えて隔壁用層を形成する段階(e、g)と、前記隔壁用層を選択的に除去して隔壁340を形成する段階(h、i)と、を含む。
特許請求の範囲
【請求項1】
背面基板上に誘電体層を形成する段階と、
前記誘電体層の上方にメッシュを配置する段階と、
前記メッシュを介して前記誘電体層上にガラスパウダーを分散させる段階と、
前記分散させたガラスパウダーに所定の温度及び圧力を加えて隔壁用層を形成する段階と、
前記隔壁用層を選択的に除去して隔壁を形成する段階と、
を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項2】
前記形成された隔壁を焼成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項3】
背面基板上に誘電体層を形成する段階と、
前記誘電体層上に第1ガラスパウダーからなる下部隔壁用層を形成する段階と、
前記下部隔壁用層上に第2ガラスパウダーからなる上部隔壁用層を形成する段階と、
前記下部隔壁用層及び前記上部隔壁用層を選択的に除去して隔壁を成形する段階と、
前記成形された隔壁を焼成する段階と、
を含むプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項4】
前記下部隔壁用層を形成する段階は、
前記誘電体層上の上方にメッシュを配置する段階と、
前記メッシュを介して前記誘電体層上に前記第1ガラスパウダーを分散させる段階と、
前記分散させた第1ガラスパウダーに所定の温度及び圧力を加える段階と、
を含むことを特徴とする請求項3に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項5】
前記上部隔壁用層を形成する段階は、
前記下部隔壁用層上の上方にメッシュを配置する段階と、
前記メッシュを介して前記下部隔壁用層上に前記第2ガラスパウダーを分散させる段階と、
前記分散させた第2ガラスパウダーに所定の温度及び圧力を加える段階と、
を含むことを特徴とする請求項3に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項6】
前記隔壁を形成する段階は、
所定の開口部を有するマスクを前記隔壁用層上に配置する段階と、
前記マスクの開口部を介して露出される領域の隔壁用層をエッチング処理する段階と、
を含むことを特徴とする請求項1又は請求項3に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項7】
前記下部隔壁用層のエッチング速度が、前記上部隔壁用層のエッチング速度よりも高いことを特徴とする請求項6に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項8】
前記誘電体層を形成する段階は、
あらかじめアドレス電極が形成された背面基板の上方にメッシュを配置する段階と、
前記メッシュを介して前記背面基板上に誘電体層用ガラスパウダーを分散させる段階と、
前記分散させた誘電体層用ガラスパウダーに所定の温度及び圧力を加える段階と、
を含む請求項1又は請求項3に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項9】
前記ガラスパウダーは、PbO−B−SiO系ガラスパウダー、PbO−B−SiO−Al系ガラスパウダー、ZnO−B−SiO系ガラスパウダー、PbO−ZnO−B−SiO系ガラスパウダーまたはその混合物であることを特徴とする請求項1又は請求項3に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項10】
前記背面基板に複数のアドレス電極を形成する段階と、
前記隔壁間に蛍光層を形成する段階と、
前面基板上に透明電極及びバス電極を形成する段階と、
前記前面基板上に誘電体層を形成する段階と、
前記前面基板の誘電体層上に保護層を形成する段階と、
前記背面基板上に前記前面基板を配置する段階と、
をさらに含むことを特徴とする請求項1又は請求項3に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項11】
放電空間を介して対向配置される前面基板及び背面基板と、
前記背面基板に設けられ、前記放電空間を区画する隔壁と、を含んで構成され、
前記隔壁は、所定のガラスパウダーを成形し、焼成したものであることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項12】
前記隔壁は、
第1ガラスパウダーで構成される下部隔壁と、
前記下部隔壁上に配設され、第2ガラスパウダーで構成される上部隔壁と、
を含むことを特徴とする請求項11に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項13】
前記隔壁は、前記第1ガラスパウダーに所定の温度及び圧力を加えて形成された下部隔壁用層、及び、該下部隔壁用層上に配設され、第2ガラスパウダーに所定の温度及び圧力を加えて形成された上部隔壁用層を、エッチング処理して成形され、
前記下部隔壁用層のエッチング速度が、前記上部隔壁用層のエッチング速度より高いことを特徴とする請求項12に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項14】
前記隔壁は、エッチング側面を含むことを特徴とする請求項13に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項15】
前記誘電体層は、誘電体層用ガラスパウダーに所定の熱及び圧力を加えて形成されることを特徴とする請求項11に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項16】
前記ガラスパウダーは、PbO−B−SiO系ガラスパウダー、PbO−B−SiO−Al系ガラスパウダー、ZnO−B−SiO系ガラスパウダー、PbO−ZnO−B−SiO系ガラスパウダー又はその混合物であることを特徴とする請求項11に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項17】
前記背面基板上に形成される複数のアドレス電極と、
前記隔壁間に形成される蛍光層と、
前記前面基板上に形成される透明電極及びバス電極と、
前記透明電極及び前記バス電極を覆うように形成される前面側誘電体層と、
前記前面側誘電体層上に形成される保護層と、
をさらに含むことを特徴とする請求項11に記載のプラズマディスプレイパネル。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、プラズマディスプレイパネル及びその製造方法に関し、詳しくは、プラズマディスプレイパネルの背面基板上の誘電体層及び隔壁の製造工程の効率化を図る技術に関する。
【背景技術】
【0002】
一的に、プラズマディスプレイパネル(以下、「PDP」という)は、プラズマ放電による発光現象を利用して映像や情報を表示する平面表示デバイスであり、パネル構造、駆動方法によってDC型とAC型とに分かれる。
【0003】
PDPは、隔壁で分離された放電セル内部にプラズマ放電を発生させ、この時、各放電セル内に注入されているHe、Xeなどのガスの放電によって発生する紫外線が蛍光体を励起して基底状態に戻る時のエネルギー差によって発生する可視光線の発光現象を用いた表示素子である。
【0004】
このようなPDPは、単純構造による製作の容易性、高輝度及び高発光効率の優秀性、メモリー機能及び160°以上の広視野角を持つと共に、40インチ型以上の大画面を具現できるという長所を有している。
【0005】
以下、PDPの構造を概略的に説明する。
PDPは、放電空間を介して対向配置される前面基板及び背面基板と、放電空間を区画する隔壁とを含み、これら前面基板、背面基板及び隔壁によって各セルが形成される。前面基板には透明電極が形成され、この透明電極上には該透明電極の抵抗を減少させるためにバス電極が形成される。また、背面基板にはアドレス電極が形成される。
【0006】
隔壁によって区画(形成)されたセル内には蛍光物質を分散する。前面基板には透明電極及びバス電極を覆うように誘電体層が形成される。また、背面基板にはアドレス電極を覆うように誘電体層が形成される。前面基板の誘電体層上には酸化マグネシウム(MgO)からなる保護層が形成される。
【0007】
一方、隔壁は、前面基板と背面基板との間の放電距離を維持すると同時に、隣接するセル間の電気的、光学的クロストーク(cross talk)を防止する役割を果たす。隔壁の形成は、PDPの製造工程で表示品質及び効率のための最も重要な段階であり、パネルが大型化するにつれて隔壁形成技術に関する様々な研究が行われてきている。
【0008】
一般に用いられる隔壁形成方法としては、サンドブラスト(Sand Blasting)法、スクリーン印刷(Screen Printing)法、フォトエッチング(Photo Etching)法などが挙げられる。
【0009】
サンドブラスト法は、背面基板上にアドレス電極及び誘電体層を形成した後、その上に隔壁用ガラスペースト(paste)をスクリーンプリンティングして熱処理する。次いで、ストライプ(stripe)タイプのマスクパターンを貼り付けた後、マスクパターンに微細な砂粒子を高速で噴射して隔壁を形成する方法である。
【0010】
かかるサンドブラスト法は、設備投資に必要とする費用が大きく、工程が複雑になり、さらに、背面基板に与える物理的な衝撃が比較的大きいため、焼成時に亀裂等を引き起こすおそれがある。
【0011】
スクリーン印刷法は、背面基板上にアドレス電極及び誘電体層を形成し、その上にストライプタイプのマスクパターンを貼り付ける。次いで、隔壁用ガラスペーストを繰返しスクリーンプリンティングして隔壁を形成する方法である。
【0012】
かかるスクリーン印刷法は、1回の印刷時に形成される隔壁の高さに限界があり、所望の高さの隔壁を製作するためには印刷回数が増大する。このため、毎回、スクリーンと背面基板との位置を調整する必要があると共に、印刷と乾燥を繰返さなければならないので、工程が複雑になる。
【0013】
フォトエッチング法は、背面基板上にアドレス電極及び誘電体層を形成し、その上に隔壁用ペーストを塗布する。次いで、ストライプタイプのマスクパターンを配置した後、エッチング液でマスクパターンの開口を介して露出された部分をエッチングして隔壁を成形し、これを焼成する。
【0014】
かかるフォトエッチング法は、所望の厚さを有する隔壁を成形するために、隔壁用ペーストを数回繰返して塗布しなければならないので、その工程が長くなる。また、放電空間を維持するように、構造的、機械的に安定した形状を有する隔壁を得ることも難しい。なぜならば、エッチング時に隔壁の側面部がオーバーエッチング(over etching)になる場合が多いからである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0015】
要するに、従来の隔壁製造方法は、工程が複雑で、且つ製造に必要とする時間が長いため、製造コストが上昇する。また、所望の形状で隔壁を製造することも難しい。
【0016】
従って、簡単、且つ低コストで隔壁を製造することができ、所望の形状で隔壁を製造できる技術に対する要求が依然としてある。
【0017】
本発明は、このような実情に着目してなされてものであり、その目的は、ガラスパウダーを用いて、直接、隔壁及び誘電体層を形成して背面基板の製造工程を簡略化し、製造コストを低減することができるプラズマディスプレイパネル及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0018】
このような目的を達成するために、本発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、背面基板上に誘電体層を形成する段階と、前記誘電体層の上方にメッシュを配置する段階と、前記メッシュを介して前記誘電体層上にガラスパウダーを分散させる段階と、前記分散させたガラスパウダーに所定の温度及び圧力を加えて隔壁用層を形成する段階と、前記隔壁用層を選択的に除去して隔壁を形成する段階と、を含む。ここで、隔壁を形成する段階は、前記隔壁用層を選択的に除去して隔壁を成形し、この成形された隔壁を焼成するのが好ましい。
【0019】
また、本発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法は、背面基板上に誘電体層を形成する段階と、前記誘電体層上に第1ガラスパウダーからなる下部隔壁用層を形成する段階と、前記下部隔壁用層上に第2ガラスパウダーからなる上部隔壁用層を形成する段階と、前記下部隔壁用層及び前記上部隔壁用層を選択的に除去して隔壁を成形する段階と、前記成形された隔壁を焼成する段階と、を含む。
【0020】
また、本発明に係るプラズマディスプレイパネルは、放電空間を介して対向配置される前面基板及び背面基板と、前記背面基板に設けられ、前記放電空間を区画する隔壁と、を含んで構成され、前記隔壁は、所定のガラスパウダーを成形し、焼成したものであることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【発明の効果】
【0021】
本発明に係るプラズマディスプレイ及びその製造方法は、ガラスパウダーを用いて背面基板に誘電体層及び隔壁を形成することで、同じ作業を繰り返し行う必要がなくなるので、背面基板の製造工程を簡略化することができる。この結果、プラズマディスプレイの製造効率を向上させることができ、製造コストも低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0022】
以下、添付図面を参照して本発明に係るプラズマディスプレイパネルの製造方法の好ましい実施形態を説明する。
【0023】
図1は、本発明の好ましい実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの断面図である。
【0024】
図1を参照すれば、プラズマディスプレイパネル(PDP)は、前面構造200と背面構造300とに大きく分かれる。
【0025】
PDPの前面構造200には、ガラス基板210(以下、「前面基板」という)上(図では下側)に透明電極220、バス電極250、第1ブラックマトリクッス230、第2ブラックマトリックス240、誘電体層260及び保護層270が形成されている。
【0026】
透明電極220は、放電セルから供給される光を透過させるために透明なインジウムスズ酸化物(以下、「ITO」という)で形成する。
【0027】
バス電極250は、透明電極220上に形成され、透明電極220のライン抵抗を減少させる。
【0028】
バス電極250は、導電性の高い銀(Ag)ペーストで形成する。このように、バス電極250は導電性の高い物質で形成されるので、導電性の低い透明電極220の駆動電圧を減少させる。
【0029】
第1ブラックマトリックス230は、透明電極220とバス電極250と間に非常に薄く形成される。このため、透明電極220とバス電極250とを通電し、PDPのコントラストを向上させる役割を果たす。
【0030】
第2ブラックマトリックス240は、放電セル間に形成されて隣接する放電セル間で、外部光及び内部の透過光を吸収することによって、コントラストを向上させる。このように、第2ブラックマトリックス240は放電セル間を区分する役割を果たす。
【0031】
誘電体層260は、金属物質からなるバス電極250と直接接する層であり、バス電極250との化学反応を避けるために軟化点の高いPbO系のガラスが用いられる。なお、鉛フリーガラスを用いてもよい。
【0032】
このような誘電体層260は、放電電流を制限し、グロー放電を維持させ、プラズマ放電時、発生した電荷が蓄積される。
【0033】
保護膜270は、プラズマ放電時、スパッタリングによる誘電体層260の損傷を防止するとともに、二次電子の放電効率を上げる。かかる保護膜270は、酸化マグネシウム(MgO)で形成される。
【0034】
PDPの背面構造300には、ガラス基板310(以下、「背面基板」という)上にアドレス電極320、誘電体層330、隔壁340及び蛍光層350が形成されている。
【0035】
アドレス電極320は、各放電セルのほぼ中央に位置する。アドレス電極320は、70〜80μm程度の(ライン)幅を有する。
【0036】
誘電体層330は、アドレス電極320及び背面基板310の全面を覆うように形成され、アドレス電極320を保護する。
【0037】
隔壁340は、誘電体層330上に位置し、アドレス電極320から所定距離離隔されて形成される。かかる隔壁340は、アドレス電極320に沿って延び、所定の高さを有する。
【0038】
隔壁340は、その断面形状がほぼ台形となるような形態で構成される。また、隔壁340は、下部隔壁344と上部隔壁342とに分かれており、上部隔壁342が下部隔壁344より幅の狭い形態を有する。
【0039】
隔壁340は、放電距離を維持させ、隣接する放電セル間の電気的、光学的干渉を防止するために必要である。
【0040】
蛍光層350は、隔壁340の側面上及び誘電体層330上に形成される。
【0041】
蛍光層350は、プラズマ放電時に発生する紫外線によって励起されて赤色(R)、緑色(G)、または青色(B)の可視光線を発生させる。
【0042】
ここで、PDPの発光動作を説明する。
【0043】
透明電極220とバス電極250と間に一定の電圧(電圧マージン範囲)がかかった状態で、アドレス電極320にプラズマを生成するのに十分な追加の電圧がかかるようになれば、透明電極220とバス電極250と間にプラズマが形成される。気体には、ある程度の自由電子が存在するようになるが、電場がかかれば、その自由電子らが力(F=qE)を受けるようになる。
【0044】
この力を受けた電子が、不活性気体等の最外郭電子を取り除くのに十分なエネルギーを得るようになれば(第1イオン化エネルギー)、気体をイオン化させ、ここで、発生したイオンと電子は電磁場の力を受けて両電極に移動する。特に、イオンが保護層270にぶつかるようになれば、保護層270では二次電子が発生するようになり、この電子がプラズマの形成を助けるようになる。
【0045】
従って、初期放電を開始するためには高い電圧が必要だが、一旦、放電が始まれば、電子密度が増加しながら低い電圧で済むようになる。
【0046】
PDP(各放電セル)の中に注入される気体は主にNe、Xe、He等の不活性気体であり、特にXeが準安定状態で出す147nmと173nmの波長の紫外線が蛍光層350に加えられ、赤色、緑色又は青色の可視光線が発生されるようにする。
【0047】
この時、発生される可視光線は、その蛍光層350の種類に応じて決定され、これにより、各放電セルは赤色(R)、緑色(G)、青色(B)をそれぞれ表示するピクセルになる。
【0048】
各放電セルのRGB値の組み合わせで色合いの調節が行われる。PDPの場合は、プラズマが発生する時間を調節し、これを調節する。このようにして発生された可視光線は前面基板210を介して外部に発散する。
【0049】
次に、PDPの背面構造300の製造工程、特に、誘電体層330及び隔壁340の製造工程を説明する。
【0050】
図2(a)〜(i)は、図1に示すプラズマディスプレイパネルの製造工程の一部、具体的には、背面構造300の誘電体層及び隔壁の製造工程を図示した断面図である。
【0051】
図2(a)に示されるように、背面基板310にスパッタリング、イオンメッキ、化学蒸着及び電着などの工程を介してアドレス電極320が既に形成された状態で、背面基板310上にメッシュ400を位置させる。
【0052】
次に、メッシュ400を介して誘電体層用ガラスパウダー330aを背面基板310に分散させる。メッシュ400により異質物などが除去され、ほぼ一定の大きさの誘電体層用ガラスパウダー330aのみが背面基板310に分散される。
【0053】
次に、図2(b)に示されるように、誘電体層用ガラスパウダー330aの上方からプレス410により一定の圧力及び温度を加える。これにより、図2(c)に示されるように、誘電体層330が形成される。
【0054】
次に、図2(d)に示されるように、誘電体層330の上部にメッシュ400を位置させ、メッシュ400を介して第1の隔壁用ガラスパウダー344aを分散させる。この第1の隔壁用ガラスパウダー344aは、下部隔壁344を形成するための物質から成る。誘電体層用ガラスパウダー330aと同様に、メッシュ400により異質物などが除去され、ほぼ一定の大きさの第1の隔壁用ガラスパウダー344aのみが誘電体層330上に分散されることになる。
【0055】
次に、図2(e)に示されるように、第1の隔壁層用ガラスパウダー344aの上方からでプレス410により一定の圧力及び温度を加える。これにより、下部隔壁層344bが形成される。
【0056】
次に、図2(f)に示されるように、下部隔壁用層344bの上部にメッシュ400を位置させ、メッシュ400を介して第2の隔壁用ガラスパウダー342aを下部隔壁用層344b上に分散させる。この第2の隔壁用ガラスパウダー342aは、上部隔壁342を形成するための物質から成る。メッシュ400により異質物などが除去され、ほぼ一定の大きさの第2の隔壁用ガラスパウダー342aのみが下部隔壁用層344b上に分散されることはもちろんである。
【0057】
次に、図2(g)に示されるように、第2の隔壁用ガラスパウダー342aの上方からプレス410により一定の圧力及び温度を加える。これにより、上部隔壁層342bが形成される。
【0058】
次に、図2(h)に示されるように、下部隔壁層344b及び上部隔壁層342bが形成された背面基板310上に、所定の開口部が形成されたマスク420を位置させる。このマスク420は、隔壁340が形成される位置と対応する位置を除いて開口部が形成されている。
【0059】
マスク420が位置した背面基板310は、エッチング液で処理される。これにより、マスク420の開口部に対応する部分の下部隔壁層344b及び上部隔壁層342bが蝕刻される。
【0060】
かかるエッチング工程において、下部隔壁層344bは、上部隔壁層342bより高いエッチング速度を有する。このようにすることで、下部隔壁層344bがエッチングされる間、上部隔壁用層342bが側面エッチングによって受ける損傷を少なくする。従って、図2(i)に示されるように、後処理等を必要とせずに、エッチング直後に構造的にも機械的にも安定した断面形状がほぼ台形となる隔壁を得ることができる。つまり、この隔壁340は、エッチング処理された状態そのままの側面(エッチング側面)を有している。
【0061】
このようにして隔壁340が形成されると、焼成工程に移行する。
【0062】
上述するように、本発明に係るプラズマディスプレイパネルの背面構造製造方法はペースト組成物やグリーンシートを形成することなく、ガラスパウダーを用いて、直接誘電体層330及び隔壁340を形成することができる。ここで、ガラスパウダーとしては、PbO系ガラスパウダー、ZnO系ガラスパウダー又はその混合物であってもよい。より好ましくは、ガラスパウダーは、PbO−B−SiO系ガラスパウダー、PbO−B−SiO−Al系ガラスパウダー、ZnO−B−SiO系ガラスパウダー、PbO−ZnO−B−SiO系ガラスパウダー又はその混合物である。
【0063】
そして、隔壁340で区画されたセル内部に蛍光物質を分散して蛍光層350を形成する。
【0064】
ところで、以上ではPDPの背面構造300における誘電体層330及び隔壁340を、ガラスパウダーを用いて形成する方法を例示したが、必ずしもこれに限るものではなく、誘電体層330または隔壁340のいずれか一方の形成工程のみを上記した方法で遂行しうることももちろんのことである。
【0065】
以上で説明した実施形態は本発明の例示の目的のために開示されたものであり、当業者であれば、本発明の思想と範囲内で様々な修正、変更、付加が可能である。従って、このような修正、変更及び付加は本発明の特許請求の範囲に属するものである。
【図面の簡単な説明】
【0066】
【図1】本発明の好ましい実施形態に係るプラズマディスプレイパネルの断面図である。
【図2】同上プラズマディスプレイパネルの製造工程、特に、背面構造における誘電体層及び隔壁の製造工程を示す図である。
【符号の説明】
【0067】
310 ガラス基板(背面基板)
320 アドレス電極
330 誘電体層
330a 誘電体層用ガラスパウダー
340 隔壁
342 上部隔壁
342a 第2の隔壁用ガラスパウダー
344 下部隔壁
344a 第1の隔壁用ガラスパウダー
400 メッシュ




 

 


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