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発明の名称 圧電振動片の製造方法およびアライメントマーカーの形成方法
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開2007−142795(P2007−142795A)
公開日 平成19年6月7日(2007.6.7)
出願番号 特願2005−333728(P2005−333728)
出願日 平成17年11月18日(2005.11.18)
代理人 【識別番号】100095728
【弁理士】
【氏名又は名称】上柳 雅誉
発明者 村上 資郎 / 小峰 賢二 / 山下 剛
要約 課題
パターンの位置合わせを正確に行える圧電振動片の製造方法およびアライメント
マーカーの形成方法を提供する。

解決手段
圧電振動片の製造方法は、圧電ウエハ10をエッチングして複数の圧電基板
特許請求の範囲
【請求項1】
圧電ウエハをエッチングして複数の圧電基板を形成し、前記圧電基板に電極パターンを
形成する圧電振動片の製造方法であって、
前記圧電基板の形に応じた形状パターンと、アライメントマーカーの形に応じた開口部
とを有する保護膜を前記圧電ウエハ上に形成し、
前記圧電ウエハをエッチングして前記圧電基板を形成するとともに、前記圧電ウエハに
前記アライメントマーカーを形成する、
ことを特徴とする圧電振動片の製造方法。
【請求項2】
前記アライメントマーカーの形に応じた前記開口部を有する前記保護膜の形成工程は、
前記圧電基板に設けられるメサ構造の段差の形に応じた形状パターンの前記保護膜を形成
する工程とともに行われ、
前記圧電ウエハをエッチングしてメサ構造の前記圧電基板を形成するとともに、前記圧
電ウエハに前記アライメントマーカーを形成する、
ことを特徴とする請求項1に圧電振動片の製造方法。
【請求項3】
前記圧電ウエハは、ATカットされた水晶であることを特徴とする請求項1または2に
記載の圧電振動片の製造方法。
【請求項4】
前記圧電基板に電極パターン用の金属を成膜するとともに、前記アライメントマーカー
の周囲の前記圧電ウエハ上に金属膜を形成することを特徴とする請求項1ないし3のいず
れかに記載の圧電振動片の製造方法。
【請求項5】
アライメントマーカーの形に応じた開口部を有する保護膜を圧電ウエハ上に形成し、前
記圧電ウエハをエッチングして、前記圧電ウエハに前記アライメントマーカーを形成する
ことを特徴とするアライメントマーカーの形成方法。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、圧電振動片の製造方法およびアライメントマーカーの形成方法に関するもの
である。
【背景技術】
【0002】
従来、圧電振動片は、例えば次のようにして製造されていた。まず圧電振動片を構成す
る圧電基板が、圧電ウエハをエッチングして形成される。具体的には、最初に圧電ウエハ
表面に金属を成膜した後、この金属上にフォトレジストを塗布する。そしてフォトマスク
を介してフォトレジストを露光した後に現像して、圧電基板の形状に対応したレジストパ
ターンを金属上に形成する。なおフォトマスクには、圧電基板の形状に対応した図形が描
画されている。次に、レジストパターンに覆われていない部分の金属をエッチングし、こ
の金属上のレジストパターンを除去すれば、圧電基板の形状に対応した保護膜が圧電ウエ
ハ上に形成される。そして圧電基板は、このような圧電ウエハをエッチング液に浸漬して
不要な部分をエッチングした後、保護膜を除去して形成される。
【0003】
次に、圧電振動片は、圧電基板に電極パターンを設けることにより形成される。具体的
には、この電極パターンを形成するために、まず圧電ウエハ表面に電極パターンとなる金
属膜を形成する。この後、金属膜上にフォトレジストを塗布する。そしてフォトマスクを
介してフォトレジストを露光し、これを現像して電極パターンの形状に対応したレジスト
パターンを金属膜上に形成する。なおフォトマスクには、電極パターンの形状に対応した
図形が描画されている。次に、レジストパターンに覆われていない部分の金属膜をエッチ
ングした後、金属膜上のレジストパターンを除去すれば、電極パターンが圧電基板上に形
成される。この後、圧電基板を圧電ウエハから切り離して圧電振動片が形成される。
【0004】
ところで特許文献1には、圧電基板をエッチングする前に、レジスト膜に加えて複数の
耐蝕膜を圧電基板上に形成し、圧電振動片の製造に必要なパターニングを予め行っておく
ことが開示されている。そして必要なフォトリソグラフィは、全て圧電基板に形成したア
ライメントマークにフォトマスクを位置合わせして行うとしている。
【特許文献1】特開2003−347885号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
従来では、圧電ウエハ上に設けられた保護膜やレジストパターンをアライメントマーカ
ーとして用いていた。このため前述した圧電振動片の製造方法では、圧電ウエハから圧電
基板を形成した時に圧電基板形成用の保護膜を全て除去し、その後、電極パターン形成用
のレジストパターンを設けているので、製造工程の途中でアライメントマーカーが無くな
ることとなっていた。そしてアライメントマーカーが一旦無くなると、製造工程の途中で
アライメントマーカーの位置が変わるので、位置ずれが生じてしまう。すなわち前述した
圧電振動片の製造方法では、圧電ウエハから圧電基板を形成するときと、圧電基板に電極
パターンを形成するときのアライメントマーカーの位置が変わってしまうため、電極パタ
ーンの位置が圧電基板に対してずれてしまう虞がある。
【0006】
そして特許文献1には、アライメントマーカーをどのように形成するのか開示されてい
ない。また圧電振動片は、圧電基板の上面に形成される電極パターンと、下面に形成され
る電極パターンを、圧電基板の側面を介して接続する必要がある。ところが特許文献1に
開示された発明では、圧電基板の側面に電極パターンを引き回すのが困難となる。さらに
特許文献1では、圧電基板をエッチングする前に複数の耐蝕膜を形成しているので、圧電
振動片の製造工程に対して制限が多くなってしまう。
本発明は、パターンの位置合わせを正確に行える圧電振動片の製造方法を提供すること
を目的とする。
また本発明は、フォトリソグラフィーを精度良く行うためのアライメントマーカーの形
成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明に係る圧電振動片の製造方法は、圧電ウエハをエッチングして複数の圧電基板を
形成し、前記圧電基板に電極パターンを形成する圧電振動片の製造方法であって、前記圧
電基板の形に応じた形状パターンと、フォトマスク等の位置合わせ基準となるアライメン
トマーカーの形に応じた開口部とを有する保護膜を前記圧電ウエハ上に形成し、前記圧電
ウエハをエッチングして前記圧電基板を形成するとともに、前記圧電ウエハに前記アライ
メントマーカーを形成する、ことを特徴としている。
【0008】
圧電基板とアライメントマーカーを同時に形成できるので、アライメントマーカーを既
存の製造工程中で形成することができる。またアライメントマーカーは圧電ウエハをエッ
チングして形成されるので、穴状になっている。そしてアライメントマーカーを形成した
後の製造工程において保護膜等を除去しても、アライメントマーカーが消えることが無い
。したがって、圧電振動片の製造途中でアライメントマーカーの位置が変わってしまうこ
とが無く、位置ずれが生じるのを防止できる。さらに保護膜を製造工程に応じて形成でき
るので、圧電振動片の製造工程に対して制限が加わることがない。
【0009】
また前記アライメントマーカーの形に応じた前記開口部を有する前記保護膜の形成工程
は、前記圧電基板に設けられるメサ構造の段差の形に応じた形状パターンの前記保護膜を
形成する工程とともに行われ、前記圧電ウエハをエッチングしてメサ構造の前記圧電基板
を形成するとともに、前記圧電ウエハに前記アライメントマーカーを形成する、ことを特
徴としている。なおメサ構造の段差は、少なくとも圧電基板の一方の面に設けられる。
【0010】
メサ構造の段差とアライメントマーカーを同時に形成できるので、アライメントマーカ
ーを既存の製造工程中で形成することができる。またアライメントマーカーは圧電ウエハ
をエッチングして形成されるので、穴状になっている。そしてアライメントマーカーを形
成した後の製造工程において保護膜等を除去しても、アライメントマーカーが消えること
はない。したがって、圧電振動片の製造途中でアライメントマーカーの位置が変わってし
まうことが無く、位置ずれが生じるのを防止できる。さらに保護膜を製造工程に応じて形
成できるので、圧電振動片の製造工程に対して制限が加わることがない。
【0011】
そして本発明に係る圧電振動片の製造方法は、前記圧電基板に電極パターン用の金属を
成膜するとともに、前記アライメントマーカーの周囲の前記圧電ウエハ上に金属膜を形成
することを特徴としている。水晶等の透明な材料が圧電ウエハに用いられた場合は、圧電
ウエハ表面のアライメントマーカー形状ばかりでなく、圧電ウエハ内部や反対面のアライ
メントマーカー形状も確認できる。このため圧電ウエハの表面を金属膜で覆えば、圧電ウ
エハ内部や反対面のアライメントマーカー形状が確認できなくなり、一方の面のみのアラ
イメントマーカー形状を確認することができる。これにより位置合わせ精度を向上できる
。またアライメントマーカー周囲の圧電ウエハ表面に設けられる金属膜は、電極パターン
用の金属を成膜する工程中で形成できるので、アライメントマーカーを既存の製造工程中
で形成することができる。
【0012】
また本発明に係るアライメントマーカーの形成方法は、アライメントマーカーの形に応
じた開口部を有する保護膜を圧電ウエハ上に形成し、前記圧電ウエハをエッチングして、
前記圧電ウエハに前記アライメントマーカーを形成することを特徴としている。アライメ
ントマーカーは圧電ウエハをエッチングして形成されるので、穴状になっている。そして
アライメントマーカーを形成した後の製造工程において保護膜等を除去しても、アライメ
ントマーカーが消えることが無い。したがって、複数回数のフォトリソグラフィーを行う
場合でも、アライメントマーカーに位置ずれが生じるのを防止できるので、フォトリソグ
ラフィーを精度良く行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0013】
以下に、圧電振動片の製造方法およびアライメントマーカーの形成方法についての最良
の実施形態を説明する。まず第1の実施形態に係る圧電振動片の製造方法およびアライメ
ントマーカーの形成方法について説明する。図1は第1の実施形態に係る圧電基板を形成
する工程およびアライメントマーカーを形成する工程の説明図である。なお図1(A)〜
(E)は、圧電ウエハの一部分を示す断面図である。また図2は圧電基板とアライメント
マーカーが形成された圧電ウエハの概略平面図である。
【0014】
圧電振動片は、圧電基板12に電極パターンを設けた構成である。この圧電基板12は
、圧電ウエハ10をエッチングすることによって、図2に示されるように圧電ウエハ10
中に複数形成される。圧電ウエハ10に形成された各圧電基板12は、支持部14によっ
て圧電ウエハ本体16に接続されている。圧電ウエハ本体16は、各圧電基板12が接続
されるフレームであり、アライメントマーカー18が形成されている。このアライメント
マーカー18は、圧電基板12や圧電振動片の製造時において位置合わせの基準として使
用されるものであり、例えばフォトマスクの位置合わせに用いられる。なお圧電ウエハ本
体16に設けられるアライメントマーカー18の数は、図2に示されるような2個に限定
されることはない。
【0015】
そして、このような圧電基板12の製造方法、圧電振動片の製造方法およびアライメン
トマーカーの形成方法を次に説明する。圧電基板12を備えた圧電ウエハ10を形成する
には、まず圧電ウエハ10の表面(上面および下面)に金属を成膜する。この金属は、エ
ッチング液に対して耐蝕性を有するものであればよい。この後、金属上にフォトレジスト
(不図示)を塗布し、フォトマスクを介してこのフォトレジストを露光する。なお、この
フォトマスクは、圧電基板12、支持部14および圧電ウエハ本体16(圧電基板12等
)を形成するための図形やアライメントマーカー18を形成するための図形が描画された
ものである。
【0016】
そしてフォトレジストを現像して不要な部分を除去した後、フォトレジストから露出し
ている金属をエッチングして、フォトレジストを除去する。これにより、図1(A)に示
される圧電基板12等の形に応じた形状パターン20aと、アライメントマーカー18の
形に応じた開口部20bとを有する金属(保護膜20)が圧電ウエハ10の表面に形成さ
れる。すなわち圧電基板12等が形成される箇所の圧電ウエハ10の表面に保護膜20が
形成され、アライメントマーカー18が形成される箇所の圧電ウエハ10表面が保護膜2
0から露出している。なおアライメントマーカー18の形は、例えば十字型や四角形、三
角形、円形であればよい。
【0017】
ところで、保護膜20に設けられる開口部20bの幅を狭くすると、この開口部20b
に露出している圧電ウエハ10のエッチング速度が遅くなる。このため圧電ウエハ10の
上面および下面にアライメントマーカー18を形成する場合において、上面に形成される
アライメントマーカー18と下面に形成されるアライメントマーカー18を貫通させない
ときは、開口部20bの幅を狭く形成すればよい。すなわち圧電ウエハ10の上面と下面
に形成されるアライメントマーカー18を貫通させない場合、保護膜20の開口部20b
の幅を、貫通させて形成する場合における開口部の幅に比べて狭く形成すればよい。この
保護膜20に設けられる開口部20bの幅の設定方法は、圧電ウエハ10の板厚やエッチ
ング時間、製造装置等に依存するため、予め実験や計算等を行うことにより設定される。
すなわちアライメントマーカー18の形成は、圧電基板12の形成に付随する加工なので
、圧電基板12を形成するエッチング条件が基準になっている。そして圧電ウエハ10の
上面と下面に形成されるアライメントマーカー18を貫通させない場合における開口部2
0bの幅の具体的な一例としては、圧電ウエハ10の厚さを100μmとすると、10μ
mにすればよい。
【0018】
次に、圧電ウエハ10をエッチング液に浸漬して保護膜20が開口している部分をエッ
チングする。これにより保護膜20から露出している部分の圧電ウエハ10がエッチング
されて、図1(B)に示されるように、圧電基板12等とアライメントマーカー18が形
成される。またアライメントマーカー18を形成するための開口部20bの幅は狭く設定
されているので、この部分は、圧電基板12等の外形を形成するためのエッチング速度に
比べてエッチング速度が遅くなり、いわゆるエッチストップが発生する。これにより圧電
基板12を形成するためのエッチング量(時間)が多くなっても、アライメントマーカー
18の形状変化を抑えることができ、圧電ウエハ10に穴状のアライメントマーカー18
が形成される。そして圧電基板12等とアライメントマーカー18が圧電ウエハ10に形
成されると、圧電ウエハ10をエッチング液から出して、保護膜20を除去する。これに
より圧電基板12およびアライメントマーカー18を備えた圧電ウエハ10が形成され、
この圧電ウエハ10は図1(C)に示されるようになる。
【0019】
図3はアライメントマーカーの説明図である。ATカットされた水晶ウエハ(圧電ウエ
ハ10)にアライメントマーカー18を形成する場合、図3(A)に示される形状の開口
部20bを有する保護膜20を圧電ウエハ10の表面に設けると、図3(B)に実線で示
される形状のアライメントマーカー18が異方性エッチングによって形成される。なお図
3(B)に二点鎖線で示される形状は、保護膜20に設けられた開口部20bを示してい
る。図3から分かるように、アライメントマーカー18はエッチング形成されると、保護
膜20に設けられた開口部20bよりも大きな形状となる。このため開口部20bの幅を
設定する段階では、エッチング後にアライメントマーカー18が大きくなることを見越し
て、予め開口部20bの幅を狭くして設定される。なお、これは計算等をすることにより
、アライメントマーカー18のエッチング前後の大きさ変化を見積もることができる。
【0020】
そしてアライメントマーカー18が設けられた圧電ウエハ10には、圧電振動片の電極
パターンを形成するために金属膜が形成される。この金属膜22は、図1(D)に示され
るように、圧電基板12等の上面、下面および側面に形成されている。このときアライメ
ントマーカー18の周囲の圧電ウエハ10表面にも金属膜22が形成される。
【0021】
圧電ウエハ10としてATカットされた水晶が用いられた場合は、アライメントマーカ
ー18の側面が異方性エッチングによって斜め形成される。そして水晶は透明なので、ア
ライメントマーカー18を上方から見ると、圧電ウエハ10上面の設けられたアライメン
トマーカー18の形状とともに、圧電ウエハ10の内部や圧電ウエハ10下面のアライメ
ントマーカー18の形状も確認でき、これらの区別が難しい。このため圧電ウエハ10の
上面を金属膜22で覆えば圧電ウエハ10の内部が見えなくなり、圧電基板12上面のア
ライメントマーカー18の形状のみ確認することができ、より正確な位置合わせが可能に
なる。
【0022】
この後、金属膜22上にフォトレジスト(不図示)が塗布されたのち、アライメントマ
ーカー18を基準にしてフォトマスクの位置を合わせる。なお、このフォトマスクは、電
極パターンを形成するための図形が描画されたものである。そしてフォトマスクを介して
フォトレジストを露光し、現像すると、電極パターンが形成される部分に応じた金属膜2
2の上部にレジストパターンが形成される。次に、レジストパターンに覆われていない部
分の金属膜22をエッチングした後、レジストパターンを除去すれば、図1(E)に示さ
れるように、電極パターン24が各圧電基板12に形成される。なお電極パターン24は
、励振電極24a、接続電極24bおよび引き出し電極24cから形成されており、圧電
基板12の上面および下面のそれぞれに形成されている。励振電極24aは、圧電基板1
2の中央部に形成されている。また接続電極24bは、圧電基板12のある一辺の両端部
に形成されている。そして各端部において、上面および下面に設けられた接続電極24b
が側面を介して導通している。さらに引き出し電極24cは、励振電極24aと接続電極
24bを1対1に導通させている。
【0023】
次に、圧電基板12を支持部14から切り離してチップ化すると、圧電振動片が形成さ
れる。この圧電振動片26は、図4に一例が示されるように、パッケージ28に搭載され
て圧電振動子30(圧電デバイス)を構成することができる。なおパッケージ28には、
圧電振動片26とともに、この圧電振動片26を発振させる回路を実装して、圧電発振器
(圧電デバイス)を構成することもできる。
【0024】
このような圧電振動片26の製造方法およびアライメントマーカー18の形成方法によ
れば、エッチングにより圧電基板12等の外形を形成するのと同時にアライメントマーカ
ー18を形成することができるので、アライメントマーカー18を設けるためだけの工程
を新設する必要がない。また圧電基板12に電極パターン24を形成するのと同時にアラ
イメントマーカー18の周囲の圧電ウエハ10表面に金属膜22を形成することができる
ので、アライメントマーカー18の圧電ウエハ10表面の周囲のみに金属膜22を設ける
工程を新設する必要がない。したがってアライメントマーカー18は、既存の製造工程の
中で形成されることができる。
【0025】
またアライメントマーカー18は、圧電ウエハ10をエッチングして形成されているの
で保護膜20の除去等によって消えることがなく、前述した圧電振動片26の製造工程全
てにおいて同じ基準位置を示すことができる。したがって基準位置が変わらないアライメ
ントマーカー18を用いてフォトマスク等の位置合わせを行えるので、位置合わせ精度を
向上できる。そして電極パターン24を圧電基板12に形成するときに、電極パターン2
4の位置ずれが生じる等が起こらなくなり、高精度の圧電振動片26を製造することがで
きる。
【0026】
またアライメントマーカー18は、保護膜20に設けられる開口部20bの幅や、エッ
チング時間によって形状を制御することができる。すなわち開口部20bの幅を狭くすれ
ば圧電ウエハ10のエッチング量を小さくすることができる。そしてエッチング時間を短
くすれば圧電ウエハ10があまりエッチングされず、アライメントマーカー18の幅が狭
くなり、また深さが浅くなる。これに対し、エッチング時間を長くすれば圧電ウエハ10
がよりエッチングされて、アライメントマーカー18の幅が広くなり、また深さが深くな
る。したがってアライメントマーカー18を形成するときに、保護膜20に設けられる開
口部20bの幅を規定し、また圧電ウエハ10のエッチング時間を規定することで、アラ
イメントマーカー18の形状を制御できるので、アライメント精度を確保することができ
る。すなわちアライメントマーカー18は、製品である圧電基板12(圧電振動片26)
を製造するための条件に基づいて、形状を設定して製造されることができる。さらに異方
性エッチングが生じる場合であっても、エッチング量を固定すれば、設計時点でアライメ
ントマーカー18の形状変化を見込むことができるため、マスク設計およびプロセス条件
にてアライメント精度を確保することができる。
【0027】
またアライメントマーカー18の周囲の圧電ウエハ10表面に金属膜22を設けること
で、圧電ウエハ10表面におけるアライメントマーカー18の形状のみを得ることができ
る。これにより圧電ウエハ10が透明な材料であっても、圧電ウエハ10内部および圧電
ウエハ10の反対面におけるアライメントマーカー18の形状が得られなくなり、アライ
メント精度を向上させ正確な位置合わせをすることができる。
また圧電振動片26の製造工程に対して制限を無くすことができるので、圧電基板12
の側面に電極パターン24を引き回すことができる。
なおアライメントマーカー18は、圧電ウエハ10の上面および下面のいずれか一方の
みに設けることもできる。
【0028】
次に、第2の実施形態に係る圧電振動片の製造方法およびアライメントマーカーの形成
方法ついて説明する。第2の実施形態では、メサ構造の圧電振動片の製造方法および、メ
サ構造の段差を形成するときにアライメントマーカーを形成する方法について説明する。
なお第2の実施形態では、第1の実施形態と同様の部分に同番号を付し、その説明を省略
または簡略する。図5は第2の実施形態に係る圧電基板を形成する工程およびアライメン
トマーカーを形成する工程の説明図である。なお図5(A)〜(C)は、圧電ウエハの一
部分を示す断面図である。
【0029】
まず圧電ウエハ10の上面および下面に、圧電基板12等を形成するための保護膜20
を形成し、これをエッチング液に浸漬して圧電基板12等の外形を形成する。次に、図5
(A)に示されるように、圧電基板12の上面および下面にメサの段差を形成するための
保護膜20を設ける。すなわちメサの段差の形に応じた形状パターン20aを有する保護
膜20を圧電ウエハ10の表面に形成する。なおメサの段差を形成する保護膜20は、圧
電ウエハ10の少なくとも一方の面に形成されていればよい。また、このとき圧電ウエハ
10の上面および下面の保護膜20には、アライメントマーカー18を形成するための開
口部20bを設けておく。アライメントマーカー18の形は、例えば十字型や四角形、三
角形、円形であればよい。
【0030】
そして圧電基板12にメサの段差を形成するだけなので、圧電基板12の外形を形成す
る場合(圧電ウエハ10の上下面を貫通させる場合)に比べてエッチング量が小さい。こ
のためアライメントマーカー18は、第1の実施形態に比べて大きく形成されることがで
きる。すなわち圧電ウエハ10にアライメントマーカー18を形成するために、保護膜2
0に設けられる開口部20bの幅の設定方法は、圧電ウエハ10の板厚やエッチング時間
、製造装置等に依存するため、予め実験や計算等を行うことにより設定すればよい。そし
て開口部20bの幅の具体的な一例としては、圧電ウエハ10の厚さを100μmとする
と、30μmにすればよい。なおアライメントマーカー18は、圧電ウエハ10の片面の
みに設けることもできる。
【0031】
そして、この保護膜20が設けられた圧電ウエハ10をエッチング液に浸漬してエッチ
ングすることにより、図5(B)に示されるように、圧電基板12にメサの段差34が形
成されるとともに、圧電ウエハ10にアライメントマーカー18が形成される。この後、
保護膜20を取り除けば、図5(C)に示されるように、メサ型の圧電基板12等ととも
に、アライメントマーカー18が設けられた圧電ウエハ10が得られる。次に、図1(D
),(E)に示したのと同様の工程により、圧電基板12に電極パターン24を形成する
。そして圧電基板12を支持部14から切り離してチップ化すると、圧電振動片26が形
成される。
【0032】
このような圧電振動片26の製造方法およびアライメントマーカー18の形成方法によ
れば、圧電基板12にメサの段差34を形成するのと同時にアライメントマーカー18を
形成することができるので、アライメントマーカー18を設けるためだけの工程を新設す
る必要がない。したがって既存の製造工程内において、アライメントマーカー18を形成
することができる。また第2の実施形態に係る圧電振動片26の製造方法およびアライメ
ントマーカー18の形成方法は、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0033】
【図1】第1の実施形態に係る圧電基板を形成する工程およびアライメントマーカーを形成する工程の説明図である。
【図2】圧電基板とアライメントマーカーが形成された圧電ウエハの概略平面図である。
【図3】アライメントマーカーの説明図である。
【図4】圧電振動子の概略断面図である。
【図5】第2の実施形態に係る圧電基板を形成する工程およびアライメントマーカーを形成する工程の説明図である。
【符号の説明】
【0034】
10………圧電ウエハ、12………圧電基板、18………アライメントマーカー、20…
……保護膜、20a………形状パターン、20b………開口部、22………金属膜、24
………電極パターン。




 

 


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