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発明の名称 基板の処理装置および処理方法
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開2007−5579(P2007−5579A)
公開日 平成19年1月11日(2007.1.11)
出願番号 特願2005−184311(P2005−184311)
出願日 平成17年6月24日(2005.6.24)
代理人 【識別番号】100097445
【弁理士】
【氏名又は名称】岩橋 文雄
発明者 是永 哲雄 / 森迫 勇
要約 課題
マガジン内に混在して収納された未処理の基板と処理済の基板の判別を視覚的に的確に行うことができる基板の処理装置および処理方法を提供することを目的とする。

解決手段
マガジン5に積層して収納した未処理の基板8を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板8’をマガジン5に順次回収する基板の処理装置において、処理済の基板8’が未処理の基板8が収納されていた元の位置と変位した位置に回収され、処理済の基板8’と未処理の基板8が互いにずれた位置にマガジン5内に収納されるようにした。これにより両者の判別を視覚的に的確に行うことができる。
特許請求の範囲
【請求項1】
マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板を前記マガジンに回収する基板の処理装置であって、
未処理の基板に所定の処理を施す基板の処理部と、基板を収納するラックを上下に複数段備えたマガジンを保持するマガジン保持部と、前記処理部と前記マガジンの間で基板を搬送する基板搬送機構とを備え、
前記基板移送機構が、前記処理部において所定の処理を施された処理済の基板を、未処理の基板が収納されていた元の位置から水平方向へ変位した位置に搬送して前記マガジンに回収することを特徴とする基板の処理装置。
【請求項2】
前記複数段のラックに収納された未処理の基板が、前記マガジンの一方の側部寄りに収納されており、前記基板搬送機構が、前記処理済の基板を前記マガジンの他方の側部寄りに回収することを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。
【請求項3】
前記複数段のラックに収納された未処理の基板が、それぞれの一端部を第1の鉛直線上に直線状に揃えた第1の位置に収納されており、前記基板搬送機構が、処理済の基板をそれぞれの一端部を第1の鉛直線上から水平方向へ変位した第2の鉛直線上に揃えた第2の位置に回収することを特徴とする請求項1記載の基板の処理装置。
【請求項4】
マガジンに上下に複数段備えられたラックに収納された未処理の基板を処理部に搬送する搬出工程と、未処理の基板に所定の処理を施す処理工程と、処理済の基板を前記マガジンに回収する回収工程とを含み、
前記回収工程が、前記処理済の基板を未処理の基板が収納されていた元の位置から水平方向へ変位した位置に搬送する動作を含むことを特徴とする基板の処理方法。
【請求項5】
前記複数段のラックに収納された未処理の基板が、前記マガジンの一方の側部寄りに収納されており、前記回収工程において、処理済の基板を前記マガジンの他方の側部寄りに回収することを特徴とする請求項4記載の基板の処理方法。
【請求項6】
前記複数段のラックに収納された未処理の基板が、それぞれの一端部を第1の鉛直線上に直線状に揃えた第1の位置に収納されており、前記回収工程において、処理済の基板をそれぞれの一端部を第1の鉛直線上から水平方向へ変位した第2の鉛直線上に揃えた第2の位置に回収することを特徴とする請求項4記載の基板の処理方法。
【請求項7】
マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板を前記マガジンに回収する基板の処理装置であって、
未処理の基板に所定の処理を施す基板の処理部と、基板を収納するラックを上下に複数段備えたマガジンを保持するマガジン保持部と、前記処理部と前記マガジンの間で基板を搬送する基板搬送機構と、前記マガジン保持部を昇降させて前記マガジンに備えられた何れかのラックを前記基板搬送機構に位置合わせする昇降機構とを備え、
前記基板移送機構が、前記処理部において所定の処理を施された処理済の基板を、未処理の基板が収納されていた元のラックと異なるラックに搬送して前記マガジンに回収することを特徴とする基板の処理装置。
【請求項8】
マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板を前記マガジンに回収する基板の処理装置であって、
未処理の基板に所定の処理を施す基板の処理部と、基板を収納するラックを上下に複数段備えたマガジンを保持するマガジン保持部と、前記処理部と前記マガジンの間で基板を搬送する基板搬送機構と、前記マガジン保持部を昇降させて前記マガジンに備えられた何
れかのラックを前記基板搬送機構に位置合わせする昇降機構とを備え、
前記マガジンの最上段から少なくとも一段のラックを空ラックにして他のラックに未処理の基板が収納されており、前記基板移送機構が、前記空ラックの下段のラックに収納された未処理の基板を降順に搬出し、前記処理部において所定の処理を施された処理済の基板を、未処理の基板が収納されていた元のラックの上段の空ラックとなっているラックに搬送して前記マガジンに回収することを特徴とする基板の処理装置。
【請求項9】
マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板を前記マガジンに回収する基板の処理装置であって、
未処理の基板に所定の処理を施す基板の処理部と、基板を収納するラックを上下に複数段備えたマガジンを保持するマガジン保持部と、前記処理部と前記マガジンの間で基板を搬送する基板搬送機構と、前記マガジン保持部を昇降させて前記マガジンに備えられた何れかのラックを前記基板搬送機構に位置合わせする昇降機構とを備え、
前記マガジンの最下段から少なくとも一段のラックを空ラックにして他のラックに未処理の基板が収納されており、前記基板移送機構が、前記空ラックの上段のラックに収納された未処理の基板を昇順に搬出し、前記処理部において所定の処理を施された処理済の基板を、未処理の基板が収納されていた元のラックの下段の空ラックとなっているラックに搬送して前記マガジンに回収することを特徴とする基板の処理装置。
【請求項10】
マガジンに上下に複数段備えられたラックに収納された未処理の基板を順次搬出して所定の処理を施す基板の処理方法であって、
少なくとも最上段から一段のラックを空ラックにして他のラックに未処理の基板が収納されたマガジンを準備し、
前記空ラックの下段のラックに収納された未処理の基板を処理部に搬出する搬出工程と、
前記処理部において未処理の基板に所定の処理を施す処理工程と、
所定の処理が施された処理済の基板を前記未処理の基板が収納されていた元のラックの上段の空ラックとなっているラックに回収する回収工程と、を含み、
前記マガジンの最下段のラックが空ラックとなるまで前記搬出工程及び処理工程、回収工程を繰り返し行うことを特徴とする基板の処理方法。
【請求項11】
マガジンに上下に複数段備えられたラックに収納された未処理の基板を順次搬出して所定の処理を施す基板の処理方法であって、
少なくとも最下段から一段のラックを空ラックにして他のラックに未処理の基板が収納されたマガジンを準備し、
前記空ラックの上段のラックに収納された未処理の基板を処理部に搬出する搬出工程と、
前記処理部において未処理の基板に所定の処理を施す処理工程と、
所定の処理が施された処理済の基板を前記未処理の基板が収納されていた元のラックの下段の空ラックとなっているラックに回収する回収工程と、を含み、
前記マガジンの最上段のラックが空ラックとなるまで前記搬出工程及び処理工程、回収工程を繰り返し行うことを特徴とする基板の処理方法。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに処理を施した処理済の基板を元のマガジンに回収する基板の処理装置および処理方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
複数の基板に連続的に処理を行う装置として、未処理の基板を積層して収納したマガジンから未処理の基板を順次処理工程に搬送し、所定の処理を施した後の処理済の基板をマガジンに搬送して回収する基板の処理装置が用いられている(例えば特許文献1参照)。
【特許文献1】特許第2593683号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
上記特許文献に開示された装置においては、未処理の基板を搬出するローダ用のマガジンと処理済の基板を回収するアンローダ用のマガジンを一つのマガジンで共用しており、処理済の基板を元の位置と同じ場所に回収することにより未処理の基板と処理済の基板が一つのマガジンの中に混在することとなっていた。
【0004】
処理工程で施される処理がワイヤボンディング処理やダイボンディング処理のように処理前後において外観に変化があるものであれば、処理済の基板と未処理の基板を視覚的に的確に判別することが可能である。しかしながら、プラズマ処理や品質検査、性能検査のように処理前後において外観に変化がない場合、処理済の基板と未処理の基板を視覚的に的確に判別することが不可能であった。そのため、停電や故障等のトラブルにより基板の処理装置が稼働中に停止した場合等に、処理済の基板と未処理の基板の判別を容易に視認して両者を分別することができず、処理装置の稼動再開後に未処理の基板に対してのみ処理作業を行うことができないという問題があった。
【0005】
そこで本発明は、マガジン内に混在して収納された未処理の基板と処理済の基板の判別を視覚的に的確に行うことができる基板の処理装置および処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
請求項1記載の発明は、マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板を前記マガジンに回収する基板の処理装置であって、未処理の基板に所定の処理を施す基板の処理部と、基板を収納するラックを上下に複数段備えたマガジンを保持するマガジン保持部と、前記処理部と前記マガジンの間で基板を搬送する基板搬送機構とを備え、前記基板移送機構が、前記処理部において所定の処理を施された処理済の基板を、未処理の基板が収納されていた元の位置から水平方向へ変位した位置に搬送して前記マガジンに回収する。
【0007】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記複数段のラックに収納された未処理の基板が、前記マガジンの一方の側部寄りに収納されており、前記基板搬送機構が、前記処理済の基板を前記マガジンの他方の側部寄りに回収する。
【0008】
請求項3記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記複数段のラックに収納された未処理の基板が、それぞれの一端部を第1の鉛直線上に直線状に揃えた第1の位置に収納されており、前記基板搬送機構が、処理済の基板をそれぞれの一端部を第1の鉛直線上から水平方向へ変位した第2の鉛直線上に揃えた第2の位置に回収する。
【0009】
請求項4記載の発明は、マガジンに上下に複数段備えられたラックに収納された未処理の基板を処理部に搬送する搬出工程と、未処理の基板に所定の処理を施す処理工程と、処理済の基板を前記マガジンに回収する回収工程とを含み、前記回収工程が、前記処理済の基板を未処理の基板が収納されていた元の位置から水平方向へ変位した位置に搬送する動作を含む。
【0010】
請求項5記載の発明は、請求項4記載の発明において、前記複数段のラックに収納された未処理の基板が、前記マガジンの一方の側部寄りに収納されており、前記回収工程において、処理済の基板を前記マガジンの他方の側部寄りに回収する。
【0011】
請求項6記載の発明は、請求項4記載の発明において、前記複数段のラックに収納された未処理の基板が、それぞれの一端部を第1の鉛直線上に直線状に揃えた第1の位置に収納されており、前記回収工程において、処理済の基板をそれぞれの一端部を第1の鉛直線上から水平方向へ変位した第2の鉛直線上に揃えた第2の位置に回収する。
【0012】
請求項7記載の発明は、マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板を前記マガジンに回収する基板の処理装置であって、未処理の基板に所定の処理を施す基板の処理部と、基板を収納するラックを上下に複数段備えたマガジンを保持するマガジン保持部と、前記処理部と前記マガジンの間で基板を搬送する基板搬送機構と、前記マガジン保持部を昇降させて前記マガジンに備えられた何れかのラックを前記基板搬送機構に位置合わせする昇降機構とを備え、前記基板移送機構が、前記処理部において所定の処理を施された処理済の基板を、未処理の基板が収納されていた元のラックと異なるラックに搬送して前記マガジンに回収する。
【0013】
請求項8記載の発明は、マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板を前記マガジンに回収する基板の処理装置であって、未処理の基板に所定の処理を施す基板の処理部と、基板を収納するラックを上下に複数段備えたマガジンを保持するマガジン保持部と、前記処理部と前記マガジンの間で基板を搬送する基板搬送機構と、前記マガジン保持部を昇降させて前記マガジンに備えられた何れかのラックを前記基板搬送機構に位置合わせする昇降機構とを備え、前記マガジンの最上段から少なくとも一段のラックを空ラックにして他のラックに未処理の基板が収納されており、前記基板移送機構が、前記空ラックの下段のラックに収納された未処理の基板を降順に搬出し、前記処理部において所定の処理を施された処理済の基板を、未処理の基板が収納されていた元のラックの上段の空ラックとなっているラックに搬送して前記マガジンに回収する。
【0014】
請求項9記載の発明は、マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板を前記マガジンに回収する基板の処理装置であって、未処理の基板に所定の処理を施す基板の処理部と、基板を収納するラックを上下に複数段備えたマガジンを保持するマガジン保持部と、前記処理部と前記マガジンの間で基板を搬送する基板搬送機構と、前記マガジン保持部を昇降させて前記マガジンに備えられた何れかのラックを前記基板搬送機構に位置合わせする昇降機構とを備え、前記マガジンの最下段から少なくとも一段のラックを空ラックにして他のラックに未処理の基板が収納されており、前記基板移送機構が、前記空ラックの上段のラックに収納された未処理の基板を昇順に搬出し、前記処理部において所定の処理を施された処理済の基板を、未処理の基板が収納されていた元のラックの下段の空ラックとなっているラックに搬送して前記マガジンに回収する。
【0015】
請求項10記載の発明は、マガジンに上下に複数段備えられたラックに収納された未処
理の基板を順次搬出して所定の処理を施す基板の処理方法であって、少なくとも最上段から一段のラックを空ラックにして他のラックに未処理の基板が収納されたマガジンを準備し、前記空ラックの下段のラックに収納された未処理の基板を処理部に搬出する搬出工程と、前記処理部において未処理の基板に所定の処理を施す処理工程と、所定の処理が施された処理済の基板を前記未処理の基板が収納されていた元のラックの上段の空ラックとなっているラックに回収する回収工程と、を含み、前記マガジンの最下段のラックが空ラックとなるまで前記搬出工程及び処理工程、回収工程を繰り返し行う。
【0016】
請求項11記載の発明は、マガジンに上下に複数段備えられたラックに収納された未処理の基板を順次搬出して所定の処理を施す基板の処理方法であって、少なくとも最下段から一段のラックを空ラックにして他のラックに未処理の基板が収納されたマガジンを準備し、前記空ラックの上段のラックに収納された未処理の基板を処理部に搬出する搬出工程と、前記処理部において未処理の基板に所定の処理を施す処理工程と、所定の処理が施された処理済の基板を前記未処理の基板が収納されていた元のラックの下段の空ラックとなっているラックに回収する回収工程と、を含み、前記マガジンの最上段のラックが空ラックとなるまで前記搬出工程及び処理工程、回収工程を繰り返し行う。
【発明の効果】
【0017】
請求項1乃至6記載の発明によれば、未処理の基板が収納されていた元の位置と変位した位置に処理済の基板が回収され、処理済の基板と未処理の基板が互いにずれた位置にマガジン内に収納されるので、両者の判別が視覚的に可能となり、マガジン内に混在して収納された未処理の基板と処理済の基板の判別を容易かつ的確に行うことができる。
【0018】
請求項7乃至11記載の発明によれば、未処理の基板が収納されていたラックと異なるラックに処理済の基板が回収され、処理済の基板と未処理の基板が分離してマガジン内に収納されるので、両者の判別が視覚的に可能となり、マガジン内に混在して収納された未処理の基板と処理済の基板の判別を容易かつ的確に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0019】
(実施の形態1)
本発明の実施の形態1について図面を参照して説明する。図1は実施の形態1における基板の処理装置の側面図、図2は実施の形態1における基板の処理装置の部分側面図、図3は実施の形態1における基板の処理装置の制御系の構成を示すブロック図、図4乃至図9は実施の形態1における基板の処理装置の動作説明図、図10は実施の形態1における基板の処理装置のマガジン内に未処理の基板と処理済の基板が混在して収納された様子を示す斜視図である。
【0020】
まず、基板の処理装置について全体構成を説明する。図1において、基台1の側方にはマガジン保持部2が配設されており、基台1の側面に設けられたマガジン昇降機構3にブラケット4を介して取り付けられている。マガジン保持部2上にはマガジン5が配設されており、マガジン昇降機構3の駆動により昇降する。
【0021】
基台1の上面には基板搬送ガイド10が配設されている。基板搬送ガイド10の上部には第1の基板搬送機構11が備えられている(図2参照)。基板搬送ガイド10の上方には第1の基板搬送機構11と対向して第2の基板搬送機構12が配設されている。第1の基板搬送機構11と第2の基板搬送機構12は協働してマガジン5から未処理の基板を搬出するとともに処理済の基板をマガジンに搬入する。
【0022】
基台1の上面には基板の処理部20が配設されている。基板搬送ガイド10及び第2の基板搬送機構12は処理部20内に延伸しており、未処理の基板を処理部20内に搬入す
るとともに処理済の基板を処理部20内から搬出する。処理部20は未処理の基板に所定の処理を行い、例えば、未処理の基板にプラズマクリーニングやワイヤボンディング、ダイボンディング等を施したり、基板の品質検査、性能検査等を行う。
【0023】
図2において、マガジン5の内部は上下に複数段のラック6に区画されている。各ラック6には未処理の基板8が収納されている。第1の基板搬送機構11には第1の水平移動機構11aと第1の可動部13が備えられており、第1の可動部13は第1の水平移動機構11aの駆動により第1の水平移動機構11aの上部を水平移動する。第1の可動部13には、マガジン5側に延伸する第1のアーム14が取り付けられている。第1のアーム14の先端は上方に屈曲した爪部14aとなっている。第1の可動部13は昇降機構を備えており、第1のアーム14を昇降させる(矢印a)。
【0024】
このように、本実施の形態では、第1の水平移動機構11a及び第1の可動部13、第1のアーム14により第1の基板搬送機構11は構成されており、第1のアーム14は、第1の水平移動機構11aの駆動により水平移動し(矢印b)、第1の可動部13の駆動により昇降し(矢印a)、ラック6に収納された未処理の基板8に爪部14aを係合させて基板搬送ガイド10上に引き出す。
【0025】
第2の基板搬送機構12には、処理部20内へ延伸した第2の水平移動機構12aと第2の可動部15、第3の可動部16が備えられている。第2の可動部15及び第3の可動部16は、第2の水平移動機構12aの駆動により第2の水平移動機構12aの下部をそれぞれ独立して水平移動する。第2の可動部15にはマガジン5側に延伸する第2のアーム17が取り付けられている。また、第3の可動部16には処理部20側に延伸する第3のアーム18が取り付けられている。第2のアーム17、第3のアーム18のそれぞれの先端は下方に屈曲した爪部17a、18aとなっている。第2の可動部15、第3の可動部16はそれぞれ昇降機構を備えており、第2のアーム17、第3の可動部18をそれぞれ独立して昇降させる(矢印c、d)。
【0026】
このように、本実施の形態では、第2の水平移動機構12aと第2の可動部15、第3の可動部16、第2のアーム17、第3のアーム18により第2の基板搬送機構12は構成されており、第2のアーム17と第3のアーム18は、第2の水平移動機構12aの駆動によりそれぞれ独立して水平移動し(矢印e、f)、第2の可動部15及び第3の可動部16の駆動により昇降し(矢印c、d)、基板搬送ガイド10上に引き出された未処理の基板8に爪部17a、18aを係合させて処理部20に搬送する。
【0027】
すなわち、第1の基板搬送機構11と第2の基板搬送機構12は、処理部20とマガジン5の間で基板を搬送する基板搬送機構となっている。
【0028】
次に、基板の処理装置の制御系の構成について、図3を参照して説明する。図3において、制御部30は演算や情報処理を行って処理装置の各種動作を制御する。処理部20については、搬入された未処理の基板8に各種の処理を施す際の処理工程や処理時間等を制御して所定の処理動作を実行する。
【0029】
第1の基板搬送機構11については、第1の水平移動機構11aや第1の可動部13の駆動を制御し、第1のアーム14の水平移動動作及び昇降動作を管理する。これにより、第1の基板搬送機構11は未処理の基板8をマガジン5から基板搬送ガイド10上に引き出す。
【0030】
第2の基板搬送機構12については、第2の水平移動機構12aや第2の可動部15、第3の可動部16の駆動をそれぞれ独立して制御し、第2のアーム17及び第3のアーム
18の水平移動動作及び昇降動作を管理する。これにより、第2の基板搬送機構12は、第1の基板搬送機構11によって基板搬送ガイド10上に引き出された未処理の基板8を処理部20に搬送し、処理部20において所定の処理が施された処理済の基板8’をマガジン5に搬送する。
【0031】
マガジン昇降機構3については、昇降駆動を制御してマガジン保持部4の上下移動を管理する。これにより、マガジン5に上下に複数段備えられたラック6のうち任意のラック6と基板搬送機構との位置合わせを行う。
【0032】
制御部30には記憶部31が内蔵されており、上述した各動作の制御パラメータ値やマガジン5の奥行きやラック6のピッチ等の数値データ、基板処理状況を示す情報等が記憶されている。
【0033】
操作入力部32は、キーボードやディスクドライブ等の外部入力手段からなり、各種データ情報や制御パラメータ値等の入力を行う。表示部33は、液晶パネルやCRT等の可視表示手段からなり、操作入力画面を表示したり、処理状況を可視的に表示したりする。
【0034】
基板の処理装置は以上のように構成され、以下、その処理動作について図4乃至図9を参照して説明する。図4において、マガジン5の各ラック6には未処理の基板8が収納されている。各未処理の基板8は、それぞれの一端部8aを第1の鉛直線P1に直線状に揃えた第1の位置に収納されており、マガジン5内において処理部20と反対側の側部5’寄りに収納されている。この状態において、マガジン5の最上段のラック6と基板搬送ガイド10のレベル合わせを行い、ラック6に収納された未処理の基板8を第1の基板搬送機構11により搬出できるようにラック6と第1の基板搬送機構11の位置合わせを行う。次に、第1のアーム14をマガジン5側に移動させ(矢印g)、爪部14aを未処理の基板8の端面8aより外側に位置させる。
【0035】
図5において、アーム14を上昇させて未処理の基板8の端面8aに爪部14aを係合させ(矢印h)、第1のアーム14を収納部20側に移動させる(矢印i)。これにより未処理の基板8が基板搬送ガイド10上に搬出される。
【0036】
図6において、第2のアーム17を下降させて爪部17aを未処理の基板8の端面8aに係合させる(矢印j)。このとき、第1のアーム14を下降させて第2のアーム17の下降を妨げないようにする(矢印k)。次に、第2のアーム17を処理部20側に移動させて未処理の基板8を処理部20の近傍まで移動させる(矢印l)。
【0037】
図7において、第2のアーム17をマガジン5側に移動させて元の位置に戻すとともに、第3のアーム18をマガジン5側に移動させ(矢印m)、下降させて爪部18aを未処理の基板8の端面8aに係合させる(矢印n)。この状態で第3のアーム18を処理部20側に移動させて未処理の基板8を処理部20内に搬入する(矢印o)。
【0038】
図8において、処理部20内で所定の処理が施された処理済の基板8’の他方の端面8bに第3のアーム18の爪部18aを係合させてマガジン5の近傍まで移動させる(矢印p)。
【0039】
図9において、第2のアーム17を処理部20側に移動させ(矢印q)、下降させ(矢印r)、爪部17aを処理済の基板8’の端面8bに係合させて処理済の基板8’をマガジン5のラック6に回収する(矢印s)。このとき、処理済の基板8’の一方の端面8aが、元の位置である第1の鉛直線P1ではなく、第1の鉛直線P1から基盤搬送ガイド10側に変位した第2の鉛直線P2に位置するように回収され、マガジン5内における処理
部20側の側部5”寄りに回収される。
【0040】
第1の鉛直線P1と第2の鉛直線P2は、それぞれの位置に揃えられた端面8aを視覚的に区別できる程度に変位している。基板搬送機構11、12の搬送誤差は±1mm程度であるので、第1の鉛直線P1と第2の鉛直線P2との変位量は3mm以上は必要であり、好ましくは5mm以上変位していれば視認性に優れる。
【0041】
上述した基板の処理動作を繰り返し、マガジン5の各ラック6に収納された各未処理の基板8を上段から下段に向けて降順に処理部20に搬送し、所定の処理を行った後の処理済の基板8’の端面8aを第2の鉛直線P2に揃えて元のラック6に順次搬送して回収する。
【0042】
図10は、マガジン5内の複数の未処理の基板8のうち一部が処理されて回収された状態を示しており、マガジン5内のラック6aには処理済の基板8’が収納され、ラック6bには未処理の基板8収納されている。このように、処理済の基板8’と未処理の基板8が互いにずれた位置にマガジン5内に収納されるので、両者の判別が視覚的に可能となり、マガジン5内に混在して収納された未処理の基板8と処理済の基板8’の判別を容易かつ的確に行うことができる。
【0043】
本実施の形態においては、マガジン5に収納されている複数の未処理の基板6を、最上段のラック6に収納された未処理の基板6から下段に向けて降順に搬出して処理を施す例を説明しているが、最下段のラックに収納された未処理の基板6から上段に向けて昇順に搬出してもよく、あるいはこれらの順序以外の順序で搬出してもよい。
【0044】
(実施の形態2)
次に、本発明の実施の形態2について、図面を参照して説明する。図11乃至図13は実施の形態2における基板の処理装置の動作説明図、図14は実施の形態2における基板の処理装置のマガジン内に未処理の基板と処理済の基板が混在して収納された様子を示す斜視図である。
【0045】
以下、実施の形態1と同様の動作については説明を省略し、主として相違する動作について説明する。図11において、マガジン5の最上段のラック6’を除く各ラック6には未処理の基板8が収納されている。最上段のラック6’は未処理の基板8が収納されない空ラックとなっている。この状態において、最上段のラック6’の下段のラック6と基板搬送ガイド10のレベル合わせを行い、ラック6に収納された未処理の基板8を第1の基板搬送機構11により搬出できるようにラック6と第1の基板搬送機構11の位置合わせを行う。次に、上記の実施の形態1と同様の動作を行って未処理の基板8を処理部20に搬入する。
【0046】
図12において、処理部20で所定の処理を施された処理済の基板8’をマガジン5に回収するに際し、マガジン5を下降させ(矢印t)、最上段のラック6’と基板搬送ガイド10のレベル合わせを行い、処理済の基板8’を第2の基板搬送機構12によりラック6’に回収できるようにラック6’と第2の基板搬送機構12の位置合わせを行う。
【0047】
図13において、第2のアーム17をマガジン5側に移動させて処理済の基板8’をラック6’に回収する(矢印u)。これにより、処理済の基板8’は最上段のラック6’に収納され、当初収納されていたラック6は空ラックとなる。以上の動作を繰り返し、マガジン5の各ラック6に収納された各未処理の基板8を上段から下段に向けて降順に処理部20に搬送し、所定の処理を行った後の処理済の基板8’を元のラック6の一段上段のラック6に順次回収する。これにより、処理済の基板8’が収納されたラック6と未処理の
基板8が収納されたラック6の間には常に空ラックとなったラック6が存在することになる。
【0048】
図14は、マガジン5内の複数の未処理の基板8のうち一部が処理されて回収された状態を示しており、マガジン5内のラック6aには処理済の基板8’が収納され、ラック6bには未処理の基板8収納されている。両者の間には空ラックのラック6cが介在している。このように、処理済の基板8’と未処理の基板8は、両者の境界に空ラックを介在させることにより分離してマガジン5内に収納されるので、両者の判別が視覚的に可能となり、マガジン5内に混在して収納された未処理の基板8と処理済の基板8’の判別を容易かつ的確に行うことができる。
【0049】
(実施の形態3)
次に、本発明の実施の形態3について、図面を参照して説明する。図15は実施の形態3における基板の処理装置の動作説明図、図16は実施の形態3における基板の処理装置のマガジン内に未処理の基板と処理済の基板が混在して収納された様子を示す斜視図である。
【0050】
以下、実施の形態1、2と同様の動作については説明を省略し、主として相違する動作を説明する。上述した実施の形態2においては、当初、マガジン5の最上段のラック6’を空ラックにして未処理の基板8の処理を降順に行っているが、図15に示すように、マガジン5の最下段のラック6cを空ラックにして未処理の基板8の処理を昇順に行うこともできる。
【0051】
図15において、最下段のラック6cは空ラックとなっており、他のラック6には未処理の基板8が収納されている。この状態において、ラック6dと基板搬送ガイド10のレベル合わせを行い、ラック6dに収納された未処理の基板8を処理部20に搬入する。処理部20で所定の処理を施された処理済の基板8’をマガジン5に回収するに際し、最下段のラック6cと基板搬送ガイド10のレベル合わせを行って処理済の基板8’をラック6cに回収する。これにより、処理済の基板8’は、当初収納されていたラック6dの一段下段のラック6cに回収され、ラック6dは空ラックとなる。
【0052】
以上の動作を繰り返し、マガジン5の各ラック6に収納された各未処理の基板8を下段から上段に向けて昇順に処理部20に搬送し、所定の処理を行った後の処理済の基板8’を元のラック6の一段下段のラック6に順次回収する。これにより、処理済の基板8’が収納されたラック6と未処理の基板8が収納されたラック6の間には常に空ラックとなったラック6が存在することになる。
【0053】
図16は、マガジン5内の複数の未処理の基板8のうち一部が処理されて回収された状態を示しており、マガジン5内のラック6eには未処理の基板8が収納され、ラック6fには処理済の基板8’収納されている。両者の間には空ラックのラック6gが介在している。このように、未処理の基板8と処理済の基板8’は、両者の境界に空ラックを介在させることにより分離してマガジン5内に収納されるので、両者の判別が視覚的に可能となり、マガジン5内に混在して収納された未処理の基板8と処理済の基板8’の判別を容易かつ的確に行うことができる。
【0054】
なお、本発明の実施の形態は上記の各実施の形態に限定されるものではない。基板搬送機構についても上記の各実施の形態における構成に限定されるものではなく、本発明の目的とする効果を奏するものであれば様々な形態に構成してもよい。
【産業上の利用可能性】
【0055】
本発明の基板の処理装置および処理方法によれば、処理済の基板と未処理の基板の判別が視覚的に可能となり、マガジン内に混在して収納された未処理の基板と処理済の基板の判別を容易かつ的確に行うことができ、マガジンに積層して収納した未処理の基板を順次搬出し、これに処理を施した処理済の基板をマガジンに順次回収する基板の処理分野において有用である。
【図面の簡単な説明】
【0056】
【図1】本発明の実施の形態1乃至3における基板の処理装置の側面図
【図2】本発明の実施の形態1乃至3における基板の処理装置の部分側面図
【図3】本発明の実施の形態1乃至3における基板の処理装置の制御系の構成を示すブロック図
【図4】本発明の実施の形態1における基板の処理装置の動作説明図
【図5】本発明の実施の形態1における基板の処理装置の動作説明図
【図6】本発明の実施の形態1における基板の処理装置の動作説明図
【図7】本発明の実施の形態1における基板の処理装置の動作説明図
【図8】本発明の実施の形態1における基板の処理装置の動作説明図
【図9】本発明の実施の形態1における基板の処理装置の動作説明図
【図10】本発明の実施の形態1における基板の処理装置のマガジン内に未処理の基板と処理済の基板が混在して収納された様子を示す斜視図
【図11】本発明の実施の形態2における基板の処理装置の動作説明図
【図12】本発明の実施の形態2における基板の処理装置の動作説明図
【図13】本発明の実施の形態2における基板の処理装置の動作説明図
【図14】本発明の実施の形態2における基板の処理装置のマガジン内に未処理の基板と処理済の基板が混在して収納された様子を示す斜視図
【図15】本発明の実施の形態3における基板の処理装置の動作説明図
【図16】本発明の実施の形態3における基板の処理装置のマガジン内に未処理の基板と処理済の基板が混在して収納された様子を示す斜視図
【符号の説明】
【0057】
3 マガジン昇降機構
4 マガジン保持部
5 マガジン
5’ 一方の側部
5” 他方の側部
6 ラック
8 未処理の基板
8’ 処理済の基板
11 第1の基板搬送機構
12 第2の基板搬送機構
20 処理部
P1 第1の鉛直線
P2 第2の鉛直線




 

 


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