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番号 発明の名称
1 パターン検査装置、パターン検査方法、及び被検査物
2 パターン検査装置、パターン検査方法及びプログラム
3 パターン検査装置、パターン検査方法、及びレチクル
4 参照画像作成装置、パターン検査装置、参照画像作成方法、及びレチクル
5 パタン検査装置
6 画像補正装置、パターン検査装置、画像補正方法、及び、パターン検査方法
7 画像補正装置、パターン検査装置、画像補正方法、及び、パターン検査方法
8 パターン検査装置、パターン検査方法、及び検査対象試料
9 試料検査装置、試料検査方法及びプログラム
10 マスク検査装置におけるアライメント方法および評価方法
11 画像補正装置、パターン検査装置、画像補正方法、及びレチクル

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