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発明の名称 放電検出システム、及び、放電検出方法
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開2007−10386(P2007−10386A)
公開日 平成19年1月18日(2007.1.18)
出願番号 特願2005−189180(P2005−189180)
出願日 平成17年6月29日(2005.6.29)
代理人 【識別番号】100092152
【弁理士】
【氏名又は名称】服部 毅巖
発明者 吉長 寿
要約 課題
放電が磁気ヘッドを破壊することを防止する。

解決手段
電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材が内部から順に配置された同軸ケーブル10の一端が、磁気ヘッド研磨装置30の磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に配置される。その同軸ケーブル10に接続された放電検出装置20が、磁気ヘッド研磨装置30における磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を検出する。このようにすると、放電の有無、及び、度合いを確認できるので、その検出結果に応じて磁気ヘッドを研磨する研磨工程等の設定条件を最適化できる。
特許請求の範囲
【請求項1】
放電を検出する放電検出システムにおいて、
磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置と、
前記磁気ヘッド研磨装置の前記磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に一端が配置され、電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材が内部から順に配置された同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルに接続され、前記磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を検出する放電検出装置と、
を有することを特徴とする放電検出システム。
【請求項2】
前記同軸ケーブルの前記一端は、前記シールド材が前記絶縁材に包み込まれて一部が外に露出し、前記絶縁体が前記シールド材に包み込まれ、前記芯線が前記絶縁体に包み込まれて一部が外に露出していることを特徴とする請求項1記載の放電検出システム。
【請求項3】
前記同軸ケーブルの前記一端は、前記シールド材が前記絶縁材に包み込まれて一部が外に露出し、前記絶縁体が前記シールド材に包み込まれて一部が外に露出し、前記芯線が前記絶縁体に包み込まれていることを特徴とする請求項1記載の放電検出システム。
【請求項4】
前記電気信号は、前記電気信号を増幅する増幅器を介し、前記放電検出装置に伝わることを特徴とする請求項1記載の放電検出システム。
【請求項5】
放電を検出する放電検出方法において、
磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置の前記磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に同軸ケーブルの一端を配置し、前記磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を前記同軸ケーブルを介して検出することを特徴とする放電検出方法。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、放電を検出する放電検出システム、及び、放電検出方法に関する。
【背景技術】
【0002】
磁気テープ型の磁気記録媒体に対する信号の記録、もしくは、再生を実行する装置として、例えば、回転ドラムを用いたヘリカルスキャン方式の装置が存在している。この装置の回転ドラムに、MR(Magneto Resistive)ヘッドやGMR(Giant Magneto Resistive)ヘッド等の磁気ヘッドが搭載されている。これらのMRヘッドやGMRヘッドには、薄膜プロセスで形成される薄膜ヘッド素子が搭載されている。この信号の記録、もしくは、再生を実行する装置において、磁気ヘッドと磁気テープとを回転ドラムの外周面において接触させ、信号の記録、もしくは、再生を実行している。
【0003】
ここで、磁気ヘッドの製造工程には磁気ヘッドを研磨する研磨工程が存在し、重要となっている。この研磨工程において、摩擦による微小な放電が生じてしまい、この放電を制御することが磁気ヘッドの品質を向上させる上で重要となっている。
【0004】
なお、これに関連した技術として、電力ケーブルに発生する部分放電を検出する技術が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【特許文献1】特開平6−66874号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
上述したように、磁気ヘッドを研磨する研磨工程において、摩擦による微小な放電で生じる放射ノイズが発生してしまう。この放射ノイズの原因である放電が、磁気ヘッドを破壊してしまう。
【0006】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、放電が磁気ヘッドを破壊することを防止する放電検出システム、及び、放電検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明では、上記課題を解決するために、図1に例示するように、放電を検出する放電検出システムにおいて、磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置30と、磁気ヘッド研磨装置30の磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に一端が配置され、電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材が内部から順に配置された同軸ケーブル10と、同軸ケーブル10に接続され、磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を検出する放電検出装置20と、を有することを特徴とする放電検出システムが提供される。
【0008】
このような放電検出システムによると、放電の有無、及び、度合いを確認できるので、その検出結果に応じて磁気ヘッドを研磨する研磨工程等の設定条件を最適化できる。
また、本発明では、上記課題を解決するために、図1に例示するように、放電を検出する放電検出方法において、磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置30の磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に同軸ケーブル10の一端を配置し、磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を同軸ケーブル10を介して検出することを特徴とする放電検出方法が提供される。
【0009】
このような放電検出方法によると、放電の有無、及び、度合いを確認できるので、その検出結果に応じて磁気ヘッドを研磨する研磨工程等の設定条件を最適化できる。
【発明の効果】
【0010】
本発明では、磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を、同軸ケーブルを介して検出するようにする。
このようにすると、放電の有無、及び、度合いを確認できるので、その検出結果に応じて磁気ヘッドを研磨する研磨工程等の設定条件を最適化できる。よって、放電が磁気ヘッドを破壊することを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0011】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。本発明の実施の形態は、磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置に適用したものである。
まず、磁気ヘッド研磨装置に対し、放電検出システムを構築する場合について説明する。図1は、磁気ヘッド研磨装置に対する放電検出システムを示す図である。
【0012】
放電検出システムは、同軸ケーブル10、放電検出装置20、及び、磁気ヘッド研磨装置30を有している。また、この磁気ヘッド研磨装置30は、回転治具31、及び、回転定盤32を有している。
【0013】
ここで、同軸ケーブル10は、一端が磁気ヘッド研磨装置30の磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に配置され、他の一端が放電検出装置20に接続される。また、同軸ケーブル10は、電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材を内部から順に配置して形成される。放電検出装置20は、磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を同軸ケーブル10を介して検出する。磁気ヘッド研磨装置30は、研磨対象の磁気ヘッドを搭載した回転治具31と回転定盤32とを回転させ、磁気ヘッドを研磨する。
【0014】
このような磁気ヘッド研磨装置30に対する放電検出システムにおいて、磁気ヘッドを研磨する研磨工程等で、研磨対象の磁気ヘッドを搭載した回転治具31と回転定盤32とが回転し、その磁気ヘッドは研磨される。これらの回転治具31と回転定盤32との界面で、摩擦による微小な静電気放電で生じる放射ノイズが発生する。その放射ノイズは、同軸ケーブル10を介して検出される。ここでの検出結果は、スペクトラムアナライザ等の放電検出装置20により、周波数帯域毎に振幅が計測されて表示される。この計測結果により、静電気放電が確認される。
【0015】
次に、第1の実施の形態で使用される同軸ケーブル10について説明する。図2は、第1の実施の形態の同軸ケーブルを示す図である。
同軸ケーブル10は、絶縁材11に包み込まれて一部が外に露出したシールド材12を有している。このシールド材12は、網状に撚った構造の網組線となっている。また、同軸ケーブル10は、シールド材12に包み込まれた絶縁体13を有している。また、同軸ケーブル10は、絶縁体13に包み込まれて一部が外に露出した芯線14を有している。この芯線14の露出した部分の長さは、数mmである。
【0016】
ここで、絶縁材11は、外部から同軸ケーブル10を電気的に絶縁する。また、絶縁材11は、同軸ケーブル10を保護し、形状を維持する。シールド材12は、芯線14に伝わる電気信号による電磁波を、外部に漏らさないようにする。また、シールド材12は、外部から電磁波を侵入させないようにする。絶縁体13は、シールド材12と芯線14とを電気的に絶縁する。また、絶縁体13は、芯線14を保護し、形状を維持する。芯線14は、電気信号を伝える。また、芯線14は、露出した部分の長さを調節することで、放電検出装置20の感度を調節する。
【0017】
このような同軸ケーブル10において、周囲の装置からの放射ノイズに応じ、露出した芯線14の長さを調節し、放電検出装置20の感度を調節する。具体的には、周囲の装置からの放射ノイズが少ない場合、露出した芯線14の長さを長くし、放電検出装置20の感度を向上させる。また、周囲の装置からの放射ノイズが多い場合、露出した芯線14の長さを短くし、放電検出装置20の感度を低下させる。
【0018】
なお、露出した芯線14の一部をシールド材12で包み込むことで、放電検出装置20の感度を調節してもよい。
次に、同軸ケーブル10に付属されるシールド治具について説明する。図3は、第1の実施の形態のシールド治具を示す図である。
【0019】
シールド治具15は、金属製の筒状の形状であり、絶縁材11、シールド材12、絶縁体13、及び、芯線14の中の全部、もしくは、一部を被うように配置される。このシールド治具15は、絶縁材11と平行方向に、位置を移動できる。
【0020】
このようなシールド治具15において、周囲の装置からの放射ノイズに応じ、露出した芯線14をシールド治具15が被う長さを調節し、放電検出装置20の感度を調節する。具体的には、周囲の装置からの放射ノイズが少ない場合、露出した芯線14をシールド治具15が被う長さを短くし、放電検出装置20の感度を向上させる。また、周囲の装置からの放射ノイズが多い場合、露出した芯線14をシールド治具15が被う長さを長くし、放電検出装置20の感度を低下させる。
【0021】
次に、第2の実施の形態で使用される同軸ケーブル10aについて説明する。図4は、第2の実施の形態の同軸ケーブルを示す図である。
同軸ケーブル10aは、絶縁材11aに包み込まれて一部が外に露出したシールド材12aを有している。このシールド材12aは、網状に撚った構造の網組線となっている。また、同軸ケーブル10aは、シールド材12aに包み込まれて一部が外に露出した絶縁体13aを有している。この絶縁体13aの露出した部分の長さは、数mmである。また、同軸ケーブル10aは、絶縁体13aに包み込まれた芯線14aを有している。
【0022】
ここで、絶縁材11aは、外部から同軸ケーブル10aを電気的に絶縁する。また、絶縁材11aは、同軸ケーブル10aを保護し、形状を維持する。シールド材12aは、芯線14aに伝わる電気信号による電磁波を、外部に漏らさないようにする。また、シールド材12aは、外部から電磁波を侵入させないようにする。絶縁体13aは、シールド材12aと芯線14aとを電気的に絶縁する。また、絶縁体13aは、芯線14aを保護し、形状を維持する。また、絶縁体13aは、露出した部分の長さを調節することで、放電検出装置20の感度を調節する。また、絶縁体13aは、芯線14aと検出対象の装置とが接触することによるノイズの発生、及び、芯線14aに対する電流の流入を防止する。芯線14aは、電気信号を伝える。
【0023】
このような同軸ケーブル10aにおいて、周囲の装置からの放射ノイズに応じ、露出した絶縁体13aの長さを調節し、放電検出装置20の感度を調節する。具体的には、周囲の装置からの放射ノイズが少ない場合、露出した絶縁体13aの長さを長くし、放電検出装置20の感度を向上させる。また、周囲の装置からの放射ノイズが多い場合、露出した絶縁体13aの長さを短くし、放電検出装置20の感度を低下させる。
【0024】
なお、絶縁体13aに包み込まれた芯線14aの一部をシールド材12aで包み込むことで、放電検出装置20の感度を調節してもよい。
次に、同軸ケーブル10aに付属されるシールド治具について説明する。図5は、第2の実施の形態のシールド治具を示す図である。
【0025】
シールド治具15aは、金属製の筒状の形状であり、絶縁材11a、シールド材12a、絶縁体13a、及び、芯線14aの中の全部、もしくは、一部を被うように配置される。このシールド治具15aは、絶縁材11aと平行方向に、位置を移動できる。
【0026】
このようなシールド治具15aにおいて、周囲の装置からの放射ノイズに応じ、露出した絶縁材11aをシールド治具15aが被う長さを調節し、放電検出装置20の感度を調節する。具体的には、周囲の装置からの放射ノイズが少ない場合、露出した絶縁材11aをシールド治具15aが被う長さを短くし、放電検出装置20の感度を向上させる。また、周囲の装置からの放射ノイズが多い場合、露出した絶縁材11aをシールド治具15aが被う長さを長くし、放電検出装置20の感度を低下させる。
【0027】
以上の各実施の形態によると、磁気ヘッドを研磨することで発生する静電気放電を同軸ケーブル10、10aを介して検出し、静電気放電の有無、及び、度合いを確認できるので、その検出結果に応じて磁気ヘッドを研磨する研磨工程等の設定条件を最適化できる。具体的には、その放電が減少するように、回転治具31と回転定盤32との電圧値を最適化する。また、回転治具31と回転定盤32との回転数を最適化する。また、回転治具31と回転定盤32との間に配置する潤滑油の種類を最適化する。また、磁気ヘッドを研磨するために回転定盤32に配置されたダイヤモンド等の種類、及び、個数を最適化する。よって、摩擦による微小な静電気放電で生じる放射ノイズが、磁気ヘッドを破壊することを防止できる。
【0028】
また、磁気ヘッドを研磨する研磨工程等において、周囲の装置からの放射ノイズに応じて放電検出装置20の感度を調節するので、周囲の装置からの放射ノイズか摩擦による微小な静電気放電で生じる放射ノイズかを判別できる。
【0029】
なお、研磨工程以外の他の所定の製造工程において、微小な静電気放電で生じる放射ノイズが発生する場合でも、その静電気放電を検出することができる。
また、磁気ヘッド研磨装置30以外の他の所定の装置において、微小な静電気放電で生じる放射ノイズが発生する場合でも、その静電気放電を検出することができる。
【0030】
また、増幅器(図示せず)により、放射ノイズから変換された電気信号を増幅することができる。
(付記1) 放電を検出する放電検出システムにおいて、
磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置と、
前記磁気ヘッド研磨装置の前記磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に一端が配置され、電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材が内部から順に配置された同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルに接続され、前記磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を検出する放電検出装置と、
を有することを特徴とする放電検出システム。
【0031】
(付記2) 前記同軸ケーブルの前記一端は、前記シールド材が前記絶縁材に包み込まれて一部が外に露出し、前記絶縁体が前記シールド材に包み込まれ、前記芯線が前記絶縁体に包み込まれて一部が外に露出していることを特徴とする付記1記載の放電検出システム。
【0032】
(付記3) 前記同軸ケーブルの前記一端は、前記シールド材が前記絶縁材に包み込まれて一部が外に露出し、前記絶縁体が前記シールド材に包み込まれて一部が外に露出し、前記芯線が前記絶縁体に包み込まれていることを特徴とする付記1記載の放電検出システム。
【0033】
(付記4) 前記電気信号は、前記電気信号を増幅する増幅器を介し、前記放電検出装置に伝わることを特徴とする付記1記載の放電検出システム。
(付記5) 放電を検出する放電検出方法において、
磁気ヘッドを研磨する磁気ヘッド研磨装置の前記磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に同軸ケーブルの一端を配置し、前記磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を前記同軸ケーブルを介して検出することを特徴とする放電検出方法。
【0034】
(付記6) 放電を検出する放電検出装置において、
磁気ヘッドを研磨する部分の近傍に一端が配置され、電気信号を伝える芯線、絶縁体、シールド材、及び、絶縁材が内部から順に配置された同軸ケーブルと、
前記同軸ケーブルに接続され、前記磁気ヘッドを研磨することで発生する放電を検出する放電検出手段と、
を有することを特徴とする放電検出装置。
【図面の簡単な説明】
【0035】
【図1】磁気ヘッド研磨装置に対する放電検出システムを示す図である。
【図2】第1の実施の形態の同軸ケーブルを示す図である。
【図3】第1の実施の形態のシールド治具を示す図である。
【図4】第2の実施の形態の同軸ケーブルを示す図である。
【図5】第2の実施の形態のシールド治具を示す図である。
【符号の説明】
【0036】
10 同軸ケーブル
20 放電検出装置
30 磁気ヘッド研磨装置
31 回転治具
32 回転定盤




 

 


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