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発明の名称 発光素子アレイの検査方法及び検査装置
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開2007−90814(P2007−90814A)
公開日 平成19年4月12日(2007.4.12)
出願番号 特願2005−286407(P2005−286407)
出願日 平成17年9月30日(2005.9.30)
代理人 【識別番号】100095728
【弁理士】
【氏名又は名称】上柳 雅誉
発明者 行田 幸三
要約 課題
短時間で、高精度な検査をすることができる発光素子アレイの検査方法及び検査装置を提供する。

解決手段
発光素子アレイ25の検査装置40は、有機EL素子を有する発光素子アレイ25を撮像するラインセンサカメラ48と、発光素子アレイ25を搬送して、ラインセンサカメラ48の撮像範囲内に有機EL素子を配置する移動テーブル42、搬送機構43を備える。また、検査装置40に備えられる検査端末には、有機EL素子を撮像したデジタル画像データを画像処理し、有機EL素子の発光状態の良否を判断する画像プロセッサが備えられている。
特許請求の範囲
【請求項1】
発光素子を有する発光素子アレイを撮像装置で撮像するとともに、
前記撮像装置による撮像データに基づき画像処理を行って、前記発光素子の発光状態を判別することを特徴とする発光素子アレイの検査方法。
【請求項2】
発光素子を有する発光素子アレイを撮像する撮像装置と、
前記発光素子アレイを搬送して、前記撮像装置の撮像範囲内に前記発光素子を配置する搬送手段と、
前記発光素子を撮像した撮像データを画像処理する画像処理手段と、
前記画像処理手段に基づいて、前記発光素子の発光状態を判別する判断手段と
を備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項3】
請求項2に記載の検査装置において、
前記判断手段は、前記発光素子による発光領域の面積又は形状が、所定の面積又は形状を満たすか否かを判断することにより、前記発光素子の発光状態の良否を判断することを特徴とする検査装置。
【請求項4】
請求項2又は3に記載の検査装置において、
前記判断手段は、前記画像処理手段による画像処理結果に基づいて、前記発光素子の複数の発光不良状態をそれぞれ判別することを特徴とする検査装置。
【請求項5】
請求項2〜4のいずれか1項に記載の検査装置において、
前記発光素子の光パワーを測定する測定手段をさらに備えることを特徴とする検査装置。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、発光素子アレイの検査方法及び検査装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来より、高集積化及び低コスト化を図るため、電子写真方式のプリンタに、有機EL素子を配列した発光素子アレイを設けた露光ヘッドが提案されている(例えば、特許文献1参照)。この露光ヘッドの製造工程では、露光ヘッドに設けられたドライバユニットに所定の電圧を印加して、その発光素子の発光状態を目視する検査工程が設けられている。
【特許文献1】特開2003−291404号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
ところが、目視による検査工程は、検査担当者によって検査結果にばらつきが生じたり、目視検査に時間がかかる問題がある。特に、露光ヘッドには、有機EL素子が多数配列されているので、誤判断や、検査に時間がかかる傾向がある。また、露光ヘッドの検査工程においては、例えば、全点灯状態の際に消灯している素子の有無を判断するだけでなく、点灯はしているものの、異物混入等による発光不良が生じている素子の有無を判断しなければならない。このため、短時間で、多数の発光素子の発光状態の良否を判断することは、検査担当者に負担となるばかりか、検査の精度低下を招来する可能性がある。
【0004】
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、短時間で、高精度な検査をすることができる発光素子アレイの検査方法及び検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の発光素子アレイの検査方法は、発光素子を有する発光素子アレイを撮像装置で撮像するとともに、前記撮像装置による撮像データに基づき画像処理を行って、前記発光素子の発光状態を判別する。
【0006】
これによれば、発光素子を有する発光素子アレイを撮像装置で撮像し、撮像データに基づいて、発光素子の発光領域に対して画像処理を行って、発光状態の良否を判断する。このため、目視検査では見落とし易い、発光不良も検出することができるので、検査の精度を向上することができる。
【0007】
本発明の検査装置は、発光素子を有する発光素子アレイを撮像する撮像装置と、前記発光素子アレイを搬送して、前記撮像装置の撮像範囲内に前記発光素子を配置する搬送手段と、前記発光素子を撮像した撮像データを画像処理する画像処理手段と、前記画像処理手段に基づいて、前記発光素子の発光状態を判別する判断手段とを備えた。
【0008】
これによれば、発光素子を有する発光素子アレイを撮像装置の撮像範囲内に配置し、撮像装置で撮像する。そして、撮像データに基づいて、発光素子の発光領域に対して画像処理を行って、発光状態の良否を判断する。このため、目視検査では見落とし易い、発光不良も検出することができるので、検査の精度を向上することができる。
【0009】
この検査装置において、前記判断手段は、前記発光素子による発光領域の面積又は形状が、所定の面積又は形状を満たすか否かを判断することにより、前記発光素子の発光状態の良否を判断する。
【0010】
これによれば、判断手段は、発光素子による発光領域の面積又は形状が、所定の面積又は形状を満たすか否かを判断する。このため、目視検査では判別し難い、発光不良も検出することができるので、検査の精度を向上することができる。
【0011】
この検査装置において、前記判断手段は、前記画像処理手段による画像処理結果に基づいて、前記発光素子の複数の発光不良状態をそれぞれ判別する。
これによれば、判断手段は、複数の発光不良状態を判別する。このため、目視検査では判別し難い複数の発光不良状態を容易に判別することができる。
【0012】
この検査装置において、前記発光素子の光パワーを測定する測定手段をさらに備える。
これによれば、発光素子の光パワーを測定する測定手段をさらに備える。このため、発光素子の発光不良の検出と合わせて、光パワーも測定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0013】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図1〜図7に従って説明する。図1は、電子写真式の光プリンタ1の内部構造を説明する概略図である。
図1に示すように、光プリンタ1は、外郭ケースC内に、4個の露光ヘッド2Y,2M,2C,2K及び感光ドラム3Y,3M,3C,3Kを備えている。各露光ヘッド2Y,2M,2C,2Kは、各感光ドラム3Y,3M,3C,3Kの外周面に対峙する露光位置にそれぞれ配置されている。尚、各露光ヘッド2Y,2M,2C,2K、各感光ドラム3Y,3M,3C,3Kをそれぞれ区別しない場合には、単に露光ヘッド2、感光ドラム3として説明する。
【0014】
また、各感光ドラム3の下方には、駆動ローラ4、従動ローラ5、テンションローラ6が配設されている。各ローラ4〜6には、中間転写ベルト7がテンションを加えられて張架されている。さらに、各感光ドラム3の上方には、コロナ帯電体8Y,8M,8C,8Kが配設されている。各コロナ帯電体8Y,8M,8C,8Kは、各感光ドラム3の外周面と対峙した位置に配置され、各感光ドラム3の外周面を一様に帯電させる。さらに、各コロナ帯電体8Y,8M,8C,8Kの近傍には、各色のトナーを収容した現像装置9Y,9M,9C,9Kが設けられている。現像装置9Y,9M,9C,9Kは、それぞれ、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの単色トナーをそれぞれ収容し、各感光ドラム3Y,3M,3C,3Kの外周面に、各色のトナーを付着させる。
【0015】
さらに、中間転写ベルト7の下方には、ピックアップローラ16及びゲートローラ17が設けられている。ピックアップローラ16は、図示しない給紙トレイに収容された紙等の記録シートPを一枚ずつ給送し、ゲートローラ17は、二次転写ローラ18への記録シートPの供給タイミングを規定する。
【0016】
そして、各露光ヘッド2Y,2M,2C,2Kは、各感光ドラム3Y,3M,3C,3Kの回転に同期して、その帯電した外周面に対して順次ライン走査し、各感光ドラム3の外周面に静電潜像を形成する。各現像装置9Y,9M,9C,9Kは、静電潜像が形成された各感光ドラム3Y,3M,3C,3Kの外周面に対し、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの各色トナーを供給し、各感光ドラム3Y,3M,3C,3Kの外周面にトナー像を形成する。
【0017】
各感光ドラム3Y,3M,3C,3Kに形成された、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの各トナー像は、各一次転写ローラ10Y,10M,10C,10Kに印加された一次転写バイアスにより、中間転写ベルト7に、順次、一次転写される。また、一次転写後、各感光ドラム3Y,3M,3C,3Kに残留したトナーは、各クリーニング装置11Y,11M,11C,11Kにより除去される。
【0018】
一次転写により、中間転写ベルト7の上で重ね合わされてフルカラーとなったトナー像は、二次転写ローラ18において、給送された記録シートPに二次転写され、定着ローラ12を通ることで、記録シートPに定着される。この後、記録シートPは、排紙ローラ対13によって、外郭ケースC上面に形成された排紙トレイ(図示せず)に排紙される。
【0019】
次に、光プリンタ1の各露光ヘッド2について、図2及び図3に従って説明する。図2に示すように、各露光ヘッド2は、枠体21と、光学部材22とをそれぞれ有している。枠体21は、長尺に形成され、断面略コの字状をなしている。また、枠体21は、その長手方向が、中間転写ベルト7の搬送方向に略直交する方向となるように配置されている。さらに、枠体21の内側の底面には、発光素子アレイ25が固定されている。
【0020】
図3(a)に示すように、発光素子アレイ25は、長尺状の基板26を備えている。基板26には、2556個の発光素子としての有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子30という)からなる列が、基板26の長手方向に沿って2列形成されている。各列を構成する有機EL素子30は、隣接する他の列の有機EL素子30と、基板26の長手方向に半ピッチだけ互いにずれるようにして形成され、千鳥格子状に配列されている。これらの各有機EL素子30には、アドレスがそれぞれ割り振られている。例えば、発光素子アレイ25の一端から他端に向って順番に番号を付与し、左列に配置された有機EL素子30には奇数番号を、右列に配置された有機EL素子30には偶数番号を割り振っても良い。また、左列の有機EL素子30に、開始番号から連続番号を付与し、右列の有機EL素子30には、左列の終端番号の次の番号から連続番号を付与するようにしてもよい。
【0021】
図3(b)の断面図に示すように、基板26上には、略円形状の各画素電極31が2列形成されている。この画素電極31は、等間隔に配置され、隣接する他の列の画素電極31と半ピッチだけずれるようにして形成されている。各画素電極31は、それぞれに独立した配線を介して、図示しないデータ信号出力駆動回路に接続されている。そして、このデータ信号出力駆動回路から出力された描画データ信号が各画素電極31に供給されるようになっている。
【0022】
また、基板26には、各画素電極31を被覆するように、正孔注入層32が形成されている。この正孔注入層32上には、発光層33が形成されている。発光層33は、赤色の光を出射する高分子系の発光性有機材料から構成されている。発光層33上には、図示しない電子注入層を介して、陰極34が形成されている。陰極34の上には、空間を介して、透明樹脂からなる封止部材35が形成されている。
【0023】
そして、このように構成された発光素子アレイ25は、上記したデータ信号出力駆動回路から出力される各種制御信号によって、陰極34側から図2の光学部材22に対して赤色の光を出射する。発光素子アレイ25から出射された光は、ロッドレンズ等からなる光学部材22を介して、各感光ドラム3に集光される。
【0024】
次に、上記のように構成した発光素子アレイ25の検査装置40について、図4及び図5に従って説明する。図4に示すように、検査装置40は、搬送手段を構成する移動テーブル42及び搬送機構43を備えている。図5に示すように、移動テーブル42は、略長方形状の平板であって、その底面に1対の係合突部42aを備え、上面には、発光素子アレイ25を載置する。搬送機構43は、図5に示すように、移動テーブル42に螺合したネジ軸44と、移動テーブル42を載置する搬送台45と、ネジ軸44の回転動作の駆動源であるX軸モータ46(図6参照)等を備えている。また、移動テーブル42は、ネジ軸44の回転に従動しないように、不図示の規制部材によって回転規制されている。搬送
台45には、その上面に移動テーブル42の係合突部42aと係合する案内溝45aが形成されている。案内溝45aは、X矢印方向に延びており、移動テーブル42をX矢印方向及び半X矢印方向にガイドする。X軸モータ46は、例えばステッピングモータである。そして、X軸モータ46が正逆回転することによって、移動テーブル42は、搬送台45上をネジ軸44に沿ってX矢印方向及び反X矢印方向に移動する。
【0025】
また、検査装置40は、移動テーブル42に載置された発光素子アレイ25を発光又は消光させる発光コントローラ47(図4参照)を備えている。発光コントローラ47は、図示しないフレキシブル基板等を介して、発光素子アレイ25の上記したデータ信号出力駆動回路に接続されている。そして、各有機EL素子30を、全点灯状態及び全消灯状態にして、暗点検査及び明点検査を行う。
【0026】
また、移動テーブル42の鉛直方向(Y矢印方向)上方には、撮像装置としてのラインセンサカメラ48が、その光軸を搬送台45の上面に向けて固定されている。ラインセンサカメラ48は、CCDイメージセンサ素子、レンズ等の光学機構を有し、移動テーブル42に載置された発光素子アレイ25のうち、撮像範囲に含まれる所定個数の各有機EL素子30を撮像する。そして、ラインセンサカメラ48は、CCDイメージセンサ素子に結像した光を電気信号に変換し、さらにアナログ/デジタル変換した撮像データとしてのデジタル画像データGを、図4に示す検査端末49に出力する。検査端末49は、ラインセンサカメラ48から入力したデジタル画像データGに基づき、画像処理を行って発光素子アレイ25の発光状態の良否を判断し、検査結果をディスプレイDに出力する。
【0027】
検査端末49は、図6に示すように、CPU50、RAM51、ROM52、画像処理手段及び判断手段としての画像プロセッサ53、画像メモリ54を備えている。CPU50は、I/F55を介して、X軸モータ46に接続されたモータ駆動回路56を制御し、X軸モータ46に所定のパルス信号を出力する。X軸モータ46は、パルス信号に基づいた回転方向に、入力パルス数に応じた回転数だけ回転する。これにより、X軸モータ46の回転は、図示しない伝達機構を介して、ネジ軸44に伝達される。ネジ軸44は、X軸モータ46の回転数に応じて回転して、移動テーブル42を、X軸モータ46に入力されたパルス数に応じた移動量だけ移動させるようになっている。
【0028】
移動テーブル42がラインセンサカメラ48の下方に到達すると、CPU50は、発光コントローラ47を介して、発光素子アレイ25の各有機EL素子30を所定時間全点灯させる。さらに、CPU50は、有機EL素子30が全点灯状態であるとき、ラインセンサカメラ48を駆動させて、移動テーブル42に載置された発光素子アレイ25の所定個数の有機EL素子30を撮像させる。そして、ラインセンサカメラ48から入力したデジタル画像データGを、画像メモリ54に一時記憶する。画像プロセッサ53は、画像メモリ54に蓄積されたデジタル画像データGに基づき、発光した有機EL素子30の発光状態を判断するための画像処理を行う。また、発光コントローラ47を介して各有機EL素子30を全消灯させたときにも、CPU50は、ラインセンサカメラ48を駆動して発光素子アレイ25を撮像する。そして、画像プロセッサ53にて明点検査用の画像処理を行う。
【0029】
詳述すると、画像プロセッサ53は、有機EL素子30を全点灯させた暗点検査の際に撮像されたデジタル画像データGに基づき、パターン検査を行い、消灯している有機EL素子30があるか否かを判断する。例えば、画像プロセッサ53は、図7(a)の画像60に模式的に示すようなデジタル画像データGを2値化する等して、基板26を撮像した背景部分と、有機EL素子30を撮像したパターン部分とに分ける。有機EL素子30が点灯している場合には、発光した有機EL素子30を撮像した、デジタル画像データGの画素領域(発光領域)は、パターン部30aとして認識される。一方、有機EL素子30
が消灯している場合には、その有機EL素子30を撮像した画素領域は、背景部30bに含まれる。そして、2値化したデータとROM52に格納された設計情報とに基づき、パターン部30aが、所定の数であって、予め定められたピッチごとに配列しているか否かを判断する。ここで、所定の個数とは、ラインセンサカメラ48の撮像範囲に含まれる有機EL素子30の個数である。
【0030】
画像プロセッサ53が、パターン部30aが所定数があり、且つ所定ピッチで配列していると判断した場合、消灯している有機EL素子30が無いと判断し、暗点検査において発光不良無しと判断する。一方、例えば、図7(b)の画像61に模式的に示すデジタル画像データGのように、左列のパターン部30aが所定のピッチで配列していない場合には、その所定のピッチとならない背景部30bに、発光不良の有機EL素子30があると判断する。発光不良の有機EL素子30があると判断した場合には、その有機EL素子30のアドレスをRAM51に格納する。
【0031】
さらに、画像プロセッサ53は、デジタル画像データGに基づき、発光した有機EL素子30を撮像したパターン部30aの面積を算出する。この画像処理方法としては、公知の方法を用いることができるが、例えば、グレースケールのデジタル画像データGに基づき、エッジ検出処理を行い、その円形状のエッジの半径を計測して、エッジ内の面積を算出する。そして、面積が所定面積範囲内に含まれず、過大又は過小である場合には、異常発光であって、発光不良の有機EL素子30があると判断する。さらに、画像プロセッサ53は、デジタル画像データGを2値化する等して、各パターン部30aを構成する、デジタル画像データGの画素数が、所定範囲内に含まれるか否かを判断し、有機EL素子30の輝度が正常であるか否かを判断する。即ち、有機EL素子30の輝度が過大である場合には、各パターン部30aを構成する画素数が所定範囲を超え、輝度が過小である場合には、各パターン部30aを構成する画素数が所定範囲を下回る。
【0032】
また、画像プロセッサ53は、デジタル画像データGに基づき画像処理を行って、パターン部30aの形状が所定の形状を満たすか否かを判断し、異物混入、封止不良等の発光不良の有無を判断する。この画像処理には、公知の方法を用いることができる。例えば、画像プロセッサ53は、ROM52に格納された図示しないテンプレートを用いて、パターン検査を行う。テンプレートは、発光不良の無い所定個数の有機EL素子30を予め撮像した画像データである。画像プロセッサ53は、テンプレートと、デジタル画像データGとを合わせ、所定の方向に移動させる。そして、テンプレートとデジタル画像データGとの差分が最も小さくなる位置を検出する。さらに、その位置で、テンプレートとデジタル画像データGとの合致しきれない部分を、欠陥部30cとする。例えば、図7(c)の画像62に模式的に示すデジタル画像データGのように、画素電極31の形状不良等により、発光領域に欠けが生じている有機EL素子30を撮像したパターン部30aがある場合、その欠けた部分を欠陥部30cとして判断する。また、図7(d)の画像63及び図7(e)の画像64に模式的に示すように、パターン部30a内に部分的に発光していない部分がある場合には、その部分を欠陥部30cとして認識する。また、図7(f)の画像65に示すように、発光層33等の封止不良が生じ、内部に酸素等が混入することにより発光不良が生じた場合には、欠陥部30cとして判断する。そして、発光不良の有機EL素子30があると判断した場合には、その有機EL素子30のアドレスをRAM51に格納する。さらに、欠陥部30cの形状及び位置に基づき、発光不良の類型(異物混入、封止不良等)も関連付けて格納する。
【0033】
また、図4に示すように、検査装置40は、発光素子アレイ25の有機EL素子30の光パワーを測定する、測定手段としての光パワー測定部57を備えている。光パワー測定部57は、図5に示すように、ラインセンサカメラ48のX矢印方向に固定されている。CPU50は、光パワー測定部57を駆動して、移動テーブル42に配置された発光素子
アレイ25の光パワーを適宜測定する。
【0034】
次に、本実施形態の検査方法について説明する。まず、検査対象となる発光素子アレイ25が移動テーブル42上に載置されると、検査端末49のCPU50は、図示しないアライメント機構を制御して、発光素子アレイ25の位置を検出する。そして、CPU50は、発光素子アレイ25を初期位置に配置するため、モータ駆動回路56を介してX軸モータ46を駆動する。発光素子アレイ25が初期位置に配置されたとき、ラインセンサカメラ48の撮像範囲に、その発光領域が全て含まれる有機EL素子30を第1群とする。
【0035】
CPU50は、発光コントローラ47を駆動して、発光素子アレイ25の各有機EL素子30を全点灯する。その後、CPU50は、ラインセンサカメラ48を制御して、第1群の有機EL素子30を撮像する。そして、デジタル画像データGを画像メモリ54に記憶する。画像プロセッサ53は、生成された第1群のデジタル画像データGに基づき、上記したように発光状態の良否を判断する。そして、全点灯しているにも関わらず消灯している発光不良の有機EL素子30、異物混入や封止不良により発光不良となった有機EL素子30が検出された場合、その有機EL素子30のアドレスをRAM51に格納する。有機EL素子30のアドレスは、デジタル画像データGに基づき、第1群に含まれるパターン部30aの位置によって算出する。また、発光不良の有機EL素子30のアドレスに関連付けて、消灯、異物混入、封止不良等の発光状態を関連付けてRAM51に格納する。
【0036】
第1群の有機EL素子30を撮像すると、CPU50は、モータ駆動回路56を介して、X軸モータ46に所定パルス数の駆動信号を出力する。X軸モータ46は、その駆動信号に基づき、その駆動軸を所定回転数だけ回転する。駆動軸の回転力は、ネジ軸44に伝達され、ネジ軸44は所定回転数だけ回転する。その結果、移動テーブル42がX矢印方向に所定量だけ移動する。これにより、第2群の有機EL素子30が、ラインセンサカメラ48の撮像範囲内に含まれた状態になる。
【0037】
そして、CPU50は、第2群の有機EL素子30をラインセンサカメラ48により撮像し、画像プロセッサ53により各有機EL素子30の発光状態の良否を判断する。そして、CPU50は、移動テーブル42を所定量だけX矢印方向に移動する。このように、有機EL素子30の撮像及び発光状態の良否の判断、移動テーブル42の移動を繰り返し、最終の第n群の有機EL素子30まで撮像する。
【0038】
また、光パワー測定部57は、その下方に有機EL素子30が搬送されると、有機EL素子30の光パワーを測定する。そして、測定値が所定範囲内であるか否かを判断し、光パワーが所定範囲外である場合には、CPU50は、その有機EL素子30のアドレスをRAM51に格納する。
【0039】
全ての有機EL素子30に対して検査が完了すると、CPU50は、RAM51に格納された有機EL素子30のアドレス、発光不良の要因をディスプレイDに出力して、検査工程を終了する。
【0040】
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
(1)上記実施形態では、検査装置40は、有機EL素子30を有する発光素子アレイ25を撮像するラインセンサカメラ48と、発光素子アレイ25を搬送して、ラインセンサカメラ48の撮像範囲内に、発光素子アレイ25の有機EL素子30を配置する移動テーブル42及び搬送機構43とを備えるようにした。さらに、ラインセンサカメラ48が生成したデジタル画像データGを画像処理し、有機EL素子30の発光状態の良否を判断する画像プロセッサ53を備えるようにした。このため、数千個の有機EL素子30に対
し、画像処理により検査を行うので、見落としや誤判断が生じやすい目視検査に比べ、短時間で精度の良い検査を行うことができる。
【0041】
(2)上記実施形態では、画像プロセッサ53は、デジタル画像データGに基づき、有機EL素子30の発光領域(パターン部30a)の面積又は形状が、所定の面積又は形状を満たすか否かを判断するようにした。このため、目視検査では判別し難い、僅かな面積の差異、微細な形状の差異も短時間で検出することができる。
【0042】
(3)上記実施形態では、画像プロセッサ53は、デジタル画像データGに基づき、有機EL素子30の異物混入、封止不良、異常発光等の複数の発光不良状態を判別するようにした。そして、その発光不良が生じた有機EL素子30のアドレスと、その検査結果を検査端末49のRAM51に一時格納するようにした。そして、発光不良が生じた有機EL素子30のアドレス、発光不良の要因をディスプレイDに表示するようにした。このため、目視検査では判別し難く、時間がかかる発光状態の検査を、容易に且つ短時間で行うことができる。
【0043】
(4)上記実施形態では、検査装置40は、有機EL素子30の光パワーを測定する光パワー測定部57を備えるようにした。このため、有機EL素子30の発光不良の検出と合わせて、光パワーも測定することができる。
【0044】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、画像プロセッサ53は、デジタル画像データGの2値化、テンプレートマッチング等の画像処理方法を用いるようにしたが、上記した画像処理方法以外の画像処理方法で行っても良い。
【0045】
・上記実施形態では、光パワー測定部57を省略しても良い。
・上記実施形態では、搬送機構43を、ネジ軸44及び搬送台45等から構成するようにしたが、これ以外の構成でもよい。
【0046】
・上記実施形態では、検査端末49の画像プロセッサ53の画像処理結果に基づき、CPU50が、有機EL素子30の発光状態の良否を判断するようにしても良い。この場合、CPU50が、判断手段を構成する。
【0047】
・上記実施形態では、露光ヘッド2をタンデム式の光プリンタ1に搭載したが、1ドラム式のプリンタ等に搭載してもよい。
・上記実施形態では、発光素子アレイを、有機EL素子を有する有機ELディスプレイとして具体化してもよい。そして、有機ELディスプレイを移動テーブル42に載置して、ラインセンサカメラ48により撮像を行って検査を行うようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【0048】
【図1】本実施形態の光プリンタの概略図。
【図2】本実施形態の露光ヘッドの斜視図。
【図3】(a)は、本実施形態の発光素子アレイの正面図、(b)は断面図。
【図4】本実施形態の検査装置の正面図。
【図5】同検査装置の要部模式図。
【図6】本実施形態の検査端末のブロック図。
【図7】(a)は有機EL素子の正常発光、(b)〜(f)は発光不良状態を説明する模式図。
【符号の説明】
【0049】
1…光プリンタ、2…露光ヘッド、25…発光素子アレイ、30…発光素子としての有機EL素子、30a…発光領域としてのパターン部、40…検査装置、42…搬送手段を構成する移動テーブル、43…搬送手段を構成する搬送機構、48…撮像装置としてのラインセンサカメラ、53…画像処理手段、判断手段としての画像プロセッサ、57…測定手段としての光パワー測定部、G…撮像データとしてのデジタル画像データ。




 

 


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