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発明の名称 搬送装置及び製造方法
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開2007−15863(P2007−15863A)
公開日 平成19年1月25日(2007.1.25)
出願番号 特願2006−272493(P2006−272493)
出願日 平成18年10月4日(2006.10.4)
代理人 【識別番号】100102211
【弁理士】
【氏名又は名称】森 治
発明者 小林 義明 / 小林 秀 / 浜田 豊秀 / 脇山 史敏 / 清水 道行 / 柳生 充泰
要約 課題
従来の半導体搬送装置に比較して、搬送時間を小さく、装置のコストを小さく、設置面積を小さく、及び装置の信頼性を高めた装置構成を提供すること。

解決手段
半導体ウエハを収納したキャリアを保管する棚を備え、保管棚と、複数の半導体製造装置、又は検査装置のワーク受け渡し部との間を、キャリアを搬送、及び移載を行う搬送移載機構と、前記搬送移載機構の動作領域、及び前記棚を、外部領域からのオペレータの侵入から隔離する手段とを備えたことにより達成される。
特許請求の範囲
【請求項1】
被処理物、又は少なくとも1個の被処理物を収納したキャリアを保持するハンドを少なくとも1個備え、前記被処理物、又は前記キャリアを保持して搬送可能であり、前記被処理物、又は前記キャリアを前記ハンドの可動範囲内の任意の位置へ載置することが可能な搬送移載機構を備え、
前記搬送移載機構のハンドの到達範囲内に、ワーク受け渡し部を設けた少なくとも1台の製造装置、又は検査装置が接続され、
前記搬送移載機構のハンドの到達範囲内に、前記被処理物、又はキャリアを保管する棚と、
前記搬送移載機構のハンドが到達可能な範囲、及び前記搬送移載機構に接続される前記製造装置、又は検査装置の中を管理領域として、その領域内に在る前記被処理物、又は前記キャリア内の被処理物の存在位置情報、及び処理情報を管理するコントローラとを更に備え、
前記コントローラが、前記領域内に在る前記被処理物、又は前記キャリア内の被処理物の中で、次に処理すべき、又は棚へ保管すべき被処理物を決定し、
前記コントローラの指示に従って前記搬送移載機構が、前記製造装置又は検査装置のワーク受け渡し部の間を、又は前記棚と前記ワーク受け渡し部との間を、
前記決定された被処理物又はキャリア内の被処理物を搬送する、
ことを特徴とする搬送装置。
【請求項2】
搬送装置内の搬送移載機構の動作領域及び保管用棚領域を、外部領域からのオペレータの侵入から隔離して、少なくとも1台の製造装置、又は検査装置を接続して、
前記搬送移載機構のハンドが到達可能な範囲、及び前記搬送移載機構に接続される前記製造装置、又は検査装置の中を管理領域として、その領域内に在る前記被処理物、又は前記キャリア内の被処理物の存在位置情報、及び処理情報を管理して、前記領域内に在る前記被処理物、又は前記キャリア内の被処理物の中で、次に処理すべき、又は棚へ保管すべき被処理物を決定し、
処理前若しくは処理後の被処理物を被処理物単位で、又は所定数単位の被処理物を収納したキャリア単位で、前記搬送移載機構により、前記棚から把持し、又は前記製造装置若しくは検査装置のワーク受け渡し部から回収して、搬送して、及び前記若しくは他のワーク受け渡し部へ供給し、又は前記若しくは他の棚へ移載することを特徴とする製造方法。
【請求項3】
処理前、又は処理後の被処理物を被処理物単位で、又は所定数単位の被処理物を収納したキャリア単位で保管する棚と、
前記被処理物若しくはキャリアを前記棚から把持し、又は前記製造装置若しくは検査装置のワーク受け渡し部から回収して、搬送して、及び前記若しくは他のワーク受け渡し部へ供給し、又は前記若しくは他の棚へ移載する搬送移載機構と、
前記搬送移載機構の動作領域、及び前記棚を、外部領域からのオペレータの侵入から隔離する手段とを備えたことを特徴とする搬送装置において、
前記搬送装置に製造装置と、前記製造装置で処理した被処理物を検査する検査装置とを接続したことを特徴とする搬送装置。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
本発明は、クリーンルーム中に設置されている、例えば半導体製造装置(以下、製造装置と称す)間、半導体検査装置(以下、検査装置と称す)間、又は製造装置と検査装置との間で、例えば半導体ウエハ等の被処理物を搬送する搬送装置に関するものである。また、本発明は例えば半導体ウエハ等の被処理物を、製造装置又は検査装置間を搬送して製造を行う製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
半導体生産ラインでは同一製造装置で複数工程の処理をするため、半導体ウエハを収納したキャリアを一旦ストッカに保管して、各製造装置に対してストッカ内にあるキャリアから優先度の高いキャリアを割り付ける方法をとっている。このため、従来の半導体部品搬送装置は特開平1−291442号公報や特開平4−115512号公報に示すようにストッカ間の搬送を行う工程間搬送装置、キャリアを保管するストッカ、ストッカと製造装置、検査装置間の搬送を行う工程内搬送装置と3系統に分割されていた。
【0003】
従来の半導体搬送装置は3系統の搬送装置を使用していたので、コストが大きい問題と搬送装置の設置面積が大きいので、維持費が高いクリーンルーム内の高クリーン領域を広く占有する問題、搬送装置間のロット受け渡し回数が多いため搬送待ち時間が多い問題があった。また、従来の工程内搬送装置は複雑な移載機構を有する自走式搬送車を使用していたので、機構が複雑なため、搬送時間が大きく、コストが大きく、信頼性が低い問題があった。また、従来の半導体製造方法は半導体ウエハ投入から完成品の払い出しまでの期間が長い問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明の目的は従来の半導体搬送装置の有する上記問題を解決し、コストが小さく、クリーンルームの占有面積が小さく、搬送待ち時間が少ない半導体搬送装置を提供することである。また、本発明の別の目的は搬送時間が短く、信頼性が高い半導体搬送装置を提供することにある。
【0005】
本発明の目的は、搬送装置のコストが小さく、信頼性の高い半導体製造方法を提供することである。また、本発明の別の目的は、クリーンルームの有効活用が可能で、搬送時間と搬送待ち時間が短い半導体製造方法を提供することである。また、本発明の別の目的は半導体ウエハ投入から完成品の払い出しまでの期間が短い半導体製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するため、本発明の搬送装置は、処理前、又は処理後の被処理物を被処理物単位で、又は所定数単位の被処理物を収納したキャリア単位で保管する棚を備え、複数の製造装置、又は検査装置に接続して、前記被処理物若しくはキャリアを前記棚から把持し、又は前記製造装置若しくは検査装置のワーク受け渡し部から回収して、搬送して、及び前記若しくは他のワーク受け渡し部へ供給し、又は前記若しくは他の棚へ移載する搬送移載機構と、前記搬送移載機構の動作領域、及び前記棚を、外部領域からのオペレータの侵入から隔離する手段とを備える。
また、本発明の搬送装置は、1式の搬送移載機構で複数の製造装置にキャリアの供給を行うことを特徴としている。また、本発明の搬送装置は、複数フロアを貫通し、各フロア毎に該キャリアを受渡可能な入出庫口を有することを特徴としている。また、本発明の搬送装置は、搬送移載機構の走行方向に沿って、該キャリアを一時保管するための棚を有することを特徴としている。
また、本発明の搬送装置は、より具体的には、以下のような装置である。
(1)被処理物、又は少なくとも1個の被処理物を収納したキャリアを保持するハンドを少なくとも1個備え、前記被処理物、又は前記キャリアを保持して搬送可能であり、前記被処理物、又は前記キャリアを前記ハンドの可動範囲内の任意の位置へ載置することが可能な搬送移載機構を備え、
前記搬送移載機構のハンドの到達範囲内に、ワーク受け渡し部を設けた少なくとも1台の製造装置、又は検査装置が接続され、
前記搬送移載機構のハンドの到達範囲内に、前記被処理物、又はキャリアを保管する棚と、
前記搬送移載機構のハンドが到達可能な範囲、及び前記搬送移載機構に接続される前記製造装置、又は検査装置の中を管理領域として、その領域内に在る前記被処理物、又は前記キャリア内の被処理物の存在位置情報、及び処理情報を管理するコントローラとを更に備え、
前記コントローラが、前記領域内に在る前記被処理物、又は前記キャリア内の被処理物の中で、次に処理すべき、又は棚へ保管すべき被処理物を決定し、
前記コントローラの指示に従って前記搬送移載機構が、前記製造装置又は検査装置のワーク受け渡し部の間を、又は前記棚と前記ワーク受け渡し部との間を、
前記決定された被処理物又はキャリア内の被処理物を搬送する。
(2)前記搬送移載機構は、被処理物又はキャリアを保持する前記ハンドと、
前記ハンドを水平方向に移動するアームと、
前記アームを昇降させるマストと、
前記マストを走行させる走行部とを備えている。
(3)前記搬送移載機構の動作領域、及び前記棚を、外部領域からのオペレータの侵入から隔離する手段とを更に備えている。
(4)前記被処理物が半導体ウエハである。
(5)前記被処理物が液晶、PDP(Plasma Display Panel)、HD(Hard Disk)、又は磁気ヘッドである。
(6)前記搬送装置の占有領域が、複数フロアを貫通し、各フロア毎に前記キャリアを受け渡し可能な入出庫口を有する。
(7)前記搬送移載機構の走行方向に沿って、前記棚を配置する。
【0007】
上記目的を達成するため、本発明の製造方法は、搬送装置内の搬送移載機構の動作領域及び保管用棚領域を、外部領域からのオペレータの侵入から隔離して、複数の製造装置、又は検査装置を接続して、処理前若しくは処理後の被処理物を被処理物単位で、又は所定数単位の被処理物を収納したキャリア単位で、前記搬送移載機構により、前記棚から把持し、又は前記製造装置若しくは検査装置のワーク受け渡し部から回収して、搬送して、及び前記若しくは他のワーク受け渡し部へ供給し、又は前記若しくは他の棚へ移載することを特徴とする。
また、本発明の製造方法は、複数のフロアで1台の水平搬送装置を共有し、各製造装置あるいは検査装置群ごとに少なくとも1台の垂直搬送装置を設置し、これら搬送装置を使用して各工程間の搬送を行って、被処理物の製造を行うことを特徴としている。
また、本発明の製造方法は、より具体的には、以下のような方法である。
(8)搬送装置内の搬送移載機構の動作領域及び保管用棚領域を、外部領域からのオペレータの侵入から隔離して、少なくとも1台の製造装置、又は検査装置を接続して、
前記搬送移載機構のハンドが到達可能な範囲、及び前記搬送移載機構に接続される前記製造装置、又は検査装置の中を管理領域として、その領域内に在る前記被処理物、又は前記キャリア内の被処理物の存在位置情報、及び処理情報を管理して、前記領域内に在る前記被処理物、又は前記キャリア内の被処理物の中で、次に処理すべき、又は棚へ保管すべき被処理物を決定し、
処理前若しくは処理後の被処理物を被処理物単位で、又は所定数単位の被処理物を収納したキャリア単位で、前記搬送移載機構により、前記棚から把持し、又は前記製造装置若しくは検査装置のワーク受け渡し部から回収して、搬送して、及び前記若しくは他のワーク受け渡し部へ供給し、又は前記若しくは他の棚へ移載する。
(9)搬送装置内の搬送移載機構の動作領域及び保管用棚領域を、外部領域からのオペレータの侵入から隔離して、複数の製造装置若しくは検査装置を接続して、前記搬送移載機構が、被処理物を被処理物単位で、又は所定数単位の被処理物を収納したキャリア単位で、入庫口若しくは仮置き棚より受け取り、前記保管用棚まで搬送して載置する第1のステップと、
前記搬送移載機構が、前記保管用棚より、被処理物を被処理物単位で、又は所定数単位の被処理物を収納したキャリア単位で、前記製造装置若しくは検査装置のワーク受け渡し部へ搬送して載置する第2のステップと、
前記搬送移載機構が、前記製造装置若しくは検査装置のワーク受け渡し部より、処理済み被処理物を被処理物単位で、又は所定数単位の被処理物を収納したキャリア単位で、前記保管用棚まで搬送して載置する第3のステップと、
前記搬送移載機構が、前記保管用棚より、前記処理済み被処理物を被処理物単位で、又は所定数単位の被処理物を収納したキャリア単位で、出庫口若しくは仮置き棚まで搬送して載置する第4のステップとを含む。
(10)前記被処理物が半導体ウエハである。
(11)前記被処理物が液晶、PDP(Plasma Display Panel)、HD(Hard Disk)、又は磁気ヘッドである。
【0008】
また、本発明の搬送装置は、製造装置と、前記製造装置で処理した被処理物を検査する検査装置とに接続したことを特徴とする。
また、本発明の搬送装置は、より具体的には、以下のような装置である。
(12)処理前、又は処理後の被処理物を被処理物単位で、又は所定数単位の被処理物を収納したキャリア単位で保管する棚と、
前記被処理物若しくはキャリアを前記棚から把持し、又は前記製造装置若しくは検査装置のワーク受け渡し部から回収して、搬送して、及び前記若しくは他のワーク受け渡し部へ供給し、又は前記若しくは他の棚へ移載する搬送移載機構と、
前記搬送移載機構の動作領域、及び前記棚を、外部領域からのオペレータの侵入から隔離する手段とを備えたことを特徴とする搬送装置において、
前記搬送装置に製造装置と、前記製造装置で処理した被処理物を検査する検査装置とを接続する。
(13)前記搬送装置に接続する製造装置と、前記製造装置で処理した被処理物を検査する検査装置において、
前記製造装置の故障・保守・段取り等を考慮した単位時間処理能力の逆数を左辺とし、前記検査装置の故障・保守・段取り等を考慮した単位時間処理能力の逆数を右辺とし、左辺を整数にした比率として、製造装置を前記比率の左辺の台数、検査装置を前記比率の右辺の小数点以下を繰り上げた台数接続する。
(14)1台の搬送装置に接続する製造装置及び検査装置を、搬送装置の負荷率が70%以下になる台数接続する。
【発明の効果】
【0009】
本発明によれば、ストッカと工程内搬送装置を統合できるため、コストが小さく、クリーンルームの占有面積が小さく、搬送待ち時間が少ない半導体搬送装置が提供できる。また、本発明によれば、搬送時間が短く、信頼性が高い半導体搬送装置が提供できる。また、本発明によれば、搬送装置の構成要素を減少できるので、立ち上げ期間が短い半導体搬送装置が提供できる。
【0010】
本発明によれば、搬送装置のコストが小さく、信頼性の高い半導体製造方法を提供できる。また、本発明によれば、クリーンルームの有効活用が可能で、搬送時間と搬送待ち時間が短い半導体製造方法を提供できる。また、本発明によれば、ライン立ち上げ期間が短く、半導体ウエハ投入から完成品の払い出しまでの期間も短い半導体製造方法を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0011】
半導体ウエハの製造工程は大きく分けて以下に説明するように分けられている(工程1〜7)。半導体ウエハ上に配線や絶縁膜等の層を、化学的又は物理的な方法で形成する工程(工程1)、レジストを塗布し、露光、現像して半導体ウエハ上にレジストのパターンを形成する工程(工程2)、半導体ウエハ上の不要な部分をエッチングする工程(工程3)、半導体ウエハにイオンを打ち込む工程(工程4)、レジストを除去する工程(工程5)、その他、各工程の間には、半導体ウエハ上に付着する異物を取り除くための洗浄工程(工程6)と、検査工程(工程7)とが適宜実施される。半導体製造ラインでは、上記工程を順次繰り返すことで、製品を製造している。
【0012】
本発明の第1の実施例を図1〜10、図31〜34を用いて説明する。
【0013】
図1、図2、図3、図4はそれぞれ第1の実施例の半導体搬送装置の断面斜視図、断面平面図、断面側面図、側面図である。本実施例では図1〜4に示すように、グレーチング(開口率30〜70%の金属製の床)60の上に搬送保管装置100を設け、その搬送保管装置100に6台の製造装置700と工程間搬送装置200を接続している。搬送保管装置100は主に半導体ウエハを収納可能なキャリア50を搬送するクレーン110と、キャリア50を載置可能な棚120とで構成され、図4に示すように工程間搬送装置とキャリアの受渡しを行う天井搬送用入出庫口140と、図示しないオペレータやグレーチング60上を走行する自動搬送車とキャリアの受渡しを行う入出庫口130とを有している。搬送保管装置100には図示しないマニュアル搬送指示端末が設置してあり、オペレータの意志で搬送保管装置100内のキャリア50の搬送を実施できる。製造装置700にはクレーン110でキャリア50を載置可能なキャリア受渡口(以下ローダと称す)730が装置前面に設けてあり、グレーチング60の下には製造装置700の処理室内部を減圧するための真空ポンプ710がコンクリート床70に設置され、グレーチング60とコンクリート床70との間に製造装置700で使用する薬液を供給するための薬液用配管720が設置してある。工程間搬送装置200は装置群間のキャリア搬送を行う搬送装置であり、主に、キャリア50を搬送するための自走可能な搬送車210と工程間レール220とで構成されている。
【0014】
本発明では、搬送保管装置100全体をパーティションで覆い、自動搬送装置の領域とオペレータの領域とを分離して、非常時以外は搬送保管装置100内にオペレータが侵入しないようにしている。このため、安全上の制約が無くなり、クレーン110の動作速度を高速にできるので、搬送時間を短縮できる。搬送保管装置100のパーティションは、製造装置のローダ730と干渉する部分を切り抜いていて、クレーン110で棚120にキャリア50を移載するのと同様の動作で、ローダ730にキャリア50を移載できる。搬送保管装置100内部のローダ730と干渉しない領域には棚120が設置可能で、搬送保管装置100毎の必要数に応じて棚120を設置する。
【0015】
図5は搬送保管装置100のクレーン110の詳細図であり、図6はクレーン110が棚120にキャリア50を置く動作を示す側面図と平面図である。クレーン110はキャリア50を保持するハンド113と、ハンド113を水平方向に移動させる(関節型)アーム112、アーム112を昇降させるマスト111で構成され、クレーン全体は走行レール114に沿って走行可能になっている。アーム112の第1アームと第2アームはそれぞれ独立に旋回動作可能となっている。ハンド113には3本の位置決めピンが固定してあり、このピンがキャリア50裏面の溝に収まることでキャリア50を保持している。ハンド113上のキャリア50の棚120への載置動作を図6を用いて説明する。棚120にはキャリア50裏面の溝に収まる位置に3本のピンと、クレーン110のハンド113とアーム112が干渉しないように切り欠きを設けてある。まず、マスト111の昇降機能で、キャリア50を保持したハンド113とアーム112が棚120と干渉しない高さまで上昇させる(a)。次にアーム112を動作させ、棚120とキャリア50の位置を水平位置をあわせ、マスト111の昇降機能でアーム112を降下させるとキャリア50は棚120に保持される(b)。そのまま、アーム112を降下させ、棚120とハンド113、アーム112が干渉しない位置まで来るとアーム112を収縮させて棚120へのキャリア50の載置が完了する(c)。逆に棚120からキャリア50をハンド113で受け取る場合は上記の逆の動作を行えばよい。当然、ローダ730にも棚120と同様の切り欠きを設けてあり、ローダ730へのキャリア50の搬送も、棚120とのキャリア50の搬送と同様に行える。なお、本実施例ではハンド113はキャリア50裏面を保持したが、図39に示すように、キャリア50上部に取っ手を設け、その取っ手を保持するハンド113を使用すれば、棚120、ローダ730にハンド113とアーム112の干渉を避けるための切り欠きが不要で、本実施例と同様の動作が可能である。
【0016】
図7に本実施例の半導体製造ラインのシステム構成図を示す。進度管理コントローラ900には、複数の設備群管理コントローラ(800A、800B)と工程間搬送コントローラ250が接続している。進度管理コントローラ900には、ロットIDとプロセスフローが登録してあり、ロットの進捗管理と工程間搬送コントローラ250へ工程間搬送指示を行う。ロットとは半導体ウエハ数枚からなる管理上のまとまり(1枚の場合もある)を意味し、本実施例では、1ロットの半導体ウエハは1つのキャリア50に収納されている。キャリア50の裏面には、各ロット固有のIDを表すバーコードが貼り付けられている。設備群管理コントローラ800には、管理領域内の製造装置(700A、700B、…)、検査装置750と搬送保管装置コントローラ(150A、150B)が接続している。設備群管理コントローラ800は管理領域内の製造装置、検査装置の状態と、その領域内に存在するロットの位置と、そのロットが処理前か、処理中か、又は処理済みか等の状態を管理していて、各装置へのロットの割り付けと搬送保管装置100への動作指示、進度管理コントローラ900へ着工開始、処理終了等、ロットの進捗報告を行っている。工程間搬送コントローラ250には、搬送台車コントローラ260と搬送保管装置コントローラ150が接続している。工程間搬送コントローラ250は進度管理コントローラ900からの搬送指示(ロットID、搬送始点搬送保管装置ID、搬送終点搬送保管装置ID、優先度)に従って、搬送台車コントローラ260と搬送保管装置コントローラ150に順次指示を行い、ロットの搬送完了後、進度管理コントローラ900にその搬送終了を報告する。搬送保管装置コントローラ150は、クレーン110の制御と、棚120と搬送保管装置100内のロットの現在位置の管理を担当している。
【0017】
図8、図31、図32、図33、図34のフローチャートを用いて本実施例の半導体製造方法を説明する。図31は図8のサブルーチンS1、図32はサブルーチンS2、図33はサブルーチンS3、図34はサブルーチンS4の詳細内容を表している。また、補足として図9に本実施例のロット搬送要求以降のコントローラ間通信の一部を示す。オペレータがロットAのロットIDとプロセスフローIDとを図示しない端末を通して進度管理コントローラ900に登録すると、進度管理コントローラ900は、ロットAの次工程を処理する製造装置を管理する設備群管理コントローラ800Bに、ロットAの装置割り付け指示を行う。設備群管理コントローラ800Bは、ロットAの次工程を処理可能な製造装置の稼働予定から、1台の製造装置700Bを選択する。オペレータがロットAを搬送保管装置100Aの入出庫口130A(図4)に置くと、搬送保管装置コントローラ150Aは入出庫口130Aの在荷センサの状態変化から入出庫口130Aにロットが置かれたと認識し、クレーン110Aの動作状態を確認する。クレーン110Aが別の作業を行っていない場合は、搬送保管装置コントローラ150Aは搬送保管装置100A内の棚120から、棚番順に空き棚を検索して空き棚があった場合は、クレーン110Aにロットを入出庫口130Aから空き棚へ搬送する指示(入庫指示)を出す。空き棚がなかった場合は、搬送保管装置コントローラ150Aはクレーン110Aに入庫指示は出さずに、ロット入庫指示をクレーン動作待ち行列に加えて、別のイベント(出庫動作)で搬送保管装置100Aに空き棚ができるのを待つ。クレーン110Aに別の作業が割りついている場合、搬送保管装置コントローラ150Aはロットの入庫指示をクレーン動作待ち行列に加えて、クレーン110Aの動作終了を待って、空き棚の検索を行い、以後クレーン110Aに別作業が割り付いていなかった場合と同様の制御を行う。
【0018】
搬送保管装置コントローラ150AはロットAを入出庫口から空き棚へ運ぶ途中で、クレーン110Aのハンド113Aに設置してある図示しないロットIDリーダでロットAのIDを読み込む。搬送保管装置コントローラ150Aは読み込んだロットIDを設備群管理コントローラ800Aへ通知すると、設備群管理コントローラ800Aは進度管理コントローラ900にロットAの入庫を報告する。
【0019】
進度管理コントローラ900はプロセスフローからロットAが次に処理を行う製造装置にロットを搬送できる搬送保管装置100Bを選択し、工程間搬送コントローラ250にロットAの搬送保管装置100Aから搬送保管装置100Bへの搬送指示を出す。工程間搬送コントローラ250は搬送保管装置100Bに空き棚があるのを確認してから、搬送台車コントローラ260に搬送保管装置100Aへ迎車指示を出す。搬送保管装置100Bに空き棚がなかった場合は、工程間搬送コントローラ250はロットAの搬送指示を搬送指示待ち行列に加えて、搬送保管装置100Bに空き棚が発生するまで別の搬送指示を実行する。搬送保管装置100Aへの迎車指示を受けた搬送台車コントローラ260は、迎車可能な搬送台車の内、搬送保管装置100Aにもっとも近い搬送台車210Aを選択し、搬送台車210Aを搬送保管装置100Aの天井搬送用入出庫口140Aの前に停車させる。搬送台車コントローラ260から工程間搬送コントローラ250に搬送台車210Aの迎車完了報告が送られると、工程間搬送コントローラ250は搬送保管装置100Aの搬送保管装置コントローラ150AにロットAを搬送台車210Aに移載する指示を出す。クレーン110Aが別の動作を行っていない場合は、すぐにクレーン110AがロットAを棚120から搬送車210Aに乗せ、搬送保管装置コントローラ150Aは工程間搬送コントローラ250と設備群管理コントローラ800AにロットAの出庫を報告する。クレーン110Aが別の動作を行っていた場合は、搬送保管装置コントローラ150AはロットAの出庫指示をクレーン動作待ち行列に加えて、クレーン110Aの動作終了を待ってロットAの出庫を行う。ロットAの出庫報告を受けた工程間搬送コントローラ250は、搬送台車コントローラ260に、搬送台車210Aを搬送保管装置100Bの天井搬送用入出庫口140Bの前までの搬送指示を出す。搬送台車210Aが搬送保管装置100Bの前に到着すると、搬送台車コントローラ260から工程間搬送コントローラ250に搬送台車210Aの搬送完了報告が送られる。搬送完了報告を受けた工程間搬送コントローラ250は、搬送保管装置100Bの搬送保管装置コントローラ150Bに、ロットAを搬送台車210Aから棚120へ入庫する指示をだす。ロットAの入庫指示を受けた搬送保管装置コントローラ150Bが、ロットAがどの製造装置に割り付いているかを、設備群管理コントローラ800Bに問い合わせると、設備群管理コントローラ800Bは搬送保管装置コントローラ150Bに、ロットAの次工程処理装置は製造装置700Bと回答する。搬送保管装置コントローラ150Bは、製造装置毎のローダ位置と棚の位置を記憶しているので、搬送保管装置コントローラ150Bは、例えば、製造装置700Bのローダに近い順に空き棚を検索し、ロットAの入庫棚を決定するので、製造装置700Bが待機状態になった時により早くロットAを搬送できるようになっている。入庫棚を決め、クレーン110Bが別の動作を行っていない場合は、すぐにクレーン110BがロットAを搬送台車210Aから棚120Bに載置し、搬送保管装置コントローラ150Bは工程間搬送コントローラ250と設備群管理コントローラ800BにロットAの入庫を報告する。クレーン110Bが別の動作を行っていた場合は、搬送保管装置コントローラ150BはロットAの入庫指示をクレーン動作待ち行列に加えて、クレーン110Bの動作終了を待ってロットAの入庫を行う。入庫動作時には前記搬送保管装置100Aへの入庫と同様、搬送保管装置コントローラ150BはロットIDを読み取り、設備群管理コントローラ800Bに通知し、設備群管理コントローラ800Bは進度管理コントローラ900に入庫を報告する。
【0020】
ロットAを搬送保管装置100Bに入庫した後、設備群管理コントローラ800Bは、製造装置700Bのローダ730Bの状態を調べ、ローダに空きがあれば、搬送保管装置コントローラ100Bに、ロットAを棚120Bからローダ730Bへ搬送する指示を出す。搬送保管装置コントローラ150Bはクレーン110Bが待機状態ならば、ロットAの搬送指示を実行し、クレーン110Bが待機中でなければ、搬送保管装置コントローラ150BはロットAの搬送指示をクレーン動作待ち行列に加えて、クレーン110Bの動作終了を待ってロットAの搬送指示を実行する。ローダ730Bに空きがなかった場合、設備群管理コントローラ800BはロットAの処理をロット処理待ち行列に加えて、製造装置700Bのローダに空きができるのを待つ。搬送保管装置100Bと製造装置700Bとの間でインターロックを確認してから、クレーン110Bは棚120B上のロットAを把持し、搬送して、製造装置700Bのローダ730B(ワーク受け渡し部)へ供給する。ロットAの搬送を行った後、搬送保管装置コントローラ150Bが設備群管理コントローラ800BにロットAの搬送完了報告を送ると、設備群管理コントローラ800Bは製造装置700Bの状態を確認して、製造装置700Bが待機中ならば、設備群管理コントローラ800Bは製造装置700BにロットAの着工指示を出し、ロットAの処理を開始する。また、設備群管理コントローラ800Bは進度管理コントローラ900へロットAの着工報告を行う。当然、製造装置700Bが待機中でなければ、製造装置700Bが待機中になるのを待って、設備群管理コントローラ800BはロットAの着工指示を行う。
【0021】
ロットAの処理終了後、製造装置700Bが設備群管理コントローラ800Bに処理終了を報告すると、設備群管理コントローラ800Bは、進度管理コントローラ900にはロットAの処理終了を報告する。処理終了を受けた進度管理コントローラ900は、ロットAの次工程を処理する製造装置を管理する設備群管理コントローラ800に、ロットAの装置割り付け指示を行う。設備群管理コントローラ800は、ロットAの次工程を処理可能な製造装置の稼働予定から、1台の製造装置700Cを選択する。設備群管理コントローラ800Bが搬送保管装置コントローラ150BにロットAの入庫指示を行うと、搬送保管装置コントローラ150Bはクレーン110Bの動作状態を確認し、クレーン110Bが別の作業を行っていない場合、空き棚の検索を開始する。搬送保管装置コントローラ150Bは設備群管理コントローラ800Bへ、ロットAの次工程の処理を行う製造装置を問い合わせる。次工程製造装置700Cが別の搬送保管装置100Cに接続されている場合は、搬送保管装置コントローラ150Bは天井搬送用入出庫口140に近い棚から空き棚の検索を行い、次工程製造装置700Cが、製造装置700Bが接続されているのと同じ搬送保管装置100Bに接続されている場合は、搬送保管装置コントローラ150Bは製造装置700Cのローダ730Cに近い棚から空き棚の検索を行う。搬送保管装置コントローラ150Bは、空き棚があった時に、クレーン110BにロットAをローダ730Bから棚120Bへ搬送する指示(入庫指示)を出す。空き棚がなかった場合は、搬送保管装置コントローラ150Bはクレーン110Bに入庫指示は出さずに、ロット入庫指示をクレーン動作待ち行列に加えて、別のイベント(出庫動作)で搬送保管装置100Bに空き棚ができるのを待つ。クレーン110Bに別の作業が割りついている場合、搬送保管装置コントローラ150Bはロットの入庫指示をクレーン動作待ち行列に加えて、クレーン110Bの動作終了を待って、空き棚の検索を行い、以後クレーン110Bに別作業が割り付いていなかった場合と同様の制御を行う。搬送保管装置コントローラ150BはロットAをローダ730B(ワーク受け渡し部)から回収して、空き棚へ運ぶ途中で、ロットIDを読み込み、搬送保管装置コントローラ150Bは読み込んだロットIDを設備群管理コントローラ800Bへ通知すると、設備群管理コントローラ800Bは進度管理コントローラ900にロットAの入庫を報告する。その後は、最終工程まで図8に示すフローの繰り返しとなる。
【0022】
図10は本発明の第1の実施例の半導体搬送装置の平面図であり、本発明の半導体製造方法でのキャリア搬送の動線を示している。以下、この動線の内容を説明する。前工程の搬送保管装置100から払い出されたキャリア50を、工程間搬送装置200の搬送台車210から搬送保管装置100の棚120へ搬送する(動線1110)。棚120から製造装置700のローダ730へキャリア50を搬送する(動線1120)。製造装置700での処理終了後、ローダ730から棚120へキャリア50を搬送する(動線1130)。工程間搬送装置200の搬送台車210の到着を待って、棚120から搬送台車210へキャリア50を搬送し、次工程の搬送保管装置100へ搬送する(動線1140)。本実施例では、基本的に上記搬送動作の繰り返しで半導体が製造されていく。
【0023】
本発明では、物理的にクレーン110の動作範囲にはオペレータが進入できないように、搬送保管装置100全体に覆いが設けられていて、クレーン110自体の構造も高速化が容易なので、クレーン110の動作を高速にして動作時間を短縮することが可能である。図10に示す4回の搬送動作はすべて、高速動作可能なクレーン110で行っているので、平均動作時間は20秒以下となり、4動作合計で80秒以下である。また、従来の搬送装置に比べて搬送装置間の乗り移り回数が少ないので、搬送待ち時間も小さく、総合的な搬送時間を大きく短縮できる。
【0024】
半導体製造ラインでは、生産性向上を目的とした半導体ウエハの大口径化に伴って、半導体ウエハを人手で搬送することが困難になり、自動搬送装置による半導体ウエハ搬送が必須になってくる。しかし、従来の半導体製造装置は機種毎に、ローダの位置や姿勢が異なるため、複雑な機構を持つ自動搬送装置が必要なので、コストが高く、搬送時間も大きい問題がある。低コストで、高速な自動搬送を実現するには、単純な機構でキャリアを搬送することが求められるので、今後、製造装置ローダの位置と姿勢の標準化が進むと考えられる。本発明は、現在でも同種装置だけを設置した領域に適用した時に、低コストで高速な半導体搬送装置を実現するのに有効であるが、近い将来、製造装置ローダの位置と姿勢が標準化された時には、より大きな効果が期待できる。
【0025】
本発明の半導体製造方法の利点を示すために、以下に従来の半導体製造方法を示す。
【0026】
従来の半導体製造ラインの概要を図23〜27、図35〜38を用いて説明する。
【0027】
図23、図24、図25はそれぞれ従来のベイと呼ばれる同種の製造装置を集めたジョブショップにおける半導体搬送装置の一例の、一部内部を透視した斜視図、上面図、一部断面とした側面図である。従来は図23〜25に示すように、グレーチング60の上にストッカ500、2台の工程内搬送装置300、8台の製造装置700と工程間搬送装置200が設置してある。ストッカ500はキャリア50を搬送するスタッカクレーン510と、キャリア50を載置可能な棚520とで構成され、天井搬送用入出庫口540と、オペレータや自動搬送車用の入出庫口530をベイ内通路側と工程間搬送装置側とに有している。工程内搬送装置300は、キャリア50を搬送可能なスライドアームを2台搭載した自走式の工程内搬送車310と、工程内レール320とから構成され、ストッカ500と製造装置700間の搬送を行う。製造装置700と工程間搬送装置200とは第1の実施例と同様の構成である。
【0028】
図26に従来の半導体製造ラインのシステム構成図を示す。進度管理コントローラ900は本発明の第1の実施例と同様の機能を持っている。設備群管理コントローラ800には、管理領域内の製造装置700、検査装置750と管理領域内の搬送を行う工程内搬送コントローラ350、管理領域内のロットを保管するストッカコントローラ550が接続している。設備群管理コントローラ800は管理領域内の製造装置、検査装置の状態と、その領域内に存在するロットの位置と、現在そのロットが製造装置で処理中であるか等の状態を管理し、各装置へのロットの割り付けとストッカコントローラ550と工程内搬送装置コントローラ350への動作指示を行う。工程間搬送コントローラ250には搬送台車コントローラ260とストッカコントローラ550が接続している。工程間搬送コントローラ250は進度管理コントローラ900からの搬送指示に従って、搬送台車コントローラ260とストッカコントローラ550に順次指示を行い、ロットの搬送完了後、設備群管理コントローラ800に報告する。ストッカコントローラ550はクレーン510の制御と、棚520とストッカ500内のロットの位置を管理している。工程内搬送コントローラ350は工程内搬送車310の制御を行う。
【0029】
図27、図35、図36、図37、図38のフローチャートを用いて従来の実施例の半導体製造方法を説明する。図35は図27のサブルーチンS5、図36はサブルーチンS6、図37はサブルーチンS7、図38はサブルーチンS8の詳細内容を表している。また、補足として図28に従来のロット搬送要求以降のコントローラ間通信の一部を示す。オペレータがロットAのロットIDとプロセスフローIDとを図示しない端末を通して進度管理コントローラ900に登録する。オペレータがロットAをストッカ500Aの入出庫口530Aに置くと、ストッカコントローラ550Aは入出庫口530Aの在荷センサの状態変化から入出庫口530Aにロットが置かれたと認識し、スタッカクレーン510Aの動作状態を確認する。スタッカクレーン510Aが別の作業を行っていない場合は、ストッカコントローラ550Aはストッカ500A内の棚520から棚番順に空き棚を検索し、空き棚があった時だけスタッカクレーン510Aにロットを入出庫口から空き棚へ入庫指示を出す。空き棚がなかった場合は、ストッカコントローラ550Aはスタッカクレーン510Aに入庫指示は出さずに、ロット入庫指示をスタッカクレーン動作待ち行列に加えて、別のイベントでストッカ500Aに空き棚ができるのを待つ。スタッカクレーン510Aに別の作業が割りついている場合、ストッカコントローラ550Aはロットの入庫指示をスタッカクレーン動作待ち行列に加えて、スタッカクレーン510Aの動作終了を待って、空き棚の検索を行い、以後スタッカクレーン510Aに別作業が割り付いていなかった場合と同様の制御を行う。ストッカコントローラ550AはロットAを入出庫口から空き棚へ運ぶ途中で、ロットIDを読み込む。ストッカコントローラ550Aは読み込んだロットIDを設備群管理コントローラ800Aへ通知すると、設備群管理コントローラ800Aは進度管理コントローラ900にロットAの入庫を報告する。
【0030】
進度管理コントローラ900はプロセスフローから、ロットAが次に処理を行う製造装置にロットを搬送できる工程間搬送装置300Bに接続されているストッカ500Bを選択し、工程間搬送コントローラ250にロットAのストッカ500Aからストッカ500Bへの搬送指示を出す。工程間搬送コントローラ250はストッカ500Bに空き棚があるのを確認してから、搬送台車コントローラ260にストッカ500Aへ迎車指示を出す。ストッカ500Bに空き棚がなかった場合は、工程間搬送コントローラ250はロットAの搬送指示を搬送指示待ち行列に加えて、ストッカ500Bに空き棚が発生するまで別の搬送指示を実行する。ストッカ500Aへの迎車指示を受けた搬送台車コントローラ260は、迎車可能な搬送台車の内、ストッカ500Aにもっとも近い搬送台車210Aを選択し、搬送台車210Aをストッカ500Aの天井搬送用入出庫口540Aの前に停車させる。搬送台車コントローラ260から工程間搬送コントローラ250に搬送台車210Aの迎車完了報告が送られると、工程間搬送コントローラ250はストッカ500Aのストッカコントローラ550AにロットAを搬送台車210Aに乗せる指示をだす。スタッカクレーン510Aが別の動作を行っていない場合は、すぐにスタッカクレーン510AがロットAを棚520から搬送車210Aに乗せ、ストッカコントローラ550Aは工程間搬送コントローラ250と設備群管理コントローラ800AにロットAの出庫を報告する。スタッカクレーン510Aが別の動作を行っていた場合は、ストッカコントローラ550AはロットAの出庫指示をスタッカクレーン動作待ち行列に加えて、スタッカクレーン510Aの動作終了を待ってロットAの出庫を行う。ロットAの出庫報告を受けた工程間搬送コントローラ250は、搬送台車コントローラ260に、搬送台車210Aをストッカ500Bの天井搬送用入出庫口540Bの前までの搬送指示を出す。搬送台車コントローラ260から工程間搬送コントローラ250に搬送台車210Aの搬送完了報告が送られると、工程間搬送コントローラ250はストッカ500Bのストッカコントローラ550BにロットAを搬送台車210Aから棚520への入庫指示をだす。スタッカクレーン510Bが別の動作を行っていない場合は、すぐにスタッカクレーン510BがロットAを搬送台車210Aから棚520Bに載置し、ストッカコントローラ550Bは工程間搬送コントローラ250と設備群管理コントローラ800Bに、ロットAの入庫を報告する。クレーン110Bが別の動作を行っていた場合は、ストッカコントローラ550BはロットAの入庫指示をスタッカクレーン動作待ち行列に加えて、スタッカクレーン510Bの動作終了を待ってロットAの入庫を行う。入庫動作時には前記ストッカ500Aへの入庫と同様、ストッカコントローラ550BはロットIDを読み取り、設備群管理コントローラ800Bに通知し、設備群管理コントローラ800Bは進度管理コントローラ900に入庫を報告する。
【0031】
ロットAをストッカ500Bに入庫した後、設備群管理コントローラ800BはロットAの次工程を処理できる複数の製造装置の内、待機状態の製造装置700Bを選択し、製造装置700Bのローダ730Bの状態を調べる。待機状態の製造装置がなかった場合、設備群管理コントローラ800BはロットAの処理をロット処理待ち行列に加えて、製造装置の処理終了を待つ。ローダ730Bが空きの場合、設備群管理コントローラ800Bは工程内搬送装置コントローラ350Bに、ストッカ500Bの入出庫口530Bへの迎車指示を出す。工程内搬送コントローラ350Bは工程内搬送車310Bの動作状態を確認し、工程内搬送車310Bが待機中ならば工程内搬送車310Bをストッカ500Bの入出庫口530Bの前に移動させ、工程内搬送車310Bの迎車完了後、設備群管理コントローラ800Bに迎車完了報告を行う。工程内搬送車310Bが迎車可能でなければ、工程内搬送コントローラ350Bは迎車指示を工程内搬送車指示待ち行列に加え、迎車可能になるまで別の作業を行う。
【0032】
工程内搬送車310Bの迎車完了後、設備群管理コントローラ800Bはストッカコントローラ550Bに、ロットAを入出庫口530Bに出庫する指示を出す。ストッカコントローラ550Bは入出庫口530Bとスタッカクレーン550Bの状態を確認し、入出庫口530Bに他のロットが無く、スタッカクレーン550Bに作業が割りついていなければ、ロットAを棚520Bから入出庫口530Bへの出庫指示を出す。入出庫口530Bに他のロットがあったり、スタッカクレーン510Bが別の動作を行っていた場合は、上記条件がそろうまで別の作業を行う。スタッカクレーン510BがロットAを入出庫口530Bに載置すると、ストッカコントローラ550Bは設備群管理コントローラ800Bに、ロットAの入出庫口530Bへの出庫報告を行う。ロットAの出庫報告を受けた設備群管理コントローラ800Bは、工程内搬送コントローラ350Bに、ロットAの入出庫口530Bから製造装置700Bのローダ730Bへの搬送指示を出すと、工程内搬送車310BがロットAを入出庫口530Bから受け取り、工程内搬送コントローラ350は設備群管理コントローラ800Bにロット受け取り報告を行って、工程内搬送車310Bはローダ730Bの前に停止し、製造装置700Bとインターロックを確認してからロットAをローダ730Bに載置する。ロットA載置後、工程内搬送コントローラ350Bは設備群管理コントローラ800BにロットAの搬送完了報告を送ると、設備群管理コントローラ800Bは製造装置700Bへ着工指示を出し、製造装置700BはロットAの処理を開始する。また、設備群管理コントローラ800Bは進度管理コントローラ900へロットAの着工報告を行う。
【0033】
製造装置700BはロットAの処理終了後、設備群管理コントローラ800Bに処理終了を報告すると、設備群管理コントローラ800Bは進度管理コントローラ900にはロットAの処理終了を報告し、ストッカコントローラ550Bには入出庫口530Bの状態を問い合わせる。入出庫口530Bに他ロットの載置予定が無ければ、設備群管理コントローラ800Bは工程内搬送装置コントローラ350Bに製造装置700Bのローダ730Bへの迎車指示を出す。入出庫口530Bに他ロットが置かれているか、置かれる予定がある場合は、そのロットの搬送が終了してから上記迎車指示を出す。工程内搬送コントローラ350Bは工程内搬送車310Bの動作状態を確認し、工程内搬送車310Bが待機中ならば、工程内搬送車310Bを製造装置700Bのローダ730Bの前に移動させる。工程内搬送車310Bの迎車完了後、工程内搬送コントローラ350Bは、設備群管理コントローラ800Bに迎車完了報告を行う。工程内搬送車310Bが待機中でなければ、工程内搬送コントローラ350Bは迎車指示を工程内搬送車指示待ち行列に加え、迎車可能になるまで別の作業を行う。迎車完了報告を受けた設備群管理コントローラ800Bが、工程内搬送コントローラ350BにロットAのローダ730Bからストッカ500Bの入出庫口530Bへの搬送指示を出す。その後、工程内搬送車310BがロットAをローダ730Bから受け取ると、工程内搬送コントローラ350は設備群管理コントローラ800Bにロット受け取り報告を行って、工程内搬送車310Bは入出庫口530Bの前に停止し、工程内搬送車310Bはストッカ500Bとインターロックを確認してから、ロットAを入出庫口530Bに載置する。ロットA載置後、工程内搬送コントローラ350Bは設備群管理コントローラ800BにロットAの搬送完了報告を送ると、設備群管理コントローラ800Bはストッカコントローラ550Bに、ロットAの棚520Bへの入庫指示を行う。ストッカコントローラ550Bはスタッカクレーン510Bの動作状態を確認し、スタッカクレーン510Bが別の作業を行っていない場合は、ストッカコントローラ550Bはストッカ500B内の棚520から棚番順に空き棚を検索し、空き棚があった時だけスタッカクレーン510Bにロットの入出庫口530Bから空き棚へ入庫指示を出す。空き棚がなかった場合は、ストッカコントローラ550Bはスタッカクレーン510Bに入庫指示は出さずに、ロット入庫指示をスタッカクレーン動作待ち行列に加えて、別のイベントでストッカ500Bに空き棚ができるのを待つ。スタッカクレーン510Bに別の作業が割りついている場合、ストッカコントローラ550Bはロットの入庫指示をスタッカクレーン動作待ち行列に加えて、スタッカクレーン510Bの動作終了を待って、空き棚の検索を行い、以後スタッカクレーン510Bに別作業が割り付いていなかった場合と同様の制御を行う。ストッカコントローラ550BはロットAを入出庫口から空き棚へ運ぶ途中で、ロットIDを読み込み、ストッカコントローラ550Bは読み込んだロットIDを設備群管理コントローラ800Bへ通知すると、設備群管理コントローラ800Bは進度管理コントローラ900にロットAの入庫を報告する。
【0034】
その後は、最終工程まで図27に示すフローの繰り返しとなる。
【0035】
図29は従来の半導体搬送装置の平面図であり、従来の半導体製造方法でのキャリア搬送の動線を示している。前工程のストッカ500から払い出されたキャリア50を、スタッカクレーン510が工程搬送装置200の搬送台車210から、ストッカ500の棚520へ搬送する(動線1210)。スタッカクレーン510がストッカ500の棚520から、ストッカ500の入出庫口530へキャリア50を搬送する(動線1220)。工程内搬送車310が入出庫口530から、製造装置700のローダ730へキャリア50を搬送する(動線1230)。製造装置700での処理終了後、工程内搬送車310がローダ730から、ストッカ500の入出庫口530へ搬送する(動線1240)。スタッカクレーン510が入出庫口530から、棚520へキャリア50を搬送する(動線1250)。工程間搬送装置200の搬送台車210の到着を待って、スタッカクレーン510が棚520から、搬送台車210へキャリア50を搬送し、次工程のストッカ500へ搬送する(動線1260)。従来の半導体製造方法では、基本的に上記搬送動作の繰り返しで半導体が製造されていく。
【0036】
図29に示す6回の搬送動作の内、スタッカクレーン510で行っている4動作は、平均動作時間20秒以下と短時間だが、コントローラ間通信やインタロック等の回数が多く、動作時間も大きい工程内搬送車310を使用した2動作は、迎車も含めて平均40秒程度なので、6動作合計で160秒程度必要になる。また、従来の搬送装置では搬送装置間の受け渡し回数が多いので、搬送待ち時間が大きくなり、総合的な搬送時間はさらに大きくなる。上述した従来例ではスライドアーム式の工程内搬送車を使用したが、従来の製造装置のローダは機種毎に、位置、姿勢が異なっているので、異種装置を同一領域に置く場合は、より複雑なロボットを搭載した工程内搬送車を使用することが求められ、その複雑な工程内搬送車での搬送時間は平均90秒程度になる。
【0037】
第1の実施例の半導体製造ラインを従来のものと比較すると、搬送装置や、システムの構成要素が少なく、機構自体が単純なので、機材の購入や設置等の導入コストとランニングコストが小さい。また、機材の納期も短くなり、調整時間も短縮できるので、ラインの立ち上げ期間も短縮できる。さらに、構成要素が少なく機構が単純なので、信頼性が高く、搬送装置間の乗り換え回数が少ないので搬送待ち時間が小さく、また、動作が単純なので搬送時間も小さい等の利点がある。
【0038】
半導体の製造装置は高価なので、半導体製造ラインでより多くの利益を出すためには装置稼働率をできるだけ高くする必要がある。このため、従来は製造装置のロット搬送待ちによる稼働率低下を避けるために、次に処理するロット(以下次ロットと称する)を保管するためのバッファ装置731を、各製造装置毎に設置したりしていた。しかし、バッファ装置731は各製造装置毎に個別対応なので高価であり、また、クリーンルームの占有面積が大きくなる問題があった。本発明の搬送保管装置を使用すれば、複数の製造装置でバッファ装置を共用できるので、バッファ装置分のコストと、クレーンルーム占有面積を削減できる。また、従来は各製造装置毎に次ロットを保管していたので、ライン内の総仕掛りロット数が増えて工完(新品ウエハ投入から完成品の払い出しまで)が長くなる問題があったが、複数の製造装置でバッファ装置を共用すると、複数の製造設備で次ロットを共有できるため、ライン全体の仕掛りが減らせるので、工完が短縮する効果もある。また、バッファ装置共用によって、同種装置の故障発生時のバックアップも容易になる利点がある。
【0039】
第1の実施例では搬送保管装置100と工程間搬送装置200を接続した例を示したが、搬送保管装置100と工程間搬送装置200とを直接接続せずに、工程間搬送装置200からストッカ、ストッカから工程内搬送装置、工程内搬送装置から搬送保管装置100と接続して、搬送保管装置100を複数の製造装置の共用バッファ装置として使用することも可能である。
【0040】
第1の実施例は同種の製造装置700だけを同じ領域に設置した例であるが、連続する工程の製造装置や検査装置を1台の搬送保管装置100に接続すれば、工程間搬送装置200を使用する搬送時間を削減できるので、搬送時間が短縮し、工完が短縮できる。また、搬送保管装置100内に製品の半導体ウエハを収納したキャリア50だけでなく、QCウエハを収納したキャリア50を保管することも可能であり、その場合、従来方式に比べて装置QC実施時のQCウエハの搬送待ちが小さくなるので、装置の稼働率を向上できる。
【0041】
第1の実施例では製造装置へのキャリア搬送がすべてクレーンで行われるため、クレーンが故障した場合に搬送手段がなくなってしまい、ラインが停止してしまう問題点がある。しかし、本実施例の半導体搬送装置は従来のものに比べて構成要素数が少なく、機構も単純なので信頼性が高く、年1回程度の定期メンテナンスを行えば、ほとんど故障は発生しない。それでも故障が発生した場合は、予備クレーンと交換して、事前に取得済みのクレーン毎の機差を調整するオフセット値を設定すれば、元のクレーンと同様の動作ができるようにしているので、ラインの停止時間を最低限に押さえることができ、従来よりも安定した半導体製造ラインを提供できる。
【0042】
第1の実施例では、半導体ウエハをキャリアに収納して搬送を行っているが、搬送保管装置100内部で十分なクリーン度が保てれば、半導体ウエハをキャリアに収めずにウエハ単位で搬送することもできる。
【0043】
第1の実施例では、ロットの搬送前に次工程の製造装置700を割り付け、ロットを供給する場所の近くの棚120に載置する事によって、搬送時間を低減していたが、従来例と同様に、棚番順に空き棚を選択しても、搬送時間が僅かに増加するだけで、本発明の効果を大きく失うことはない。
【0044】
本発明の第2の実施例を図11〜13を用いて説明する。
【0045】
図11、図12、図13はそれぞれ第2の実施例の半導体搬送装置の、一部内部を透視した斜視図、一部内部を透視した上面図、一部内部を透視した側面図である。本実施例が第1の実施例と異なるのは、搬送保管装置100に工程間搬送装置200とのキャリア50受け渡し専用の工程間受渡用ロボット115を追加したところである。
【0046】
本実施例でのロットBの流れを以下に説明する。工程間搬送装置200の搬送台車210で搬送されてきたロットBは、搬送保管装置100の工程間受渡用ロボット115で仮置き棚121に置かれる。その後、クレーン110はロットBを仮置き棚121から別の棚120へ搬送してから、製造装置700のローダ730へ搬送を行う。製造装置700での処理終了後、クレーン110はロットBを棚120へ搬送し、仮置き棚122が空いていれば、棚120から仮置き棚122へ搬送を行う。工程間搬送装置200の搬送台車210が天井搬送用入出庫口140前に停止すると、工程間受渡用ロボット115でロットBを仮置き棚122から搬送台車210に移載する。ロットBは搬送台車210で次工程へ搬送される。
【0047】
上記した第1、第2の実施例を通して説明されている「棚120」は、保管用棚のことであり、被処理物(半導体ウエハ)の製造工程又は検査工程間で、被処理物が次工程の処理を行う装置へ移載されるまで待機するための棚と定義される。それに対し、上記「仮置き棚121、122」は、被処理物(半導体ウエハ)の搬送過程で被処理物が一時的に置かれる棚と定義される。
【0048】
本実施例では第1の実施例に比べてクレーン110の動作回数は変わらないが、工程間受渡用ロボット115の動作が2回増えているので、合計搬送時間は16秒(8秒×2回)程度増加する。しかし、クレーン110が別の動作を実施中でも工程間搬送装置200の搬送台車210とのキャリア受渡しは工程間受渡用ロボット115が行うため、搬送台車210のキャリア移載待ち時間を減少できるので、工程間搬送装置200の負荷を低減できる利点がある。本実施例は、工程間搬送装置200の負荷が高いラインや、同一搬送保管装置100内でのキャリア搬送回数が多い搬送保管装置100に適用すると効果が大きい。
【0049】
本実施例でも第1の実施例の場合と同様に、搬送保管装置100と工程間搬送装置200とを直接接続せずに、工程間搬送装置200からストッカ、ストッカから工程内搬送装置、工程内搬送装置から搬送保管装置100と接続して、搬送保管装置100を複数の製造装置の共用バッファ装置として使用することも可能である。ただし、この場合の工程間受渡用ロボット115は、設置位置を下げて工程内搬送装置300とのキャリア50の受け渡しを行うようになる。また、本実施例でも、異種の製造装置や検査装置を1台の搬送保管装置100に接続すれば、第1の実施例で説明したのと同様の効果が期待できる。
【0050】
本発明の第3の実施例を図14〜16を用いて説明する。
【0051】
図14、図15、図16はそれぞれ第3の実施例の半導体搬送装置の断面斜視図、断面平面図、断面側面図である。本実施例が第1の実施例と異なるのは搬送保管装置100を長手方向に2つに分割した例である。
【0052】
本実施例でのロットの流れは第1の実施例と同様である。本実施例ではキャリア50保管用の棚120が片側だけに設置してあるため、薄型にできるので、設置の自由度が高い利点がある。
【0053】
本実施例でも搬送保管装置100と工程間搬送装置200とを直接接続せずに、工程間搬送装置200からストッカ、ストッカから工程内搬送装置、工程内搬送装置から搬送保管装置100と接続して、搬送保管装置100を複数の製造装置の共用バッファ装置として使用すれば、第1、第2の実施例に比べて小型でスペース効率の良い共用バッファ装置を実現できる。また、本実施例でも、異種の製造装置や検査装置を1台の搬送保管装置100に接続すれば、第1の実施例で説明したのと同様の効果が期待できる。さらに、本実施例にも工程間受渡用ロボット115を設置すれば、第2の実施例と同様の効果が期待できる。
【0054】
本発明の第4の実施例を図17〜19を用いて説明する。
【0055】
図17、図18、図19はそれぞれ第4の実施例の半導体搬送装置の断面斜視図、断面平面図、断面側面図である。本実施例では搬送保管装置100がクレーチング60を貫通して縦長になり、グレーチング60下に床下入出庫口135を設けている。このため、第1の実施例に比べてキャリア50保管用の棚120の数を増やすことが可能となる。また、コンクリート床70上に検査ブース1000を設置し、検査ブース1000の中には図示しない検査装置を収めている。このため、製造装置700で処理されたロットを床下入出庫口135から払い出し、オペレータ10が検査ブース1000へ運んで検査を実施することが可能となっている。
【0056】
本実施例でもロットの流れは基本的に第1の実施例と同様であるが、従来は検査を実施する際、ロットを検査装置のある領域まで搬送しなければならなかったのが、本実施例では、処理した製造装置700の近傍の検査ブース1000で検査が可能なので、従来に比べ工程間搬送回数が減少したり、工完を短縮する効果がある。また、検査装置をグレーチング60上に設置していた従来に比べ、クリーンルームの有効活用が可能になる。
【0057】
本実施例でも搬送保管装置100と工程間搬送装置200とを直接接続せずに、工程間搬送装置200からストッカ、ストッカから工程内搬送装置、工程内搬送装置から搬送保管装置100と接続して、搬送保管装置100を複数の製造装置の共用バッファ装置として使用することも可能である。また、本実施例でも、異種の製造装置を1台の搬送保管装置100に接続すれば、第1の実施例で説明したのと同様の効果が期待できる。さらに、本実施例にも工程間受渡用ロボット115を設置すれば、第2の実施例と同様の効果が期待できる。
【0058】
本発明の第5の実施例を図20〜22を用いて説明する。
【0059】
図20、図21、図22はそれぞれ第5の実施例の半導体搬送装置の断面斜視図、断面平面図、断面側面図である。本実施例と第1の実施例との相違点は、搬送保管装置100に工程間搬送装置200の変わりにフロア間搬送装置400が接続している点である。フロア間搬送装置400はキャリア50を1個づつ搬送するリフタ410を4台内蔵している。
【0060】
本実施例の上階の搬送保管装置100でのロットの流れは、基本的に第1の実施例での工程間搬送装置200、搬送台車210と工程間搬送コントローラ250を、それぞれフロア間搬送装置400、リフタ410とフロア間搬送コントローラに置き換えたのと同等である。
【0061】
下階の搬送保管装置100にはフロア間搬送装置と同時に工程間搬送装置も接続しているので、上下の搬送保管装置間の搬送だけでなく、水平方向の搬送保管装置間の搬送も可能になっている。
【0062】
本実施例でも搬送保管装置100と工程間搬送装置200又はフロア間搬送装置400とを直接接続せずに、工程間搬送装置200又はフロア間搬送装置400からストッカ、ストッカから工程内搬送装置、工程内搬送装置から搬送保管装置100と接続して、搬送保管装置100を複数の製造装置の共用バッファ装置として使用することも可能である。また、本実施例でも、異種の製造装置を1台の搬送保管装置100に接続すれば、第1の実施例で説明したのと同様の効果が期待できる。さらに、本実施例にも工程間受渡用ロボット115を設置すれば、第2の実施例と同様の効果が期待できる。また、本実施例でもクレーチング60下に搬送保管装置100を延長して、検査ブース1000を設置すれば、第4の実施例と同様の効果が期待できる。
【0063】
図40、図41を用いて、本発明の第6の実施例である、液晶パネル製造ラインについて説明する。本実施例は、半導体ウエハの数倍の大きさである液晶パネルの製造ラインなので、半導体製造ラインを具体化した第1の実施例に比べ、キャリア50、クレーン110、棚120、製造装置700等が大きくなっている。
【0064】
図40、図41はそれぞれ、本実施例の液晶パネル製造ラインの上面図及び、断面側面図である。本実施例が第1の実施例と異なる点は、本実施例には工程間搬送装置がなく、1台の搬送保管装置100に、製造ラインのすべての製造装置700が接続している点である。
【0065】
液晶基板をキャリア50に収めて、搬送保管装置100に投入し、搬送保管装置100に接続した製造装置700で順次処理を実施することで、液晶パネルが完成し、搬送保管装置100から払い出される。
【0066】
本発明の対象は、第1の実施例に示すように、対象製品を半導体に限ったものではなく、製造装置を変更することにより、PDP(Plasma Display Panel)、HD(Hard Disk)、磁気ヘッド等の製造ラインにも適用できる。
【0067】
半導体製造工程には、さまざまな検査工程が入っている。検査工程には、ロット内のウエハ全部を検査する全数検査と、1ロットからウエハ数枚を抜き取って行う抜き取り検査とが有る。また、検査工程によっては、毎ロット必ず実施する工程と、数ロットに1ロットの割合で行う工程とが有る。
【0068】
以下に検査工程の一例として、1ロットからウエハ1枚を抜き取り、毎ロット検査する検査工程について説明する。
【0069】
抜き取り検査を実施する検査装置の1ロット当たりの処理時間は3分から10分程度であり、製造装置の1ロット当たりの処理時間に比べて短い。従来の搬送装置を使用した製造ラインでは、検査装置の処理時間が短いと、搬送装置による検査装置へのロットの供給が追いつかずに、検査装置が処理可能な状態でも、ロットがないために検査装置が遊休する時間が多くなる。このため、従来の製造ラインでは検査装置の実際の処理数が検査装置本来の処理能力に比べて少ないため、製造装置と同等に高価な検査装置が多く必要になり、ライン全体のコストが上昇する問題があった。また、検査装置の遊休時間を短縮するために大容量のバッファ装置を設置したりしていたので、コストが増加したり、仕掛りが増加することでウエハの投入から払い出しまでの期間が長くなる問題があった。
【0070】
例えば、製造装置の1ロット処理時間を25分、後工程の検査装置の1ロット処理時間を5分とし、各装置毎の故障、保守、段取り等の製品を処理できない時間を1日当たり4時間に設定した場合、単純に処理能力のバランスをとると、製造装置5台に対して検査装置1台の組み合わせとなる(製造装置台数:検査装置台数が5:1)。しかし、従来の搬送装置を使用すると、上述の問題のため、例えば、検査装置1台当たりの製造装置台数を4台又は3台に減らしたり、検査装置に大容量のバッファ装置を設置したりする必要があった。
【0071】
第7の実施例として、検査装置へのロット供給に本発明の搬送装置を使用した例を図42に示す。本実施例は、図1〜4に示す第1の実施例の6台の製造装置700の内、1台を検査装置750に換えただけである。搬送保管装置100を使用すれば、従来の搬送装置に比べ、高速なロット搬送が可能になるので、処理時間の短い検査装置に対しても、ロットの供給が遅れる可能性は小さい。また、搬送保管装置100内部には棚120が多数あり、この棚120が、従来、検査装置専用に必要だった大容量バッファの役割を果たすので、ロット供給の遅れによる検査装置が遊休状態になる可能性を、更に小さくしている。
【0072】
本実施例で1つのキャリアの動作を追うと以下のようになる(動作1〜6)。
【0073】
キャリア50を工程間搬送装置200の搬送台車210から搬送保管装置100の棚120へ搬送(動作1)、キャリア50を棚120から製造装置700のローダ730へ搬送(動作2)、製造装置700で処理されたウエハを収めたキャリア50をローダ730から棚120へ搬送(動作3)、キャリア50を棚120から検査装置750のローダ760へ搬送(動作4)、検査装置750で検査後のウエハを収めたキャリア50をローダ760から棚120へ搬送(動作5)、キャリア50を棚120から工程間搬送装置200の搬送台車210へ搬送(動作6)。
【0074】
上記6搬送動作はすべてクレーン110で行われるため、クレーン110の1搬送動作時間は平均20秒なので、1ロット当たりのクレーンの動作時間は120秒となる。本実施例の製造装置5台と検査装置1台による平均処理数は、10ロット/hなので、クレーン110の負荷率(実際に搬送している時間÷製品を搬送可能な時間)は約33%となる。
【0075】
クレーンに同時に複数の搬送作業が割りついたときに発生する搬送待ち時間は、クレーンの負荷率の上昇に伴って、急激に増加するため、各装置へのロット供給遅れを減少させるには、クレーンの負荷率を約70%以下に設定する必要がある。このため、1台の搬送保管装置に接続できる装置台数はクレーンの負荷率で制限される。また、1台の搬送保管装置に接続する検査装置は1台に限定するものではなく、クレーンの負荷率と、各装置の処理能力比とによっては、例えば、検査装置2台と製造装置5台等の組み合わせも可能である。
【0076】
製造装置と検査装置の台数の比が整数にならない場合は、製造装置台数を整数にした比率で、検査装置台数を単純に四捨五入するのではなく、小数点以下を繰り上げた台数にする(例えば、製造装置台数:検査装置台数が5:1.4の場合には、製造装置が5台、検査装置が2台にする)方が利点が多い。実際のラインでは被処理物の流れに、ばらつきが有り、等間隔で被処理物が搬送されることはない。平均的な能力バランスだけを考慮し、前記比率の小数点以下を四捨五入した台数の検査装置を設置した場合、各装置が安定して稼働していれば各装置の能力バランスはとれているが、台数が少ない検査装置が故障、保守等で停止した時、その前後工程の装置を遊休させないために多くの仕掛りが必要になる。検査装置を前記比率の小数点以下を繰り上げた台数設置した場合、台数の少ない検査装置の台数が増加し、装置故障などが発生した時にライン内の被処理物の流れ全体を平準化できるので、ライン全体の仕掛りを少なくでき、工間を短縮する効果がある。
【0077】
本実施例では全ロットを検査する検査工程について記述したが、数ロット(例えば4ロット)に1ロットの頻度で行う検査工程でも、1回の検査時間をそのロット数(例えば4)で割れば、全ロットを検査した場合と同等に扱え、同様の効果が期待できる。
【0078】
本実施例は半導体の製造ラインについて説明したが、製造装置と検査装置とを変更することにより、PDP(Plasma Display Panel)、HD(Hard Disk)、磁気ヘッド等の製造ラインにも適用できる。
【0079】
図43、44を用いて本発明の第8の実施例を説明する。図43は塗布現像装置810と露光装置830とを接続した塗布露光現像一貫装置の一部内部を透過した上面図であり、図44は本発明の搬送保管装置を使用した第8の実施例の半導体搬送装置を示す上面図である。
【0080】
まず、図43を用いて露光工程に使用する塗布現像装置810と露光装置830とについて説明する。塗布現像装置810のローダ811にはウエハキャリアを4個搭載可能である。塗布現像装置810の内部には、ウエハにレジストを塗布する塗布室813、814、感光後レジストを現像する現像室815、816、レジストを硬化させるベーク室818、ウエハを一時置きするためのウエハステージ817、内部バッファ820、ウエハ搬送用の搬送ロボットA812、搬送ロボットB819、搬送ロボットC821が設置してある。
【0081】
露光装置830の内部には、ウエハ搬送用の搬送ロボット831、レジストを感光させる露光室832が設置してある。
【0082】
処理のフローを以下に説明する。ウエハを塗布現像装置810のローダ811上のウエハキャリアから搬送ロボットA812で搬送ロボットB819が受け取れる位置まで搬送し、その後、搬送ロボットB819が搬送ロボットA812上のウエハを塗布室813へ搬送してウエハ表面にレジストを塗布する。レジストを塗布されたウエハを搬送ロボットA812で内部バッファ820に搬送し、該ウエハを搬送ロボットC821でウエハステージ817へ搬送する。露光装置830内の搬送ロボット831がウエハステージ817上のウエハを露光室へ搬送し、露光室で処理されたウエハを搬送ロボット831がウエハステージ817へ搬送する。なお、ウエハステージは上下2段になっていて、各段が搬入、搬出専用になっている。塗布現像装置810と露光装置830の内部には合わせて50枚程度のウエハが包含され、各装置が物待ちで待機状態になることを防止している。
【0083】
このように、従来は塗布現像装置810と露光装置830とを接続して、一貫装置として使用するのが一般的であった。この場合、処理能力が不足する方の装置台数を増やして生産量を確保するので、塗布現像装置と露光装置の台数を同数にする必要が有り、無駄があった。例えば1ロット25枚のウエハ処理にかかる時間が、塗布40分、露光60分、現像40分とした場合、60分当たり3ロットの処理能力が必要な生産ラインでは塗布現像装置2台、露光装置3台で十分なところ、従来は塗布現像装置3台、露光装置3台が必要だった。本発明の搬送保管装置を使用すれば、塗布現像装置と露光装置間のウエハキャリア搬送を高速に、しかも安価に実現できるので、塗布現像装置と露光装置とを分離して配置可能となり、図44のように塗布現像装置2台、露光装置3台を組み合わせることで、投資金額を抑えながら、十分な生産量を確保した生産ラインを構築できる。
【0084】
前述したように塗布現像装置と露光装置の内部には50枚程度の処理中ウエハが包含されている。多品種少数ロット生産時、例えばウエハキャリア中にウエハが3枚しか入っていない場合、ローダ811が4個のウエハキャリアで一杯になっていても、塗布現像装置810と露光装置830の内部には12枚のウエハしかなく、処理室に空きが出来てしまい、各装置の出力ウエハ枚数が減少してしまう。
【0085】
本発明の搬送保管装置を使用すれば、高速搬送が可能なので、ウエハ処理中に空になったウエハキャリアを棚に一時待避して、別のウエハキャリアをローダに搬送することで、各装置内部に空きを作ることなく、処理が可能となる。当然この場合、処理済みのウエハが払い出される前に一時待避したウエハキャリアをローダに再度搬送する必要がある。
【0086】
図30に本発明の搬送保管装置100を使った半導体製造ライン全体をあらわす斜視図を示す。本実施例は多数の搬送保管装置100間を、多くのフロア間搬送装置400と、1階と2階の間に挟まれた工程間搬送装置200で接続した例である。
【0087】
従来の半導体製造ラインでは、製造装置が設置されているフロア毎に工程間搬送装置を設置し、フロア間搬送装置は少数しか設置していなかった。このため、工程間搬送装置に搬送台車の渋滞が発生して、搬送能力が落ちたり、搬送時間が増える問題があった。また、工程間搬送装置は同程度の搬送能力を有するフロア間搬送装置に比べて高価なので、投資金額が大きくなる問題があった。
【0088】
本実施例のように連続する工程の製造装置を上下に配置することで垂直の搬送回数を増加させ、水平移動による搬送回数を減少させると、渋滞の発生しやすい工程間搬送装置200の負荷が下がるので、搬送時間を短縮できる。なお、搬送時間が短縮できるので、製品の工完も短縮できる。また、比較的高価な工程間搬送装置を複数フロアで共有して、比較的安価なフロア間搬送装置を増やすことで、ライン全体の投資金額を縮小できる。
【0089】
図30の実施例ではすべての製造装置700群に同種の搬送保管装置100を設置しているが、本発明の第1から第5の実施例の搬送保管装置100を組み合わせたり、従来の搬送装置を使用することも可能である。
【0090】
以上、本発明について、複数の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、各実施例に記載した構成を適宜組み合わせる等、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【産業上の利用可能性】
【0091】
本発明は、従来の半導体搬送装置に比較して、搬送時間を小さく、装置のコストを小さく、設置面積を小さく、及び装置の信頼性を高めた装置構成を提供することができることから、半導体ウエハの用途を始めとして、液晶、PDP(Plasma Display Panel)、HD(Hard Disk)、磁気ヘッドの用途にも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【0092】
【図1】本発明の第1の実施例の半導体搬送装置をあらわす一部内部を透視した斜視図である。
【図2】本発明の第1の実施例の半導体搬送装置をあらわす一部内部を透視した上面図である。
【図3】本発明の第1の実施例の半導体搬送装置をあらわす一部内部を透視した断面側面図である。
【図4】本発明の第1の実施例の半導体搬送装置をあらわす側面図である。
【図5】本発明の第1の実施例のクレーンの詳細をあらわす斜視図である。
【図6】本発明の第1の実施例のキャリア移載動作をあらわす平面図と側面図である。
【図7】本発明の第1の実施例の半導体搬送装置の制御システム構成図である。
【図8】本発明の第1の実施例の半導体製造フローをあらわすフローチャートである。
【図9】本発明の第1の実施例の半導体製造方法での通信内容をあらわす概念図である。
【図10】本発明の第1の実施例の半導体製造方法でのキャリアの動線をあらわす図である。
【図11】本発明の第2の実施例の半導体搬送装置をあらわす一部内部を透視した斜視図である。
【図12】本発明の第2の実施例の半導体搬送装置をあらわす一部内部を透視した上面図である。
【図13】本発明の第2の実施例の半導体搬送装置をあらわす一部内部を透視した側面図である。
【図14】本発明の第3の実施例の半導体搬送装置をあらわす一部内部を透視した斜視図である。
【図15】本発明の第3の実施例の半導体搬送装置をあらわす一部内部を透視した上面図である。
【図16】本発明の第3の実施例の半導体搬送装置をあらわす一部を断面で示した側面図である。
【図17】本発明の第4の実施例の半導体搬送装置をあらわす一部内部を透視した斜視図である。
【図18】本発明の第4の実施例の半導体搬送装置をあらわす一部内部を透視した上面図である。
【図19】本発明の第4の実施例の半導体搬送装置をあらわす一部内部を透視した断面側面図である。
【図20】本発明の第5の実施例の半導体搬送装置をあらわす一部内部を透視した斜視図である。
【図21】本発明の第5の実施例の半導体搬送装置をあらわす一部内部を透視した上面図である。
【図22】本発明の第5の実施例の半導体搬送装置をあらわす断面側面図である。
【図23】従来の半導体搬送装置をあらわす一部内部を透視した斜視図である。
【図24】従来の半導体搬送装置をあらわす上面図である。
【図25】従来の半導体搬送装置をあらわす一部断面を示した側面図である。
【図26】従来の半導体搬送装置の制御システム構成図である。
【図27】従来の半導体製造フローをあらわすフローチャートである。
【図28】従来の半導体製造方法での通信内容をあらわす概念図である。
【図29】従来の半導体製造方法でのキャリアの動線をあらわす図である。
【図30】本発明の半導体搬送装置を使った半導体製造ライン全体をあらわす斜視図である。
【図31】本発明の第1の実施例の半導体製造フローの一部をあらわすフローチャートである。
【図32】本発明の第1の実施例の半導体製造フローの一部をあらわすフローチャートである。
【図33】本発明の第1の実施例の半導体製造フローの一部をあらわすフローチャートである。
【図34】本発明の第1の実施例の半導体製造フローの一部をあらわすフローチャートである。
【図35】従来の半導体製造フローの一部をあらわすフローチャートである。
【図36】従来の半導体製造フローの一部をあらわすフローチャートである。
【図37】従来の半導体製造フローの一部をあらわすフローチャートである。
【図38】従来の半導体製造フローの一部をあらわすフローチャートである。
【図39】本発明の第1の実施例の変形で,ハンドとキャリアの形状を変更したクレーンをあらわす斜視図である。
【図40】本発明の第6の実施例の搬送装置をあらわす上面図である。
【図41】本発明の第6の実施例の搬送装置をあらわす一部断面を示した側面図である。
【図42】本発明の第7の実施例の半導体搬送装置をあらわす一部内部を透視した斜視図である。
【図43】塗布露光現像一貫装置の一例の一部内部を透視した上面図である。
【図44】本発明の第8の実施例の半導体搬送装置をあらわす一部内部を透視した上面図である。
【符号の説明】
【0093】
10 オペレータ
50 キャリア
60 グレーチング
70 コンクリート床
100 搬送保管装置
110 クレーン
111 マスト
112 アーム
113 ハンド
114 走行レール
115 工程間受渡用ロボット
120 棚
121 仮置き棚
122 仮置き棚
130 入出庫口
135 床下入出庫口
140 天井搬送用入出庫口
150 搬送保管装置コントローラ
200 工程間搬送装置
210 搬送台車
220 工程間レール
250 工程間搬送コントローラ
260 搬送台車コントローラ
300 工程内搬送装置
310 工程内搬送車
320 工程内レール
350 工程内搬送コントローラ
400 フロア間搬送装置
410 リフタ
500 ストッカ
510 スタッカクレーン
520 棚
530 入出庫口
540 天井搬送用入出庫口
550 ストッカコントローラ
600 工程内搬送装置
650 工程内搬送装置コントローラ
700 製造装置
710 真空ポンプ
720 薬液用配管
730 ローダ
731 バッファ装置
750 検査装置
760 ローダ
800 設備群管理コントローラ
810 塗布現像装置
811 塗布現像装置のローダ
812 搬送ロボットA
813 塗布室
814 塗布室
815 現像室
816 現像室
817 ウエハステージ
818 ベーク室
819 搬送ロボットB
820 内部バッファ
821 搬送ロボットC
830 露光装置
831 搬送ロボット
832 露光室
900 進度管理コントローラ
1000 検査ブース
1110 工程間搬送装置の搬送台車から搬送保管装置の棚へのキャリアの動線
1120 搬送保管装置の棚から製造装置のローダへのキャリアの動線
1130 製造装置のローダから搬送保管装置の棚へのキャリアの動線
1140 搬送保管装置の棚から工程間搬送装置の搬送台車へのキャリアの動線
1210 工程間搬送装置の搬送台車からストッカの棚へのキャリアの動線
1220 ストッカの棚からストッカの入出庫口へのキャリアの動線
1230 ストッカの入出庫口から製造装置のローダへのキャリアの動線
1240 製造装置のローダからストッカの入出庫口へのキャリアの動線
1250 ストッカの入出庫口からストッカの棚へのキャリアの動線
1260 ストッカの棚から工程間搬送装置の搬送台車へのキャリアの動線




 

 


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