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発明の名称 搬送システム
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開2007−137642(P2007−137642A)
公開日 平成19年6月7日(2007.6.7)
出願番号 特願2005−336604(P2005−336604)
出願日 平成17年11月22日(2005.11.22)
代理人 【識別番号】100086830
【弁理士】
【氏名又は名称】塩入 明
発明者 小林 豊和
要約 課題

解決手段
特許請求の範囲
【請求項1】
走行ルートに沿って複数の処理装置と複数のバッファとを配置し、コントローラからの搬送指令により搬送車を走行ルートを走行させて、処理装置もしくはバッファと搬送車との間で物品を受け渡しするようにしたシステムにおいて、
走行ルートを複数のエリアに区分すると共に、
複数のエリアのうち、次に物品を処理する処理装置が属するエリアと、少なくともそれ以外の1つのエリアとにはバッファが設けられ、前記コントローラは、処理装置が属するエリア以外のエリアのバッファの空棚を検索して、検索した空棚へ物品を搬送する搬送指令を搬送車に割り付けるようにしたことを特徴とする、搬送システム。
【請求項2】
次に物品を処理する処理装置が属するエリア以外にバッファを備えたエリアが複数設けられ、各エリアのバッファは複数のエリアの処理装置に対して割り当てられ、
前記コントローラは、次に物品を処理する処理装置が属するエリアの直上流側のエリアからその上流側へとバッファの空棚を検索して、検索した空棚へ物品を搬送する搬送指令を搬送車に割付けるようにしたことを特徴とする、請求項1の搬送システム。
【請求項3】
走行ルートに沿って複数の処理装置と複数のバッファとを配置し、コントローラからの搬送指令により搬送車を走行ルートを走行させて、処理装置もしくはバッファと搬送車との間で物品を受け渡しするようにしたシステムにおいて、
走行ルートを更に複数のローカルルートとローカルルート間を接続する基幹ルートとに区分して、
前記コントローラは、次に物品を処理する処理装置が属するローカルルートと異なるローカルルートのバッファの空棚を検索して,検索した空棚へ物品を搬送する搬送指令を搬送車に割り付けるようにしたことを特徴とする、搬送システム。
【請求項4】
前記コントローラにローカルルートの搬送指令の多寡を判断するための手段を設け、次に物品を処理する処理装置が属するローカルルートの搬送指令の数が設定数以下であれば、そのローカルルートのバッファの空棚を検索して、検索した空棚へ物品を搬送する搬送指令を搬送車に割付けるようにしたことを特徴とする、請求項3の搬送システム。
発明の詳細な説明
【技術分野】
【0001】
この発明は、天井走行車システムや有軌道台車システム、地上を無軌道で走行する無人搬送車システムなどの搬送システムに関し、特に搬送指令でのバッファの割付に関する。
【背景技術】
【0002】
出願人は、天井走行車などの搬送システムにおいて、走行レールの側方や下方にバッファを設けて、搬送物品を保管することを提案した(特許文献1)。その後、出願人は個々の搬送指令でのバッファの割付を最適化することを検討して、この発明に到った。
【特許文献1】特開2005−206371号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
この発明の課題は、バッファの割付を容易にし、かつ走行ルートの渋滞を防止することにある。
請求項2の発明での追加の課題は、走行ルートの渋滞をより確実に防止することにある。
請求項4の発明での追加の課題は、搬送指令の特に多いローカルルートの渋滞を防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【0004】
請求項1の発明は、走行ルートに沿って複数の処理装置と複数のバッファとを配置し、コントローラからの搬送指令により搬送車を走行ルートを走行させて、処理装置もしくはバッファと搬送車との間で物品を受け渡しするようにしたシステムにおいて、走行ルートを複数のエリアに区分すると共に、複数のエリアのうち、次に物品を処理する処理装置が属するエリアと、少なくともそれ以外の1つのエリアとにはバッファが設けられ、前記コントローラは、処理装置が属するエリア以外のエリアのバッファの空棚を検索して、検索した空棚へ物品を搬送する搬送指令を搬送車に割り付けるようにしたことを特徴とする。
なお各エリアには原則として、1〜複数の処理装置と複数物品を収容できるバッファとを設け、バッファを経由せずに直接次の処理先の処理装置へ搬入できる場合、バッファを経由する搬送指令ではなく、処理装置へ直接搬送する搬送指令を作成すると良い。
【0005】
好ましくは、次に物品を処理する処理装置が属するエリア以外にバッファを備えたエリアが複数設けられ、各エリアのバッファは複数のエリアの処理装置に対して割り当てられ、前記コントローラは、次に物品を処理する処理装置が属するエリアの直上流側のエリアからその上流側へとバッファの空棚を検索して、検索した空棚へ物品を搬送する搬送指令を搬送車に割付ける。
【0006】
請求項3の発明では、走行ルートに沿って複数の処理装置と複数のバッファとを配置し、コントローラからの搬送指令により搬送車を走行ルートを走行させて、処理装置もしくはバッファと搬送車との間で物品を受け渡しするようにしたシステムにおいて、走行ルートを更に複数のローカルルートとローカルルート間を接続する基幹ルートとに区分して、前記コントローラは、次に物品を処理する処理装置が属するローカルルートと異なるローカルルートのバッファの空棚を検索して,検索した空棚へ物品を搬送する搬送指令を搬送車に割り付けるようにしたことを特徴とする。
なお各エリアには原則として、1〜複数の処理装置と複数物品を収容できるバッファとを設け、バッファを経由せずに直接次の処理先の処理装置へ搬入できる場合、バッファを経由する搬送指令ではなく、処理装置へ直接搬送する搬送指令を作成すると良い。なおエリアはローカルルート毎に原則として複数設けるが、1エリアしかないローカルルートが一部に存在しても良い。また搬送指令が多い場合、上流側のローカルルートのバッファのみならず、上流側の基幹ルートに設けたバッファやストッカなどを併用しても良い。
【0007】
好ましくは、前記コントローラにローカルルートの搬送指令の多寡を判断するための手段を設け、次に物品を処理する処理装置が属するローカルルートの搬送指令の数が設定数以下であれば、そのローカルルートのバッファの空棚を検索して、検索した空棚へ物品を搬送する搬送指令を搬送車に割付ける。
【発明の効果】
【0008】
請求項1の発明では、バッファとのやり取りをするために停止する搬送車を、次に物品を処理する処理装置の属するエリアとは異なるエリアで停止させる。このため、バッファとのやり取りをするために停止する搬送車により、処理装置とのやり取りをするために停止する搬送車のエリア内での移動が妨げられるのを減らすことができ、エリア内の処理装置への物品の受け取り供給がスムーズに行える。
【0009】
請求項2の発明ではさらに、物品が次に搬送される処理装置の属するエリアから搬送時間の短い、直上流のエリアから物品を搬送することで、バッファからの搬送時間を短くすることができると共に、そのエリアのバッファに搬送が集中して渋滞するのを防ぐことができる。
【0010】
請求項3の発明では、次に物品を処理する搬送装置が属するローカルルートへの搬送車の進入を抑えることで、そのローカルルートが渋滞するのを防ぐことができる。
【0011】
請求項4の発明ではさらに、次に物品を処理する処理装置が属するローカルルートが渋滞する恐れがない場合、直接そのローカルルートのバッファへ搬入することで、ローカルルート間の搬送を不要にできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0012】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【0013】
図1〜図7に、天井走行車システム2を例に実施例を示すが、他の搬送システムでも同様に実施できる。天井走行車システム2は例えばクリーンルーム内に設置され、半導体などの物品をカセットなどの容器に収容して、カセットを搬送物品として搬送する。なお搬送物品の種類は任意である。各図において、4は物流コントロールシステムで、天井走行車システム2の全体を管理し、6は生産管理システムで、半導体の処理装置や検査装置などを管理し、物流コントロールシステム4に対して物品の搬送を要求すると共に、各処理装置のロードポートの状態(在/空)などを通知し、物流コントロールシステム4から搬送結果の報告を受ける。
【0014】
物流コントロールシステム4には、統計管理部8を設けて、天井走行車システム2に関する各種の統計を作成し、この統計には搬送数(搬送指令)の全数とその行き先(To位置)及び出発地(From位置)の分布などがあり、これらをベイや処理装置群などの単位で統計化する。統計には長期平均と、過去1時間などの所定時間以内の短時間平均とを含めるようにする。この平均からどのベイやどの処理装置群に搬送作業が集中しているかが判明し、特にTo位置とFrom位置の分布の短時間平均から、ベイや処理装置群の渋滞状況を把握できる。また統計管理部8では、各ベイや各処理装置群毎のバッファの占有率(バッファが物品で占有されている割合)などを統計化し、これからベイや処理装置群でのバッファの余力が判明する。
【0015】
搬送指令管理部10は生産管理システム6からの要求に応じて搬送指令を作成し、これを個々の天井走行車20に割り付ける。搬送指令の構成要素は、搬送指令のID,搬送物品のID並びにFrom位置とTo位置で、バッファを搬送先とする場合そのアドレスをTo位置とする。この場合、バッファから次に搬送すべきロードポートのTo位置を、搬送指令管理部10は生産管理システム6から通知される。搬送指令管理部10は搬送指令の実行状況を管理し、必要に応じて搬送指令を変更する。例えばバッファへの搬送を指令した後、バッファへの到着予測時間前に、次の行先のロードポートが空いたことを生産管理システムから通知されると、行先をバッファからロードポートへ変更しても良い。
【0016】
バッファ割付部11は次に搬送するロードポートのアドレスを基に、その上流側のバッファ群のバッファを選択して、搬送先のバッファのアドレスを決定する。なお一般にFrom位置やTo位置は処理装置のロードポート、バッファあるいはストッカであり、そのアドレスでFrom位置やTo位置を指定する。また1つのエリアには1つの処理装置群と1つのバッファ群とがあり、各処理装置群にはその上流側の複数のエリアからバッファが割り当てられ、バッファ割付部11は割り当てられたバッファから個々の搬送指令にバッファを割付ける。
【0017】
在庫管理部12は、物流コントロールシステム4の管理下にある在庫を管理し、在庫データは在庫物品自体のIDとFrom位置並びにTo位置及び在庫位置である。例えばバッファやストッカに物品が保管されている場合、在庫位置はバッファやストッカであり、From位置はバッファやストッカへ搬入する前の位置であり、To位置はバッファやストッカから物品を搬送する予定位置である。在庫管理部12ではこれ以外に、天井走行車20が搬送中の物品も在庫として管理し、その在庫位置は天井走行車である。そしてロードポート24へ物品を荷下ろしすると、物品は在庫データから抹消され、ロードポート24から物品を荷積みすると在庫データに加えられる。
【0018】
搬送マスターファイル14は、天井走行車システム2を管理するのに必要なデータを記憶し、これはインターベイルート28やイントラベイルート30の配置、バッファ22やストッカ26並びにロードポート24の配置、これらの間の走行時間などの、天井走行車20の走行に必要なデータを含んでいる。搬送マスターファイル14にはこれ以外に、各処理装置群の特性を記憶する。これについては図4を参照して後述する。
【0019】
物流コントロールシステム4にはLANなどを介して複数の天井走行車コントローラ16が接続され、コントローラ16は例えばベイ単位で設けられ、インターベイルートのように長距離の基幹のルートでは、これを複数に分割して、それぞれにコントローラ16を設ける。天井走行車コントローラ16は無線通信などにより天井走行車20と通信し、天井走行車20へ搬送指令を送信し、天井走行車20からはその実行結果やその他のデータを受信する。
【0020】
天井走行車20はインターベイルートやイントラベイルートに沿って走行する走行駆動部と、カセットなどの物品を受け渡し自在に保持する昇降台、並びに昇降台を昇降させる昇降駆動部、昇降駆動部を走行ルートに対して横方向に移動させる横送り部を備えており、その構成自体は公知である。そして天井走行車20は、バッファ22やストッカ26並びにロードポート24などとの間で物品の移載を行う。なおストッカ26はベイ単位あるいは複数のベイに対して1個などの単位で設けるが、搬送物品をバッファ22で保管するようにしてストッカ26を設けなくても良い。
【0021】
実施例において、バッファ22は天井走行車20の走行ルートの下方や側方に置かれた開放式の棚であり、原則として入出庫装置や移載装置などを備えず、天井走行車20の昇降台を利用して物品の受け渡しを行う。実施例ではバッファ22にはセンサや通信手段などを設けず、天井走行車20が載荷センサによりバッファの在/空を判別し、もしくは在庫管理部でのバッファの在/空のデータにより在/空を判断して、物品の荷積みや荷下ろしを行う。
【0022】
図2に、天井走行車システム2での走行ルートの配置を示すと、28はインターベイルートで、複数のイントラベイルート30間を接続する基幹となる長距離ルートで、ここでは各イントラベイルート30は周回走行が可能なものとし、天井走行車20はルート28,30を一方通行で走行する。イントラベイルート30には複数の処理装置群A〜Dが設けられ、群の数は任意である。34は個々の処理装置で、1個〜複数個のロードポート24を備えている。処理装置群A〜Dは、同種の処理装置を複数設けたものや、処理装置と検査装置のように工程上の結びつきのある装置を集めたものである。また処理装置群A〜Dは半導体工場の設置時などには1台の装置で構成されることもあり、生産能力の増強と共に処理装置群内の装置の数を増設していくのが普通である。
【0023】
図2のように、イントラベイルート30の例えば側方にバッファ群32−1〜32−4を設け、バッファ群を例えば理装置群と向かい合って配置する。バッファ群32−1〜32−4の添字1〜4は天井走行車20の周回方向に沿った順序を示し、添字が大きいほど上流側で、バッファ群32−4の直上流側にはバッファ群32−1がある。ここでは1つのバッファ群を複数の処理装置群に対して割り当て、また逆に1つの処理装置群には、複数のバッファ群からバッファが割り当てられている。バッファ群32−1〜32−4は複数個の物品を収容できるバッファの集まりで、物理的には1個のバッファ用の棚でも複数個のバッファ用の棚でも良く、イントラベイルート30は周回ルートである。
【0024】
直上流側のバッファ群からバッファを処理装置群に割り当てる。例えば図2の処理装置群Aに対しては、その直上流側のバッファ群32−1から最大数のバッファを割り当て、次に上流側のバッファ群32−2からやや少ない数のバッファを割り当て、バッファ群32−3からは更に少ない数のバッファを割り当て、向かい合ったバッファ群32−4からは最小数のバッファを割り当てる。各処理装置群に対し割り当てられるバッファの個数は、その直上流側のバッファ群で最大とし、上流側のバッファ群になるに連れて割り当てるバッファの数を減らし、向かい合ったバッファ群から割り当てるバッファの数を最小とする。36はバイパスルートで、インターベイルート28をバイパスし、この部分にバッファ38やストッカなどを設ける。
【0025】
図3、図4に、各処理装置群に対するバッファの割り当てを示す。最初にバッファの必要な総収容能力を求め、これは半導体工場等での生産能力と、基板の処理に必要な時間や、必要な安全在庫の量などから定まる。またストッカなどを設ける場合、バッファの総収容能力はその分少なくても良い。バッファの総収容能力が求まると、これを各ベイに対してどの割合で割り付けるかを決定する。ここで流動率という概念を用い、これは搬送指令中の出発地もしくは目的地として、ベイ内のロードポートが指定されている割合である。半導体の製造工程と生産能力とから、例えば1日当たりの総搬送数、ここでは搬送指令の総数、が予測でき、このうち1つのベイが関与する割合が流動率である。1つの搬送を出発地と目的地とで2回カウントすると、流動率を全ベイについて加算したものは100%となる。そして例えばバッファを流動率に応じた割合で各ベイに分配する。
【0026】
流動率が同じでも、処理装置のリードタイムが短くかつ処理装置のロードポート数が少ない場合、より多くのバッファを割り当てることが好ましい。そこでベイ内の処理装置について、リードタイムLTやロードポート数nを求め、これらを基に処理装置の特性に応じてバッファの数を補正しても良い。この場合、流動率と特性との2つのファクターに応じて各ベイにバッファを割り当てる。なおバッファの割り当ては、例えば流動率により定まる部分をX1〜X2%、処理装置の特性に応じて定まる部分をY1〜Y2%とする。
【0027】
各ベイに割り当てるバッファの総数が定まると、処理装置群単位での割当を定める。この場合の因子は、各処理装置群内の装置のリードタイムLTとロードポート数nである。例えば搬送マスターファイル14に図4のテーブル40を設けて、各処理装置群の装置に対し、その装置番号とリードタイム並びにロードポート数を記憶する。リードタイムはここでは短(S)、中(M)、長(L)の3段階に分類し、正確なリードタイムを求めるよりも数段階への分類を用いる。リードタイムは、ロードポートから処理装置内に物品が搬入されてから、処理が終了しロードポートへ搬出されるまでの時間とするが、これ以外の定義、例えば物品を搬入した後、次の物品の搬入が可能になるまでの時間、を用いても良い。ロードポート数nは、各処理装置が備えているロードポートの数である。リードタイムLTとロードポート数nが定まると、それに応じてその処理装置に必要なバッファ数が定まる。例えばリードタイムが短くロードポート数が少ない処理装置1では、多数個のバッファを割り当て、リードタイムが長くロードポート数が多い処理装置3では、バッファは例えば1個〜0個とすればよい。
【0028】
次に処理装置毎の必要バッファ数を処理装置群単位で加算すると、処理装置群単位での必要なバッファ数が定まる。処理装置群に必要なバッファ数に応じて、ベイに割り当てられたバッファを各処理装置群に割り当てると、割り当てが終了する。ここで図2で説明したように、1つの処理装置群に対するバッファを、複数のバッファ群に渡って分配し、各処理装置群と向かい合ったバッファ群よりも、その上流側のバッファ群に多数個のバッファを割り当てるようにする。特に好ましくは、直上流側のバッファ群から最大のバッファを割り当て、更に上流側のバッファ群へと進む毎に割り当てるバッファの数を減らし、処理装置群と対向するバッファ群から最小のバッファを割り当てる。また処理装置群と対向するバッファ群から割り当てるバッファは例えば0個でも良い。
【0029】
1つの処理装置群に対するバッファを、複数のバッファ群から割り当てると、イントラベイルート30の渋滞を緩和できる。1つの処理装置群に搬送作業が集中した場合、それに向かい合ったバッファ群のバッファのみを用いると、ロードポートとの受け渡し作業と、バッファとの受け渡し作業が狭いエリアに集中するため、イントラベイルート30が渋滞する。ロードポートへ物品を搬入するまでに天井走行車20が停止する時間は、バッファへの荷下ろしとバッファからの荷積みが1回で、ロードポートへの荷下ろしが1回である。走行中の天井走行車はイントラベイルートを渋滞させないが、停止中の天井走行車は後続の天井走行車を停止させて渋滞の原因となる。そこでバッファを複数のバッファ群から割り当てることにより、バッファとの受け渡し作業を行う位置を分散させて、イントラベイルート30の混雑を緩和する。
【0030】
処理装置群の直上流側からバッファを割り当てることにより、処理装置群までの走行時間が短い位置に搬入物品を一時保管できる。1つの処理装置群には複数のバッファ群からバッファが割り当てられているが、例えば直上流側のバッファ群のバッファから使用しても良く、あるいは複数のバッファ群から割り当てられたバッファをランダムに割り当てても良い。なおどのバッファ位置にどのIDの物品が保管されており、次の行先はどのロードポートであるかは、図1の在庫管理部12で記憶している。
【0031】
図5〜図7にバッファの割当を示す。イントラベイルート30−1の処理装置群Aに対しては、前記のように直上流側のバッファ群32−1から最も遠方のバッファ群32−4への順にバッファが割り当てられており、他の処理装置群B〜Dに対しても同様である。そしてある処理装置群を次の搬送先とする搬送指令では、その上流側のエリアのバッファ群を優先して、バッファを割付ける。この場合、なるべく直上流側のバッファ群を優先するか、次の搬送先の処理装置群に割り当てられたバッファ群からランダムにバッファを選択するは任意である。
【0032】
ここで図6のロードポート24−1が次の搬送先であるとして、これに向かい合ったバッファ42へ物品を保管するか、その上流側のバッファ群32−1等の装置群Aに割り当てられたバッファで保管するかを検討する。バッファ42を用いると、バッファ42への荷下ろしとバッファ42からの荷積みで2回分、天井走行車がロードポート24−1に向かい合った位置で余分に停止し、装置群Aに面したエリアの渋滞を引き起こしやすい。これに対して、バッファ群32−1などを用いると、バッファとの物品の受け渡しを他のエリアで行うことができ、天井走行車の停止位置をイントラベイルート30−1内に分散させて渋滞を防止できる。バッファ42を用いる利点は、天井走行車が停止したままで、バッファ42からロードポート24−1へ物品を移載できることである。しかしながらこのようなバッファは1物品分しかなく、バッファの割付が困難である。またバッファ群32−1などからロードポート24−1までの走行時間は、物品の受け渡し時間よりも一般に短い。
【0033】
特定のベイに搬送指令が集中する場合、そのベイ内のバッファを使用するとイントラベイルート30の渋滞が著しくなる。これはバッファとの受け渡しのため天井走行車20が停止すると、後行の天井走行車が走行できなくなるためである。そこで図1の統計管理部8は、各ベイを経由する搬送指令の数をカウントし、その短時間平均、もしくは今後の予測値を求めている。搬送指令の数としては、ベイ内のロードポートをFrom位置もしくはTo位置とするもの、あるいはこれにベイ内のバッファをFrom位置もしくはTo位置として加えたものなどとし、From位置とTo位置の双方についてカウントする代わりに、From位置もしくはTo位置のように一方のみをカウントしても良い。予測は例えば最近の搬送指令数の平均値をその増減傾向で補正したものなどとする。
【0034】
ベイを経由する搬送指令の数が所定値α以上となると、ベイ外のバッファを使用し、搬送指令の数が所定値α未満ではベイ内のバッファを使用する。所定値αを境に、使用するバッファを100%ベイ内からベイ外へ移行させる必要はなく、ベイを経由する搬送指令の数に応じて、ベイ外のバッファを使用する割合を増すと良い。
【0035】
例えば図5のイントラベイルート30−1を経由する搬送指令の数が所定値α以上となると、以降は処理装置群A,Bに対して隣接するイントラベイルートで、処理装置群A,Bに比較的近接した、言い換えると隣接するイントラベイルートでの直上流側のバッファ群32−5,32−6から、バッファを割り当てる。また同様に処理装置群C,Dに対しては、図5の左側に隣接する図示しないイントラベイルートからバッファを割り当てる。バイパス36などからバッファ38を割り当てることが可能な場合、搬送指令が多いイントラベイルート30−1に対して、バッファ38を割り当てる。バッファ38は、インターベイルートにあるため、走行している搬送車の数が多く、作成された搬送指令を容易に割り付けることができ、実際に搬送されるまでの時間を減らすことができる。特に、バッファ38はインターベイルートのバイパス36に設けられているため、移載のためにバッファ38で搬送車が停止しても、基幹のルートに影響が出るのを抑えることができる。

【図面の簡単な説明】
【0036】
【図1】実施例の搬送システムの制御系を示すブロック図
【図2】実施例の搬送システムのレイアウトの要部平面図
【図3】実施例でのバッファの配置アルゴリズムを示すフローチャート
【図4】実施例での搬送マスターファイル中のテーブルの一部を示し、装置群内の各装置の特徴の記述を示す
【図5】実施例での装置群へのバッファの割り当てを示す図
【図6】実施例での個別の搬送指令でのバッファの割付を示す図
【図7】実施例でのバッファの割り当てアルゴリズムを示すフローチャート
【符号の説明】
【0037】
2 天井走行車システム
4 物流コントロールシステム
6 生産管理システム
8 統計管理部
10 搬送指令管理部
11 バッファ割付部
12 在庫管理部
14 搬送マスターファイル
16 天井走行車コントローラ
20 天井走行車
22 バッファ
24 ロードポート
26 ストッカ
28 インターベイルート
30 イントラベイルート
32−1〜4 バッファ群
34 処理装置
36 バイパスルート
38 バッファ
40 テーブル
42 バッファ
A〜D 処理装置群




 

 


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