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株式会社荏原製作所 - 特許情報
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番号 発明の名称
1 研磨テーブルの研磨面洗浄機構、及び研磨装置
2 電気透析装置
3 複合型ナノ粒子の製造方法
4 電解加工装置および電解加工方法
5 電解加工装置
6 混合器及び反応装置
7 研磨装置
8 ポリッシング方法
9 粉粒体注入装置、粉粒体移送装置、水処理設備
10 沈殿池設備
11 強塩基性アニオン交換樹脂の処理方法とそれにより得られた強塩基性アニオン交換樹脂
12 研磨プラテン、研磨装置
13 研磨方法及び研磨装置、並びに研磨装置制御用プログラム
14 ポリッシング装置
15 気体溶解装置
16 排ガスの処理方法及び処理装置
17 有機性固形汚濁物質含有廃棄物の処理方法及び装置
18 研磨装置
19 複合型無機金属化合物ナノ粒子及びその製造方法
20 廃イオン交換樹脂集合固化体の製造方法
21 研磨装置
22 研磨パッドのドレッサー及びその製造方法
23 クリプトスポリジウム排出に対応した砂ろ過装置と逆洗方法
24 生物脱臭装置及び方法
25 ドレッサー、研磨装置及びドレッシング方法
26 研磨テーブルの研磨面洗浄機構、及び研磨装置
27 研磨装置及び研磨方法
28 油水分離装置および反応装置
29 気体溶解装置
30 排ガスの処理方法
31 接合材料
32 気液反応装置
33 気泡散気装置
34 フッ素含有化合物を含む排ガスの処理装置
35 揮発性有機化合物を含む排ガスの処理方法及び処理装置
36 マイクロ化学反応システム
37 研磨テーブルの定盤製造方法、研磨テーブル、及び研磨装置
38 排水の晶析処理装置
39 基板保持装置及びポリッシング装置
40 気泡散気装置
41 気泡散気装置
42 マイクロ流体デバイスにおける気泡除去装置及び方法

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