発明の名称 |
スタンパー、凹凸パターン形成方法および情報記録媒体製造方法 |
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発行国 |
日本国特許庁(JP) |
公報種別 |
公開特許公報(A) |
公開番号 |
特開2007−190735(P2007−190735A) |
公開日 |
平成19年8月2日(2007.8.2) |
出願番号 |
特願2006−9377(P2006−9377) |
出願日 |
平成18年1月18日(2006.1.18) |
代理人 |
【識別番号】100104787 【弁理士】 【氏名又は名称】酒井 伸司
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発明者 |
藤田 実 / 日比 幹晴 |
要約 |
課題 凹凸パターンの変形や転写不良の発生を回避し得るスタンパーを提供する。
解決手段 凹凸パターン5が形成された凹凸パターン形成面6とその裏面7との間の厚みが外縁領域Aoにおいて外縁部Po側ほど徐々に薄くなるように形成されている。また、凹凸パターン形成面6とその裏面7との間の厚みが口縁領域Aeにおいて口縁部Pe側ほど徐々に薄くなるように形成されている。これにより、インプリント処理時に樹脂層の表面に加わる圧力がスタンパー1の外縁領域Aoおよび口縁領域Aeの両領域(端部領域)に集中する事態を回避することができる。 |