発明の名称 |
精密加工装置および精密加工方法 |
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発行国 |
日本国特許庁(JP) |
公報種別 |
公開特許公報(A) |
公開番号 |
特開2007−38358(P2007−38358A) |
公開日 |
平成19年2月15日(2007.2.15) |
出願番号 |
特願2005−226419(P2005−226419) |
出願日 |
平成17年8月4日(2005.8.4) |
代理人 |
【識別番号】100091096 【弁理士】 【氏名又は名称】平木 祐輔
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発明者 |
神谷 純生 / 岩瀬 久雄 / 永池 哲也 / 江田 弘 / 周 立波 |
要約 |
課題 粗研削〜精密加工研削に至る全ての段階で、精密加工装置を構成する移動部の移動量制御や姿勢制御装置の姿勢制御に際してフィードバック制御を施すことで、被研削体の厚みと平坦度の双方を高い精度で管理することのできる精密加工装置および精密加工方法を提供する。
解決手段 砥石bを回転させる回転装置6bを支持する第二の基台3は、送りねじ機構4とアクチュエータ5が装着されており、粗研削段階〜超精密研削段階において該第二の基台3の移動量が適宜に調整されながら研削がおこなわれる。被研削体aを回転させる回転装置6aと第一の基台2との間には姿勢制御装置7が介在しており、被研削体aの厚みや平坦度を光プローブ91,92にて測定し、測定結果をコンピュータ94に送り、目標値と測定値との偏差を解消するようにフィードバック指令を姿勢制御装置7に送り、その姿勢制御をおこなう精密加工装置である。 |