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株式会社ニコン - 特許情報
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番号 発明の名称
1 モータ装置、ステージ装置、及び露光装置
2 振動アクチュエータ装置
3 モータ装置、ステージ装置及び露光装置
4 振動アクチュエータ装置とレンズ鏡筒
5 振動モータ及びその駆動方法
6 振動アクチュエータ装置
7 モータ装置、ステージ装置、及び露光装置
8 リニアモータ、並びにこれを用いたステージ装置及び露光装置
9 振動アクチュエータ
10 振動アクチュエータ
11 振動アクチュエータ
12 振動アクチュエータ
13 振動アクチュエータ
14 振動アクチュエータ装置
15 振動アクチュエータ
16 電磁力モータおよび電磁力モータを備えた除振装置並びに露光装置
17 モータ装置、ステージ装置、及び露光装置、並びにモータ装置の駆動制御方法
18 リニアモータ装置、これを用いたステージ装置、露光装置、リニアモータの駆動方法、ステージ装置の駆動方法、露光方法、及び、デバイスの製造方法。
19 リニアモータ及びこれを用いたステージ装置並びに露光装置
20 振動アクチュエータおよび光学系駆動装置
21 振動アクチュエータ
22 出力電流制御装置、ステージ装置、露光装置、およびこの露光装置により製造したデバイスおよびデバイスの製造方法
23 出力電流制御装置、除振装置、露光装置、この露光装置により製造したデバイスおよびデバイスの製造方法
24 リニアモータ並びにこれを用いたステージ装置及び露光装置
25 振動アクチュエータ
26 振動アクチュエータ
27 振動アクチュエータ
28 振動モータ及びその駆動方法
29 振動アクチュエータ
30 振動アクチュエータ
31 コイルの製造方法およびコイル製造装置ならびに電磁モータ、露光装置およびデバイスの製造方法
32 振動アクチュエータ装置
33 振動アクチュエータ
34 振動アクチュエータ
35 磁石ユニット、これを用いた電磁アクチュエータ及びリニアモータ、これらを用いたステージ装置及び露光装置、並びに、磁石の固定方法
36 振動アクチュエータ
37 モータ装置、ステージ装置、露光装置、デバイス、モータの駆動方法、ステージ装置の駆動方法、露光方法、および、デバイスの製造方法
38 ステージ装置の駆動方法及びステージ装置並びに露光装置及び露光方法並びにデバイス及びデバイスの製造方法
39 PWM制御装置、モータ駆動装置、ステージ装置、露光装置、およびこの露光装置により製造したデバイスおよびデバイスの製造方法
40 振動アクチュエータ
41 振動アクチュエータの製造方法
42 リニア・モーター及びそのための流体循環システム並びに露光装置
43 振動アクチュエータ
44 振動アクチュエータ
45 振動アクチュエータの制御装置
46 振動アクチュエータ及びその製造方法
47 振動アクチュエータ
48 振動アクチュエータを用いた位置決め装置
49 振動アクチュエータを用いたステージ
50 振動アクチュエータを用いた位置決め装置
51 振動アクチュエータの駆動装置
52 振動アクチュエータ
53 振動アクチュエータの駆動装置
54 コイル配線用コネクタ、リニアモータ、ステージ装置、露光装置、及び半導体デバイス製造方法
55 振動モータ、位置決め装置および振動モータの制御方法
56 振動アクチュエータ
57 振動モータ及び位置決め装置
58 振動アクチュエータ
59 振動子およびその振動子を備えた振動アクチュエータ
60 振動アクチュエータ
61 振動アクチュエータおよびそれを用いたステージ。
62 振動アクチュエータ

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