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ワッカー ジルトロニック ゲゼルシャフト フュア ハルプライターマテリアーリエン アクチエンゲゼルシャフト - 特許情報
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番号 発明の名称
1 結晶格子欠陥を有する半導体ディスク及びその製造法
2 容器中の半導体ウェハを湿式化学処理するための方法
3 結晶格子欠陥を有する半導体ディスク及びその製造法
4 半導体ウェーハの製造法
5 半導体ウェハ、その製造方法および使用
6 半導体ウェハの湿式化学的表面処理法
7 多数の半導体ウェーハの製造法
8 エピタキシャル層を有する半導体ウェハの製造方法
9 半導体ウェハの製造方法およびこの種の半導体ウェハ
10 半導体デイスク、その製法及びその使用
11 半導体ウェハの製造方法
12 半導体ウェーハの製造法及び両面研磨のためのキャリヤプレート
13 半導体ウェーハの両面ポリッシング方法及び該方法を実施するためのキャリア
14 再生ウェーハから半導体ウェーハへの変換法

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