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番号 発明の名称
1 トランス中身取出し方法及び装置
2 プラズマ発生用高周波電源装置の保護方法及び電源装置
3 インピーダンス自動整合方法及び整合装置
4 半導体ウエハのセンタ合せ装置
5 屋外用電気機器ケース
6 変圧器及び変圧器用ブッシング
7 樹脂ブッシング及びその製造方法
8 樹脂ブッシングの取付け構造
9 半導体ウエハのセンタ合せ方法
10 樹脂ブッシング
11 高周波電源
12 通電用導体と電気機器との接続構造
13 プラズマ発生装置
14 プラズマ発生装置
15 搬送装置

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