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番号 発明の名称
1 誘導加熱装置
2 電磁誘導加熱装置
3 電磁誘導加熱装置
4 電磁誘導加熱装置
5 電磁誘導加熱装置
6 電磁誘導加熱装置
7 矩形ビーム用マスクアライメント方法
8 マスク着脱機構と方法
9 基板処理装置及び方法
10 冷凍機冷却式超電導マグネット装置
11 ダブルビーム用精密可変型矩形ビーム光学系
12 精密照射用シャッタ機構と制御方法
13 無機絶縁形酸化物高温超電導ケーブル
14 伝導冷却型超電導マグネット装置およびその組立て方法
15 精密レーザ照射装置及び制御方法
16 高周波線型加速器
17 電子蓄積リングにおける電子の周回周波数制御装置及び電子の軌道補正方法
18 半導体薄膜製造装置
19 レーザ制御装置及びレーザ制御方法
20 加速空洞を有する電子銃及び電子ビーム発生方法
21 ウエハの歪修正装置
22 酸化物超電導電流リードの補強構造
23 レーザを用いた結晶化膜の作製方法及びレーザ結晶化装置
24 矩形ビーム用光学系調整方法
25 レーザ加工装置
26 高周波伝送線路
27 酸化物超電導電流リードの電極の構造及び電極の形成方法
28 酸化物超電導電流リードの電極及び電極の作製方法
29 冷凍機冷却型超電導マグネット
30 基板処理装置
31 酸化物超電導電流リードの接続構造及び接続方法
32 アークヒータ用電源装置
33 レーザアニーリング装置
34 レーザアニーリング装置
35 電磁誘導加熱装置
36 基板反転機構、成膜装置及び基板処理装置
37 冷凍機冷却型超電導磁石装置
38 光パルスビーム発生装置及びX線発生装置
39 プロセスチャンバ
40 水平磁界発生用超電導磁石装置
41 基板保持装置及び基板処理装置
42 船舶におけるインマルサットC用アンテナ
43 イオン源
44 三次元形状キャビティ及びその製造方法
45 金属系超電導コイル線材の接続方法および接続構造
46 積層電磁石
47 スプリットペア型超電導マグネット装置
48 基板処理装置及び方法
49 冷凍機の冷却シリンダとクライオスタットの真空隔壁構造
50 光源装置
51 スキュー6極磁場発生装置及びスキュー6極磁場発生方法
52 超電導コイルの冷却方法とその構造
53 超電導コイルの熱シールド板
54 成膜装置及び方法
55 レーザアニール装置及びレーザアニール方法
56 ベータトロン振動数測定装置及び測定方法
57 酸化物超電導電流リードの臨界電流密度低下防止方法と該方法に使用する磁気シールド体及びその製造方法
58 X線露光装置及び露光方法
59 レーザ加工装置及び方法
60 近接場光プローブを用いたレーザ光励起エッチング加工装置及び加工方法
61 誘導加熱装置に用いられる出力制御装置
62 結晶成長評価方法及び装置
63 薄膜処理方法及び薄膜処理装置
64 パルス放電回路
65 薄膜処理方法及び薄膜処理装置
66 超平坦化加工装置
67 ウエハーチャック用冷却板及びウエハーチャック
68 X線発生装置及び発生方法
69 高周波共振器、及び、その製造方法
70 レーザ加工装置及び方法
71 レーザガス成分分析機能を有する放電励起ガスレーザ装置及びその安定化運転方法
72 超電導マグネット用冷凍機

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