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日本電子株式会社 - 特許情報
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番号 発明の名称
1 電子銃
2 荷電粒子ビーム装置
3 透過電子顕微鏡
4 透過電子顕微鏡
5 電子線装置における試料ステージ制御方法および電子線装置
6 電子ビーム装置における電子ビーム制御方法
7 ESCA用試料ステージおよびESCA用試料ホルダ
8 電子顕微鏡用撮影装置
9 高電圧導入機構
10 熱重量−質量分析計
11 質量分析方法
12 走査像信号取得方法および走査電子顕微鏡
13 走査型荷電粒子ビーム装置における試料像観察方法
14 高周波装置
15 高周波電源
16 スパッタイオンポンプ
17 磁界型エネルギーフィルタ
18 透過型電子顕微鏡
19 理化学機器における異常検知方式
20 走査電子顕微鏡
21 質量分析計
22 磁場型質量分析装置
23 透過型電子顕微鏡
24 ホルダ装置および前記ホルダ装置が装着される試料ステージ
25 走査電子顕微鏡の画像表示装置
26 イオンエッチング装置
27 集束イオンビーム装置
28 荷電粒子ビーム装置
29 荷電粒子ビーム装置
30 荷電粒子線装置
31 光電子分光装置に用いる電子照射装置
32 エネルギ分散スペクトル取得装置
33 低エネルギー反射電子顕微鏡
34 エネルギ選択スリット幅設定装置
35 基板保持機構
36 絞り支持装置
37 ウエハカセットおよびウエハ位置決め治具
38 荷電粒子ビーム装置
39 透過型電子顕微鏡における電子ビーム調整方法
40 テレビカメラを備えた透過型電子顕微鏡
41 荷電粒子線装置における自動焦点合わせ方法
42 荷電粒子線装置
43 電子ビーム描画における近接効果補正の検証方法
44 電子顕微鏡の視野補正装置
45 電子真空ポンプ
46 質量分析装置
47 半導体ウェハ等の板状の試料を装填する試料ホルダおよび試料装填機構
48 質量分析装置
49 飛行時間型質量分析装置
50 周回軌道を有する飛行時間型質量分析装置
51 プラズマ発生装置及び薄膜形成装置
52 コンデンサ電極の含浸装置
53 試料観察測定装置
54 荷電粒子ビームを用いたホールの検査方法
55 磁場勾配コイルの設計方法及び磁場勾配コイル
56 ディジタルフィルタ
57 電子ビーム装置
58 表面分析装置による分析測定方法
59 イオンビーム装置およびオージェマイクロプローブ
60 垂直加速型飛行時間型質量分析装置
61 ターゲット移動装置
62 集束イオンビーム装置
63 半導体試料の検査方法
64 電子ビーム検査方法および装置
65 像観察方法および走査電子顕微鏡
66 アトムプローブ電界イオン顕微鏡
67 荷電粒子ビーム描画方法および装置
68 ホログラフィ電子顕微鏡
69 垂直加速型飛行時間型質量分析装置
70 試料ホルダ、試料ホルダ搬送部材および試料ホルダ受渡し方法
71 試料移動装置
72 電子線装置
73 荷電粒子ビーム装置
74 荷電粒子ビーム装置
75 電子分光装置用検出器
76 電子顕微鏡試料室の真空度表示装置
77 走査電子顕微鏡
78 集束イオンビーム装置
79 荷電粒子ビーム装置
80 電子線装置
81 電子顕微鏡
82 位相差電子顕微鏡用薄膜位相板並びに位相差電子顕微鏡及び位相板帯電防止法
83 マイクロチャンネル検出装置
84 荷電粒子ビーム装置
85 パルサー電源
86 飛行時間型質量分析計
87 荷電粒子線装置用試料保持装置
88 画像演算処理装置
89 エネルギーフィルタを備えた透過型電子顕微鏡
90 材料カセット
91 電子分光装置
92 荷電粒子ビーム装置
93 直接写像型電子顕微鏡
94 電子線バイプリズム装置
95 ビーム処理装置における調整方法
96 荷電粒子線装置
97 電子ビーム描画方法
98 ディジタルFIRフィルタ
99 エネルギーフィルタを備えた電子顕微鏡
100 荷電粒子ビーム装置

[1][2]
 

 


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