米国特許情報 | 欧州特許情報 | 国際公開(PCT)情報 | Google の米国特許検索
 
     特許分類
A 農業
B 衣類
C 家具
D 医学
E スポ−ツ;娯楽
F 加工処理操作
G 机上付属具
H 装飾
I 車両
J 包装;運搬
L 化学;冶金
M 繊維;紙;印刷
N 固定構造物
O 機械工学
P 武器
Q 照明
R 測定; 光学
S 写真;映画
T 計算機;電気通信
U 核技術
V 電気素子
W 発電
X 楽器;音響


  ホーム -> 電気素子 -> 日本電子株式会社

発明の名称 材料カセット
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開2001−308170(P2001−308170A)
公開日 平成13年11月2日(2001.11.2)
出願番号 特願2000−118800(P2000−118800)
出願日 平成12年4月20日(2000.4.20)
代理人
発明者 寳 田 淳
要約 目的


構成
特許請求の範囲
【請求項1】 被描画材料が固定されるカセット本体を有し、被描画材料の周囲の少なくとも一部に接触し、該被描画材料上の電荷を逃がすためのカバーを前記カセット本体に取り付けた材料カセットにおいて、前記カバーは各取り付け部間で分割されており、各分割されたカバーの間に隙間が設けられている材料カセット。
【請求項2】 被描画材料が固定されるカセット本体を有し、カセット本体の複数箇所で被描画材料をカセット本体に固定する規制板を前記カセット本体に取り付け、該各規制板間において被描画材料の周囲の少なくとも一部に接触し、該被描画材料上の電荷を逃がすためのカバーを前記カセット本体に取り付けた材料カセットにおいて、前記カバーは各取り付け部間で分割されており、各分割されたカバーの間に隙間が設けられている材料カセット。
【請求項3】 前記各分割カバー間に設けられる隙間は、少なくとも分割されたカバーの熱膨張量に対応している請求項1若しくは2記載の材料カセット。
【請求項4】 前記規制板は3個使用されている請求項1若しくは2記載の材料カセット。
【請求項5】 前記分割された各カバーの分割部は断面がそれぞれL字状,逆L字状に形成されている請求項1若しくは2記載の材料カセット。
発明の詳細な説明
【0001】
【発明の属する分野】本発明は、荷電粒子ビーム描画装置の材料カセットに関する。
【0002】
【従来の技術】電子ビーム描画装置は、レジストが塗布されたマスク基板やウエハなどの被描画材料上の所定位置に電子ビームを照射することによりパターンを描画する装置である。
【0003】この様な電子ビーム描画装置は他の描画装置(例えば、光ビームの照射による描画装置等)に比べ極めて密度の高いパターンが描画が可能なことから、超LSIや超々LSI素子などの製作の担い手として注目されている。
【0004】さて、この様な電子ビーム描画装置においては、描画室の外部において被描画材料がカセットにセットされ、カセット搬送機構(図示せず)のアームによって該カセットが描画室内のステージ上に置かれ、その後、被描画材料への電子ビームによるパターン描画が行われるようになっている。
【0005】図1はマスク基板をセットしたカセツトの概略を示すものであり、図2は図1のA−A断面図である。
【0006】図中1は導電性材料から成るカセット本体で、該カセット本体の3カ所には、カセットにセットされるマスク基板2の上面位置を規制するための導電性材料から成る上面規制板3が取り付けられている。該上面規制板の位置に対応して、マスク基板2を挟んで、先端に突起部Tを有したスプリング4が配置されている。該スプリングはネジ5の先端に取り付けられており、ネジ5と共にカセット本体1に穿たれた孔6の内部に収容されている。図中7A,7B,7Cは前記上面規制板3を両側から取り囲むようにカセット本体1に取り付けられたチャージアップ防止用カバーで、該カバーは導電性材料で作られており、前記上面規制板3のマスク基板対向面と同じ高さ方向の位置に来るので、マスク基板2がセットされた時に、前記各カバーの内側先端部の基板対向面が該マスク基板の表面に接触するようになっている。該チャージアップ防止用カバーは、この様にマスク基板2のほぼ周囲の表面に接触している為、マスク基板の表面の何処で電荷がたまろうとしてもその電荷はカバー7及びカセット本体1を通じて大地に流すことが可能になっている。
【0007】さて、マスク基板2をカセットにセットする時には、ネジ5を緩めた状態で各上面規制板とスプリング4の突起部Tの間に入る様にマスク基板2を差し込み、次に、ネジ5を締め付けることにより、スプリング4によってマスク基板2を上面規制板3に押し付けることによって行っている。尚、8はマスク基板のX,Y方向の位置を規制するためのピンである。又、9は各チャージアップ防止用カバーをカセット本体1に取り付けるためのビスである。
【0008】この様なカセットを電子ビーム描画装置の描画室のステージにセットし、電子ビームによりマスク基板上にパターンを描くのであるが、その際、マスク基板表面に電子ビーム照射による帯電が発生しようとしても、チャージアップ防止用カバー7A,7B,7C、カセット本体1及びアース電位にあるステージを通じて電荷が大地に流れるので、マスク基板表面上には電荷がたまることはない。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】さて、前述した様に、描画室の外でマスク基板2をカセットにセットし、該カセットを描画室のステージ上にセットしてからマスク基板上に電子ビームによりパターンを描くのであるが、描画室外と描画室内との温度差により前記チャージアップ防止用カバー7に歪みが発生する。即ち、通常、描画室外より描画室内が温度が高いため、マスク基板2をセットしたカセットを描画室のステージ上にセットした時、その温度差によりカセット本体1に熱膨張が発生する。この時、チャージアップ防止用カバー7A,7B,7Cはマスク基板2に平行な面(水平面)上のX,Y方向に膨張する。この際、各カバーにおいて、図1で矢印で示す様に、ビス止めされている間における長手方向への膨張が互いに干渉しあい、カバー自体に歪みが発生する。
【0010】本発明はこの様な問題を解決するもので、新規な材料カセットを提供するものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の材料カセットは、被描画材料が固定されるカセット本体を有し、被描画材料の周囲の少なくとも一部に接触し、該被描画材料上の電荷を逃がすためのカバーを前記カセット本体に取り付けた材料カセットにおいて、前記カバーは各取り付け部間で分割されており、各分割されたカバーの間に隙間が設けられていることを特徴としている。本発明の材料カセットは、被描画材料が固定されるカセット本体を有し、カセット本体の複数箇所で被描画材料をカセット本体に固定する規制板を前記カセット本体に取り付け、該各規制板間において被描画材料の周囲の少なくとも一部に接触し、該被描画材料上の電荷を逃がすためのカバーを前記カセット本体に取り付けた材料カセットにおいて、前記カバーは各取り付け部間で分割されており、各分割されたカバーの間に隙間が設けられていることを特徴としている。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【0013】図3は本発明に基づく材料カセットの一例を示している。図中、前記図1及び図2と同一記号の付されたものは同一構成要素を示す。
【0014】図3に示した材料カセットが図1に示した材料カセットと構造上で異なるところは、各カバー7A´,7B´,7C´が各カバーにおける各ビス止め間で分割されており、図4に示す様に、各分割されたカバー(例えば、7A´を例に上げると7A´1,7A´2)の各接合部分が接合された時に嵌合するように、例えば、互いに断面がL字状、逆L字状になるように形成されている。そして、実際に各分割されたカバーを接合させる時には、図4に示す様に、Z方向(マスク基板に垂直な上下方向)には各分割されたカバーの熱膨張量を考慮した隙間Sa,Sbが出来るようにし、Z方向に垂直な方向には隙間が出来ないようにする。
【0015】しかして、描画室の外でマスク基板2をカセットにセットし、該カセットを描画室のステージ上にセットした後、マスク基板上に電子ビームによりパターンを描く。この際、描画室外と描画室内との温度差によりカセット本体1に熱膨張が発生する。この時、チャージアップ防止用カバー7A´,7B´,7C´はマスク基板2に平行な面(水平面)上のX,Y方向に膨張しようとするが、実際には、各カバーにおいて、図3で矢印で示す様に、ビス止めされている間における長手方向への膨張が発生する。しかし、各ビス止め間は分割されており、且つ、互いに隙間Sa,Sbが出来るように接合されているので、前記膨張によって各隙間が小さくなるか若しくは各隙間が無くなるだけである。従って、ビス止めされている間における長手方向への膨張が互いに干渉しあってカバー自体に歪みが発生することはない。
【0016】尚、前記例ではマスク基板をセットするカセットについて説明したが、ウエハの如き半導体材料をセットするカセットについても本発明は応用可能である。
【0017】又、前記例では各分割されたカバーの各分割部分の断面が、それぞれL字状、逆L字状になるようにカバーを分割したが、この様な分割に限定されない。例えば、カバーを単純に光軸方向に分割し、各分割されたカバー間に該カバーの熱膨張量に対応した隙間を設けるようにしても良い。
【0018】又、前記例では上面規制板を備えた材料カセットについて説明したが、チャージアップ防止用カバーが上面規制板の働きも兼ねた材料カセットについても本発明は応用可能である。
【0019】又、前記実施例では電子ビーム描画装置に使用される材料カセットについて説明したが、本発明はイオンビーム描画装置に使用される材料カセットついても応用可能である。




 

 


     NEWS
会社検索順位 特許の出願数の順位が発表

URL変更
平成6年
平成7年
平成8年
平成9年
平成10年
平成11年
平成12年
平成13年


 
   お問い合わせ info@patentjp.com patentjp.com   Copyright 2007-2013