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発明の名称 電子顕微鏡
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開2001−273864(P2001−273864A)
公開日 平成13年10月5日(2001.10.5)
出願番号 特願2000−85693(P2000−85693)
出願日 平成12年3月27日(2000.3.27)
代理人
発明者 石 川 豊 治 / 上 村 英 助
要約 目的


構成
特許請求の範囲
【請求項1】 架台の上に防振マウントを介してカメラ室が載置されており、該カメラ室の上に像観察室が取り付けられており、該像観察室の上に電子光学系等を備えた鏡筒が取り付けられた電子顕微鏡。
【請求項2】 前記カメラ室と像観察室を一体化した請求項1記載の電子顕微鏡。
【請求項3】 前記カメラ室は像観察室取り付け部分と、防振マウントを介して架台上に支持されるマウント部から成る請求項1記載の電子顕微鏡。
【請求項4】 前記マウント部は、前記像観察室取り付け部の両側面の各両端部から互いに離れて伸びた4つの部分から成る請求項3記載の電子顕微鏡。
発明の詳細な説明
【0001】
【発明の属する分野】本発明は、装置全体のコンパクト化を計った電子顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】図1は透過型電子顕微鏡の1概略例を示したものである。
【0003】図中1は鏡筒で、電子銃,集束系レンズ,偏向系レンズ,非点補正等の補正系レンズ等の電子光学系,観察すべき試料を保持した試料保持体等を備えている。2は像観察室で、蛍光板を備え、試料を透過した電子ビームに基づく試料像が該蛍光板上に結像される様に成っている。3は前記像観察室の真下にあり、前記試料像をフィルムに撮影するためのカメラ室である。
【0004】4は、その上面に前記像観察室2が、その下面に前記カメラ室3がそれぞれ取り付けられているベースプレートで、床5上に設置された架台6上に、4隅に設けられた防振マウント7A,7B,7C,7D(7C,7Dは示されていない)を介して設置されている。前記各防振マウントは、例えば、バネ等から成る除振手段で構成されている。尚、前記鏡筒1は像観察室2の上に取り付けられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】さて、前記ベースプレート4は鏡筒1,像観察室2及びカメラ室3を支える構造になっている為、ベースプレートとして、鏡筒1,像観察室2及びカメラ室3各々の重量を支えられ、且つ静的及び動的に剛性の高いものを採用する必要がある。この様なベースプレートを実現しようとすると、どうしても大型のベースプレートとなってしまう。その為、ベースプレートだけではなく、該ベースプレートを載せている架台も大型化し、その結果、電子顕微鏡全体が大型化し且つ重量も大きなものになってしまう。
【0006】本発明はこの様な問題を解決するもので、新規な電子顕微鏡を提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】 本発明の電子顕微鏡は、架台の上に防振マウントを介してカメラ室が載置されており、該カメラ室の上に像観察室が取り付けられており、該像観察室の上に電子光学系等を備えた鏡筒が取り付けられたことを特徴としている。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【0009】図2は本発明の一例の透過型電子顕微鏡の一概略例を示したもので、図中前記図1にて使用した記号と同一記号の付されたものは同一構成要素である。前記図1に示す透過型電子顕微鏡の構造に対する図2に示す透過型電子顕微鏡の構造の違いは、ベースプレートを無くした事と、カメラ室の構造にある。
【0010】図2に示すカメラ室30は、その上面に像観察室を取り付ける凹部を有する直方体状の像観察室取り付け部30Rと、その像観察室取り付け部30Rの一方の側面の両端部から互いに間隔を開けて伸び、その先端部に行くに従って徐々に薄くなり、先端部が一定の厚さになったマウント部30A,30Cと、他方の側面の両端部から互いに間隔を開けて伸び、その先端部に行くに従って徐々に薄くなり、先端部が一定の厚さになったマウント部30B,30Dから成り、これら像観察室取り付け部30R,マウント部30A,30B,30C,30Dは全て一体物であり、例えば、鋳物から製作されている。
【0011】しかして、床5上に設置された架台6上にカメラ室30を載せる場合、カメラ室30の像観察室取り付け部30Rが架台表面に接しない様に、且つ、該カメラ室30のマウント部30A,30B,30C,30Dがそれぞれ防振マウント7A,7B,7C,7Dを介して架台6に支持される様にする。
【0012】そして、カメラ室30の上面に作られている像観察室取り付け用凹部(図示せず)に像観察室2をはめ込んで、例えばネジで固定する。そして、該像観察室上に鏡筒1を取り付け、例えばネジで固定する。
【0013】この様に、本例ではベースプレートを一切使用せず、カメラ室30が像観察室2と鏡筒1を支えられるように構成したので、元々備えられているカメラ室自体は従来のものに比べ多少大きくなっているが、大型のベースプレートが不要となっている為、架台も大型化することなく、電子顕微鏡全体が大型化し且つ重量も大きなものになってしまう事が避けられる。
【0014】又、本例では、カメラ室30を像観察室2と鏡筒1を支えられる像観察室取り付け部と、架台上に防振マウントを介して支持されるマウント部から構成されているが、該マウント部は像観察室取り付け部両側面の両端部から互いに間隔を開けて伸び、その先端部に行くに従って徐々に薄くなり、先端部が一定の厚さになっているので、カメラ室全体の大きさと重量が余り大きくならない。
【0015】又、カメラ室は振動、特に高次の振動を良く吸収する材料(本例では鋳鉄)で作られているので、架台から伝わって来る振動がカメラ室,像観察室及び鏡筒に影響を及ぼしにくくなる。
【0016】尚、カメラ室30と像観察室2を一体物として作っても良い。
【0017】又、前記例では、4つの除振マウントを設けるように成したが、この数に限定されない。
【0018】又、前記例では、マウント部は像観察室取り付け部両側面の両端部から互いに間隔を開けて伸び、その先端部に行くに従って徐々に薄くなり、先端部が一定の厚さになっているが、この様な構成に限定されない。例えば、カメラ室の大きさが多少大きくなっても構わないなら、像観察室取り付け部と同じ厚さであっても良い。又、前記例では透過型電子顕微鏡を例に上げたが、カメラ室,像観察室及び鏡筒を有する他の電子顕微鏡等にも応用可能である。




 

 


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