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発明の名称 テレビカメラを備えた透過型電子顕微鏡
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開2001−101988(P2001−101988A)
公開日 平成13年4月13日(2001.4.13)
出願番号 特願平11−281479
出願日 平成11年10月1日(1999.10.1)
代理人 【識別番号】100092495
【弁理士】
【氏名又は名称】蛭川 昌信 (外7名)
【テーマコード(参考)】
5C022
5C033
【Fターム(参考)】
5C022 AA01 AA15 AB11 AB17 AC42 AC69 
5C033 SS04
発明者 岡本公治
要約 目的


構成
特許請求の範囲
【請求項1】 像観察用の蛍光板とテレビカメラとを備えた透過型電子顕微鏡において、テレビカメラに入射する電子線を遮断しない孔を形成した電子線検出器と、電子線検出器で測定した電子線量によりフィルム撮影時の露光時間を算出し、算出した露光時間に基づいてシャッターを制御する制御手段とを備えたことを特徴とする透過型電子顕微鏡。
【請求項2】 像観察用の蛍光板とテレビカメラとを備えた透過型電子顕微鏡において、入射する電子線量を光量に変換してテレビカメラで撮影し、入射電子線量に応じた光量情報を取り出してフィルム撮影時のシャッター制御を行うようにしたことを特徴とする透過型電子顕微鏡。
発明の詳細な説明
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は像観察用に蛍光板、テレビカメラを備えた透過型電子顕微鏡に関するものである。
【0002】
【従来の技術】透過型電子顕微鏡の像観察は、試料を透過した電子線を蛍光板に当て、蛍光板の蛍光粒子が発光したときの光の濃淡を観察するのが一般的であったが、現在では、蛍光塗料やYAG等のシンチレータ(電子線を光に変換する素子)を前面に取り付けたテレビカメラの出力をテレビモニタやパソコンで観察することが広く行われている。しかし、高精彩な像を記録したいときにはフィルム撮影が行われている。
【0003】図2はテレビカメラを備えた透過型電子顕微鏡の概略構成を示す図である。図中、1は光軸、2は電子線、3は結像系レンズ、4はシャッター、5はフィルム、6は蛍光板、7はテレビカメラである。なお、図においては本発明に特に関係ない電子線源や試料、照射系レンズ、テレビモニタやパソコン等は図示を省略し、また、通常、結像系レンズは複数段使用しているが、便宜的に1段のみ示している。
【0004】次にフィルム撮影を行う時の手順を説明する。蛍光板6による像観察時はシャッター4が光軸から外れていて、蛍光板6が光軸上、即ち図2の実線の位置にある。フィルム撮影を行う時はシャッター4が光軸に挿入されて電子線を遮断し、蛍光板6が上がり(破線位置)、フィルム5が光軸へ挿入された後、シャッター4が適切な時間、光軸から外れてフィルム5へ電子線2が照射され、次いでシャッター4が光軸へ戻されてフィルムの感光を終了させる。その後、蛍光板6が下がり、フィルム5が光軸から外れて図示しない別容器に格納され、シャッター4が光軸から外れて通常の蛍光板による像観察状態となる。この動作の中でフィルムの露光時間を適切に行うことは重要なことで、蛍光板に当たる電子線量を測定し、測定結果に基づいて、フィルムの露光時間を自動的に設定している。また、露光時間を手動で設定することも可能であるが、その時の判断にも蛍光板に当たる電子線量を考慮しているのが普通である。
【0005】次に、現在一般に行われているテレビ観察時にフィルム撮影を行う場合の動作を説明する。テレビ観察を行うために、蛍光板6を上げ、シャッター4およびフィルム5は光軸から外れている。この時、電子線2がテレビカメラ7に照射され、像を図示しないテレビモニタやパソコンに表示する。通常はテレビカメラやパソコンでは像の明るさが自動的に調整されるので、暗い像でも明るい像でも一定の明るさで観察される。テレビカメラで像を観察している時にフィルム撮影を行うときは、一旦、蛍光板6が光軸へ下り、蛍光板上での電子線量を測定し、この測定結果に基づき、フィルムの露光時間を自動的に設定し、シャッタの制御を行ってフィルム撮影を行う。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】テレビカメラ観察時にフィルム撮影を行う場合、蛍光板を用いて電子線量を測定しているため、蛍光板が一度下りてまた上がるという動作があり、この機械的な動作のために時間がかかってテレビカメラ観察時と撮影時に時間的間隔が生じてしまう。また、機械的に物を動かすため振動が生ずるという問題があった。これは電子線量を測定するのに蛍光板を使用していることが原因である。
【0007】本発明は上記課題を解決するためもので、テレビカメラで像観察してフィルム撮影する場合に、蛍光板での電子線量の測定を行わず、他の手段で電子線量を測定することにより、蛍光板を機械的に動かす動作を省略し、像観察時と撮影時の時間的間隔を短縮することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、像観察用の蛍光板とテレビカメラとを備えた透過型電子顕微鏡において、テレビカメラに入射する電子線を遮断しない孔を形成した電子線検出器と、電子線検出器で測定した電子線量によりフィルム撮影時の露光時間を算出し、算出した露光時間に基づいてシャッターを制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。また、本発明は、像観察用の蛍光板とテレビカメラとを備えた透過型電子顕微鏡において、入射する電子線量を光量に変換してテレビカメラで撮影し、入射電子線量に応じた光量情報を取り出してフィルム撮影時のシャッター制御を行うようにしたことを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態について説明する。図1は本発明のテレビカメラを備えた透過型電子顕微鏡の概略図で、図2に示した参照数字と同一参照数字は同一内容を示している。本発明は図2で説明した透過型電子顕微鏡に加えて蛍光板以外に電子線量を測定する検出器8を設けた点が異なっている。検出器8はテレビカメラの上に設けられ、テレビカメラに入る電子線を遮断しない孔が形成された電極板から構成されている。さらに本発明では検出器8で検出された電子線量に基づき、フィルム露光時間を算出し、シャッター4を開閉制御する制御装置9を設けている。制御装置9は検出器8の孔を通過した電子線2′の分、即ち、検出器で測定されなかった電子線量を補正してトータルの電子線量を求めている。
【0010】次に、装置の動作を説明すると、電子線はテレビカメラ7に照射されるが、検出器の孔を通らなかった電子線は検出器8に流れ、電子線量が測定される。この時、検出器の孔を通過した分(検出器にかからなかった分)が補正され、制御装置9では求めた電子線量により露光時間を算出し、算出した露光時間に基づいてシャッター4を動作させる。こうしてテレビカメラ観察時にフィルム撮影を行う場合に、従来のように蛍光板を下げて電子線量を測定する動作を省略することができ、機械的動作を省けるので、観察時と撮影時の時間的間隔を短縮し、振動等の影響もなくすことができる。
【0011】なお、検出器8としては、メッシュ状の電極を用いれば、テレビカメラの撮影領域を大きくすることができる。その場合も検出器を通過する分の補正を行う必要がある。また、変形例としては、テレビカメラではシンチレータで電子線を光に変換して撮影しており、検出器を使わずに、テレビカメラ自体が得た光の感度を測定し、これに基づいてシャッターを動作させる時間を設定するようにしてもよい。
【0012】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、像観察用の蛍光板以外に電子線量測定する検出器を設けることで、テレビカメラ観察時にフィルム撮影を行う時の機械的動作を省略し、観察時と撮影時の時間的間隔を短縮し、振動等の影響をなくすことができる。




 

 


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