米国特許情報 | 欧州特許情報 | 国際公開(PCT)情報 | Google の米国特許検索
 
     特許分類
A 農業
B 衣類
C 家具
D 医学
E スポ−ツ;娯楽
F 加工処理操作
G 机上付属具
H 装飾
I 車両
J 包装;運搬
L 化学;冶金
M 繊維;紙;印刷
N 固定構造物
O 機械工学
P 武器
Q 照明
R 測定; 光学
S 写真;映画
T 計算機;電気通信
U 核技術
V 電気素子
W 発電
X 楽器;音響


  ホーム -> 電気素子 -> 東京エレクトロン株式会社

番号 発明の名称
1 温度測定方法
2 塗布現像装置
3 処理装置
4 プラズマ処理装置
5 シリコン窒化膜の成膜装置および成膜方法
6 処理装置及び処理方法
7 誘導結合プラズマ処理装置
8 基板処理装置
9 基板の処理方法及び処理装置
10 基板処理装置
11 エッチング方法及びエッチング装置
12 マグネトロンプラズマ処理装置および処理方法
13 半導体装置の製造方法及び処理装置
14 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法
15 酸化処理装置
16 プローブカード搬送機構
17 容器の移動装置および方法
18 被処理体の載置機構
19 誘導結合プラズマ処理装置
20 洗浄・乾燥処理装置及びその方法
21 枚葉式熱処理装置
22 液処理装置
23 ロードロック装置およびウェハ搬送システム
24 基板の現像処理方法
25 基板処理装置
26 基板処理装置
27 レジスト塗布現像処理装置
28 基板処理方法及び基板処理装置
29 処理装置およびその温度制御方法
30 基板処理装置
31 処理装置の排気システム
32 成膜装置
33 真空処理装置
34 被処理基板搬送装置およびその支持板取外し方法
35 インターコネクタ
36 加熱処理装置および加熱処理方法
37 半導体装置の製造方法及び製造装置
38 Al合金電極膜およびスパッタリング用ターゲット
39 成膜装置
40 処理装置及び処理方法
41 オゾン処理装置およびその方法
42 プローブ装置及びヘッドプレート開閉軽減機構
43 処理システム
44 処理装置及び処理方法
45 容器の搬入出装置及び搬入出方法
46 真空処理装置
47 基板昇降機構
48 半導体装置の製造方法
49 半導体装置およびその製造方法
50 基板処理装置および基板処理方法
51 現像処理方法および現像処理装置
52 基板処理装置および基板処理方法
53 基板処理装置
54 プラズマ処理装置
55 基板搬送装置及び基板処理システム
56 基板搬送装置、処理装置、基板の処理システム、搬送方法、収納装置および収容ボックス
57 エッチング方法およびプラズマ処理方法
58 有機金属気相成長方法及び有機金属気相成長装置
59 載置装置
60 基板搬送装置及び処理システム
61 基板の配列方法及び配列装置
62 電極構造、載置台構造、プラズマ処理装置及び処理装置
63 熱処理方法及び熱処理装置
64 基板受け渡し装置及び塗布現像処理システム
65 処理液供給装置
66 処理システム
67 熱処理装置
68 熱処理装置の温度校正方法
69 縦型熱処理装置
70 銅層の形成方法、半導体装置の製造方法、および半導体装置の製造装置
71 処理装置及び処理方法
72 プラズマ処理装置
73 処理装置及び処理方法
74 成膜処理装置及び成膜処理方法
75 基板処理装置
76 現像処理装置及び現像処理方法
77 現像処理装置
78 基板処理装置び基板処理方法
79 熱処理方法及び熱処理装置
80 縦型熱処理装置
81 半導体製造装置及びその方法
82 終点検出方法
83 基板処理装置
84 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
85 積層ゲート絶縁膜の形成方法及びこの形成システム
86 窒化シリコン膜の形成方法
87 プローブ方法及びプローブシステム
88 処理システム
89 処理システム
90 基板加熱処理装置および温度制御方法
91 基板処理装置および基板処理方法
92 熱処理方法および熱処理装置
93 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法
94 絶縁膜形成方法及び絶縁膜形成装置
95 多孔質アモルファス膜の観察方法及びその観察装置
96 加熱処理システムおよびそれに用いる加熱処理ユニット
97 現像処理装置及び現像処理方法
98 基板処理装置及びその方法
99 現像装置、液処理装置及び現像方法
100 ガス処理装置

[1][2][3][4]
 

 


     NEWS
会社検索順位 特許の出願数の順位が発表

URL変更
平成6年
平成7年
平成8年
平成9年
平成10年
平成11年
平成12年
平成13年


 
   お問い合わせ info@patentjp.com patentjp.com   Copyright 2007-2013