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番号 発明の名称
1 照射窓
2 電子線照射装置
3 電子線照射装置
4 電子線照射装置
5 加速電圧・電子流の同時可変方式
6 電子線照射装置
7 電子源
8 電子線照射装置
9 電子線照射装置
10 電子線照射装置
11 電子線照射装置
12 薄膜破片捕獲装置及び該捕獲装置を備えた荷電変換器
13 電子線照射装置
14 電子線照射装置の照射窓
15 電子線分布測定装置
16 電子線照射装置のフィラメントユニット
17 フィラメント支持構造
18 電子線照射装置の窓箔と電子線照射装置
19 電子線照射方法及び装置
20 ガス流量調整機構付きオープン形ガスターゲット
21 電子線照射装置のフイラメント電源装置
22 電子線照射装置付帯設備の省エネルギー構造
23 電子線照射装置用ビーム電流計測装置
24 電子線照射装置用加速電圧制御装置
25 電子線照射装置
26 電子線照射装置
27 電子線照射装置

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