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発明の名称 位置決め装置とその停止方法
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開2001−147719(P2001−147719A)
公開日 平成13年5月29日(2001.5.29)
出願番号 特願平11−332831
出願日 平成11年11月24日(1999.11.24)
代理人
発明者 橋田 茂 / 田村 哲司 / 石田 敏博
要約 目的


構成
特許請求の範囲
【請求項1】 対象物を搭載する移動体を固定体に対して移動させて、この対象物を位置決めする位置決め装置であって、前記固定体と前記移動体との間に気体を噴出して、この移動体を浮揚させる浮揚手段と、前記固定体と前記移動体との間に磁気吸引力を発生し、この磁気吸引力によってこの移動体を移動させる移動手段と、停止が必要な時に、前記浮揚手段が噴出する前記気体の噴出量を低下させ、磁気吸引力によって前記移動体を前記固定体に吸着して停止させる停止制御手段と、を含む位置決め装置。
【請求項2】 請求項1に記載の位置決め装置において、前記移動手段は、前記移動体のX軸方向に形成された一定ピッチの歯と、前記固定体のX軸方向及びY軸方向に形成された一定ピッチの歯との間に磁気吸引力を発生し、この磁気吸引力によってこの移動体をX軸方向に移動させるX軸モータと、前記移動体のY軸方向に形成された一定ピッチの歯と、前記固定体のX軸方向及びY軸方向に形成された一定ピッチの歯との間に磁気吸引力を発生し、この磁気吸引力によってこの移動体をY軸方向に移動させるY軸モータとを備え、前記移動体又は前記固定体のいずれか一方から他方へX軸方向に光を照射し、その反射光を受光してこの移動体のX軸方向の位置を検出するX軸干渉計と、前記移動体又は前記固定体のいずれか一方から他方へY軸方向に光を照射し、その反射光を受光してこの移動体のY軸方向の位置を検出するY軸干渉計とを備えること、を特徴とする位置決め装置。
【請求項3】 請求項2に記載の位置決め装置において、前記停止制御手段は、前記X軸干渉計及び/又は前記Y軸干渉計の反射光の光量が低下したときに、前記浮揚手段に前記気体の噴出量を低下させること、を特徴とする位置決め装置。
【請求項4】 請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の位置決め装置において、前記停止制御手段は、前記浮揚手段が前記気体を供給する供給路を開閉する電磁弁を備え、この電磁弁に前記供給路を遮断させること、を特徴とする位置決め装置。
【請求項5】 対象物を搭載する移動体を固定体に対して移動させて、この対象物を位置決めする位置決め装置の停止方法であって、前記固定体と前記移動体との間に気体を噴出して、この移動体を浮揚させるとともに、前記固定体と前記移動体との間に磁気吸引力を発生し、この磁気吸引力によってこの移動体を移動し、停止が必要な時に、前記磁気吸引力によって前記移動体が前記固定体に吸着して停止するように、前記気体の噴出量を調節すること、を特徴とする位置決め装置の停止方法。
【請求項6】 請求項5に記載の位置決め装置の停止方法において、停止が必要な時に、前記気体を供給する供給路を電磁弁によって遮断すること、を特徴とする位置決め装置の停止方法。
発明の詳細な説明
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、対象物を搭載する移動体を固定体に対して移動させて、この対象物を位置決めする位置決め装置とその停止方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図7は、従来の位置決め装置の構成図である。図7で、スライダ部1には位置決め対象物が載せられる。ガイドバー2,3はプレート4上に引かれていて、X軸方向に延びている。支持部材5はスライダ部1をガイドバー2,3に移動自在に支持する。モータ6の出力軸にはねじ7が連結されている。部材8にねじ7が螺合されている。部材8はスライダ部1に固定されている。モータ6が回転駆動することによって、スライダ部1はX軸方向に移動する。
【0003】ガイドバー9,10はプレート11に引かれていて、Y軸方向に延びている。支持部材12はプレート4をガイドバー9,10に移動自在に支持する。モータ13の出力軸にはねじ14が連結されている。部材15にねじ14が螺合されている。部材15はプレート4に固定されている。モータ13が回転駆動することによって、プレート4はY軸方向に移動する。
【0004】このようにモータ6,13の回転駆動によって、スライダ部1はX,Y軸方向に位置決めされる。スライダ部1には位置決め対象物として例えばウェハが載せられる。スライダ部31が2次元方向に移動すると、位置固定されたプロープがウェハの各チップに順番に当てられ、各チップの検査が行われる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】近年、プラテン上にスライダをエアによって浮揚させるとともに、このプラテンとスライダとの間に磁気吸引力を発生させ、この磁気吸引力によってスライダをX軸方向及びY軸方向に移動させるXYステージが提案されている。このようなXYステージでは、スライダの位置をレーザ干渉計によって検出し、このレーザ干渉計の出力信号に基づいて、スライダの位置をフィードバック制御する。
【0006】しかし、このXYステージでは、例えば、プラテン上に異物が落下してレーザ光を遮ったような場合に、スライダの位置を制御することができない。この場合に、スライダは浮揚した状態で高速で移動するために、制御が不能になると、摩擦力によって停止できずに惰性で移動してしまう。
【0007】この発明の課題は、固定体に対して移動体を確実に停止させて安全性を向上させることができる位置決め装置とその停止方法を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明は、以下のような解決手段により、前記課題を解決する。なお、この発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定するものではない。請求項1の発明は、対象物を搭載する移動体(31)を固定体(30)に対して移動させて、この対象物を位置決めする位置決め装置であって、前記固定体と前記移動体との間に気体を噴出して、この移動体を浮揚させる浮揚手段(32)と、前記固定体と前記移動体との間に磁気吸引力を発生し、この磁気吸引力によってこの移動体を移動させる移動手段(33,34,35)と、停止が必要な時に、浮揚手段(32)が噴出する前記気体の噴出量を低下させ、磁気吸引力によって前記移動体を前記固定体に吸着して停止させる停止制御手段とを含む位置決め装置である。
【0009】請求項2の発明は、請求項1に記載の位置決め装置において、前記移動手段は、前記移動体のX軸方向に形成された一定ピッチの歯(342,352)と、前記固定体のX軸方向及びY軸方向に形成された一定ピッチの歯との間に磁気吸引力を発生し、この磁気吸引力によってこの移動体をX軸方向に移動させるX軸モータ(34,35)と、前記移動体のY軸方向に形成された一定ピッチの歯(332)と、前記固定体のX軸方向及びY軸方向に形成された一定ピッチの歯との間に磁気吸引力を発生し、この磁気吸引力によってこの移動体をY軸方向に移動させるY軸モータ(33)とを備え、前記移動体又は前記固定体のいずれか一方から他方へX軸方向に光を照射し、その反射光を受光してこの移動体のX軸方向の位置を検出するX軸干渉計(39,40)と、前記移動体又は前記固定体のいずれか一方から他方へY軸方向に光を照射し、その反射光を受光してこの移動体のY軸方向の位置を検出するY軸干渉計(38)とを備えることを特徴とする位置決め装置である。
【0010】請求項3の発明は、請求項2に記載の位置決め装置において、前記停止制御手段は、前記X軸干渉計及び/又は前記Y軸干渉計の反射光の光量が低下したときに、浮揚手段(32)に前記気体の噴出量を低下させることを特徴とする位置決め装置である。
【0011】請求項4の発明は、請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の位置決め装置において、停止制御手段は、浮揚手段(32)が前記気体を供給する供給路を開閉する電磁弁を備え、この電磁弁に前記供給路を遮断させることを特徴とする位置決め装置である。
【0012】請求項5の発明は、対象物を搭載する移動体を固定体に対して移動させて、この対象物を位置決めする位置決め装置の停止方法であって、前記固定体と前記移動体との間に気体を噴出して、この移動体を浮揚させるとともに、前記固定体と前記移動体との間に磁気吸引力を発生し、この磁気吸引力によってこの移動体を移動し、停止が必要な時に、前記磁気吸引力によって前記移動体が前記固定体に吸着して停止するように、前記気体の噴出量を調節することを特徴とする位置決め装置の停止方法である。
【0013】請求項6の発明は、請求項5に記載の位置決め装置の停止方法において、停止が必要な時に、前記気体を供給する供給路を電磁弁によって遮断することを特徴とする位置決め装置の停止方法である。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明の実施形態について詳しく説明する。図1は、この発明の実施形態に係る位置決め装置の構成図である。以下では、図7に示す部材と同一の部材については同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【0015】この発明の実施形態に係る位置決め装置は、位置決め対象物を搭載するスライダ部31を格子プラテン30に対して移動させて、この位置決め対象物の2次元位置を位置決めする装置であり、例えば、プローバなどの半導体製造装置に用いられるXYステージである。
【0016】図1で、格子プラテン30はX軸方向及びY軸方向に沿って一定ピッチで歯が形成されている。図では簡略化のため一部の歯だけを示している。このような格子プラテン30は、平坦面に格子状に溝を切ることによって形成される。格子プラテン30は磁性体で構成されている。スライダ部31には位置決めの対象物が載せられる。
【0017】浮揚手投32は、スライダ部31を格子プラテン30上に浮揚させる。スライダ部31の格子プラテン30と対向する面にはノズルが設けられていて、このノズルから浮揚手投32が圧縮空気を噴出させることによって、浮上力を得ている。スライダ部31と格子プラテン30の間をノズルから噴出した空気が流れることによって、エアベアリングを構成している。スライダ部31と格子プラテン30とのギャップは数十μm程度である。このように、この発明の実施形態では、圧縮空気を用いてスライダ部31を支持しているため、機械的支持部が不要になり、装置を小型化できる。
【0018】Y軸モータ33は、スライダ部31に搭載され、コア331の格子プラテン30と対向する面にはY軸方向に一定ピッチで歯332が形成されている。Y軸モータ33は、歯332と格子プラテン30の歯301との間に磁気吸引力を生じさせてスライダ部をY軸方向に移動させる。コイル333はコア331に巻かれている。
【0019】X軸モータ34,35は、スライダ部31の中心に対して対称な位置にそれぞれ搭載されている。X軸モータ34,35は、コア341,351の格子プラテン30と対向する面にはX軸方向に一定ピッチで歯342,352が形成されている。X軸モータ34,35は、歯342,352と歯301との間に磁気吸引力を生じさせてスライダ部をX軸方向に移動させる。コイル343,353はコア341,351に巻かれている。
【0020】連結部材311,312は、Y軸モータ33とX軸モータ34,35とを連結する。
【0021】X軸ミラー36は、格子プラテン30の側面に装着され、Y軸方向に鏡面が形成されている。Y軸ミラー37は、格子プラテン30の側面に装着され、X軸方向に鏡面が形成されている。
【0022】Y軸センサ38は、Y軸モータ33に搭載されていて、スライダ部31のY軸方向の位置を検出する。Y軸センサ38は、Y軸ミラー37に光を照射し、その反射光を受け、光の干渉を利用してスライダ部31のY軸方向の位置を検出する干渉計である。
【0023】X軸センサ39,40は、X軸モータ34,35にそれぞれ搭載されていて、スライダ部31のX軸方向の位置をそれぞれ検出する。X軸センサ39,40は、X軸ミラー36に光を照射し、その反射光を受け、光の干渉を利用してスライダ部31のY軸方向の位置を検出する干渉計である。このように、この発明の実施形態では、位置センサとして干渉計を用いているため、機構部分を少なくし、装置を小型化できる。
【0024】Y軸制御部41は、Y軸センサ38の検出位置をもとにスライダ部31の位置をフイードバック制御する。X軸制御部42,43は、X軸センサ39,40の検出位置をもとにスライダ部31の位置をそれぞれフイードバック制御する。
【0025】補正手段44,45は、X軸制御部42,43についてそれぞれ設けられ、スライダ部31の位置とスライダ部31のヨーイングを除去するための補正量を対応させた補正テーブル46,47を保持している。補正手段44,45は、与えられた指令位置をもとに補正テーブル46,47から補正量を読み出し、読み出した補正量でX軸制御部42,43に与える指令位置を補正する。補正テーブル46,47のデータはキャリブレーションによって得たデータである。補正手段44,45は、X軸ミラー36とY軸ミラー37の機械的誤差による曲がりを補正するために設けられている。この発明の実施形態では、X軸ミラー36とY軸ミラー37の曲がりによる影響を除去して高精度な位置決めを実現できる。X軸ミラー36とY軸ミラー37の曲がりが位置検出に影響しない程度の曲がりであれば、補正手段44,45は設けなくてもよい。
【0026】図2はスライダ部31の格子プラテン30と対向する面の構成図である。図3は図2のA−A′部分の断面図である。これらの図ではX軸モータ34の例を示している。他のモータも同様な構成になっている。溝344は対向面に形成されている。ノズル345は溝344の中に形成されていて、浮揚手段32から供給された圧縮空気を噴出する。埋込部材346は歯342の凹部に埋め込まれている。埋込部材346は非磁性体の材料で構成されている。対向面にコーティングを施すことによって、歯342の凹部に埋込部材346を形成することができる。
【0027】ノズル345から噴出した圧縮空気は溝344に沿って流れ、圧縮空気の圧力によりコア341を浮揚させる。埋込部材346は歯342の凹部を伝わって圧縮空気が外に漏れることを防いでいる。
【0028】図4は図1の制御部の構成例を示した図である。図4ではX軸制御部42の例を示しているが、X軸制御部43とY軸制御部41も同様な構成になっている。図4で、フォトダイオードアレイ(PDAとする)420は、X軸センサ39にできた干渉縞の明暗を検出する。信号処理回路421はPDA420の検出信号に演算処理を行う。コンパレータ422,423は信号処理回路421の演算信号からA相パルスとB相パルスを生成する。
【0029】方向判別回路424は、A相パルスとB相パルスの位相関係からスライダ部31の移動方向を判別し、判別結果に応じてアップパルスまたはダウンパルスを発生する。アップダウンカウンタ425はアップパルスまたはダウンパルスに応じてアップカウントまたはダウンカウントを行う。アップダウンカウンタ425のカウントがスライダ部31の検出位置になる。初期状態ではX軸モータ34の各相コイルに既知電流を流したときにモータのロータとステータの歯の位相がどれだけずれるかが予め分っている。この時のアップダウンカウンタ425の値を基準値、例えば0に設定する。スライダ部31の移動に伴ってアップダウンカウンタ425は基準値からアップカウントまたはダウンカウントを行って位置を検出する。このようにしてインクリメンタル方式に位置検出をする。
【0030】減算器426は、位置指令値X0とアップダウンカウンタ425のカウントX1(検出位置)の偏差を求める。位置制御手投427は減算器426でとった偏差をもとにX軸モータ34を位置フイードバック制御するための制御信号を出力する。速度演算手投428はアップダウンカウンタ425のカウントX1 の変化速度からスライダ部31の移動速度を検出する。速度演算手投428は、例えばF/V変換器である。
【0031】減算器429は位置制御手段427の制御信号と速度演算手段428の偏差をとる。速度制御手段430は減算器429でとった偏差をもとにX軸モータ34を速度フイードバック制御するための制御信号を出力する。
【0032】sinテーブル431にはアップダウンカウンタ425のカウントとsin値が対応して格納されている。X軸モータ34が3相モータである場合は、アップダウンカウンタ425のカウントが与えられると、sinテーブル431からはsinθとsin(θ+120°)の値が読み出される。θはアップダウンカウンタ425のカウントに応じて変わる角度である。
【0033】マルチプライン・デジタル・アナログ変換器(MDAとする)432,433は、速度制御手段430によって得られた信号をアナログ入力信号、sinテーブル431から読み出したsinθとsin(θ+120°)の値をゲイン設定信号としてIsinθとIsin(θ+120°)なる電流指令値(Iは電流振幅)を出力する。ここで、2つの指令値の位相が120°ずれているのは、モータが3相モータであるためである。相数が異なる場合は位相ずれは他の値になる。
【0034】電流センサ434,435はX軸モータ34のコイルL1,L2に流れるコイルの電流を検出する。減算器436,437は、Isinθ及びIsin(θ+120°)と電流センサ434,435の偏差をそれぞれとる。パルス幅変調回路(PWM回路とする)438,439は電流センサ434,435でとった偏差をもとに、モータコイルの励磁電流をフイードバック制御するためのパルス幅変調信号(PWM信号とする)を生成して出力する。減算器440はPWM回路438,439のPWM信号を減算する。PWM回路441は減算器440の減算信号からPWM信号を生成する。駆動回路442は、ブリッジ形のインバータ回路であり、PWM回路438,439,441の3相のPWM信号をもとにX軸モータ34を駆動する。
【0035】図4の回路で、電源投入時に、X軸モータ34の各コイルに既知の電流を流し、モータのロータの歯とステータの歯を既知の位相関係に設定する。このようにして設定した位相関係を転流角の原点とする。このときのアップダウンカウンタ425のカウントを基準値、例えば0にする。以後、スライダ部31の移動に伴つてX軸センサ39の検出値が変わり、アップダウンカウンタ425のカウントが変化するのに応じて電流指令値Isinθ及びIsin(θ+120°)のθの値を変え、転流制御を行う。
【0036】図5は図1のセンサの構成例を示した図である。図1のY軸センサ38、X軸センサ39,40は同様な構成になっている。X軸センサ39を例に説明する。図5で、レーザ光源391はレーザ光を出射する。レーザ光源391の出射光の光路には、ミラー392,393、ハーフミラー394、備向ビームスプリッタ(PBSとする)395、λ/4板396、コーナーキューブ397が配置されている。
【0037】レーザ光源391から出た光には、ハーフミラー394、ミラー393、ミラー392、ハーフミラー394の経路で進み、図のa方向に進む光がある。この光を■の光とする。また、レーザ光源391から出た光には、ハーフミラー394、PBS395、λ/4板396、X軸ミラー36、λ/4板396、PBS395、コーナーキューブ397、λ/4板396、X軸ミラー36、λ/4板396、PBS395、ハーフミラー394の経路で進み、図のa方向に進む光がある。この光を■の光とする。
【0038】前述した■の光と■の光が干渉して干渉縞Sを作る。PDA398は干渉縞Sを検出する。PDA398は4個のフォトダイオード398A〜398Dからなる。4個のフォトダイオード398A〜398Dは干渉縞Sの1ピッチ内に配置されている。各フォトダイオード398A〜398DはP/4(Pは干渉縞のピッチ)ずつずらして配置されている。
【0039】減算器399は、(フォトダイオード398Aの検出信号)−(フォトダイオード398Cの検出信号)なる演算を行う。減算器400は、(フォトダイオード398Bの検出信号)−(フォトダイオード398Dの検出信号)なる演算を行う。減算器399,400で図4の信号処理回路421を構成している。
【0040】スライダ部31が移動すると干渉縞が図5のd−d′方向に動く。干渉縞が動くと各フォトダイオード398A〜398Dに当る干渉縞の明暗部分が動き、フォトダイオード398A〜398Dの検出値が変化する。これをもとにスライダ部31の位置を検出する。
【0041】干渉縞がd方向に移動したときは、フォトダイオードの出力VA 〜VD は次のとおりになる。
A=K[1+msin{x・2π/(λ/4)}〕+KnB=K〔1+mcos{x・2π/(λ/4)}〕+KnC=K[1−msin{x・2π/(λ/4)}〕+KnD=K[1−mcos{x・2π/(λ/4)}〕+Knx:検出対象の距離、K,m:係数、Kn:ノイズ成分【0042】減算器399,400の減算信号は次のとおりになる。
A−VC=2mKsin{x・2π/(λ/4)}VB−VD=2mKcos{x・2π/(λ/4)}減算の結果、外乱光により発生した直流のノイズ成分Knがキャンセルされる信号VA−VCとVB−VDが前述したA相パルスとB相パルスに変換される。干渉縞がd′方向に動いたときは、信号VA−VCとVB−VDの位相関係は逆転する。
【0043】図6は格子プラテン30上にスライダ部31を停止させる停止装置の構成図である。図6で、供給路50,51は、浮揚手段32に圧縮空気を供給するエアチューブである。噴出量調節手段52は、浮揚手段32が噴出する圧縮空気の噴出量を調節する電磁弁である。噴出量調節手段51は、エアチューブ50とエアチューブ51との間に設けられており、エアチューブ50,51を開閉する。制御手段53は、停止が必要な時に、磁気吸引力によってスライダ部31が格子プラテン30に吸着して停止するように、噴出量調節手段51に圧縮空気の噴出量を低下させるサーボドライバである。制御手段53は、電磁弁制御信号を出力して噴出量調節手段51を制御する。請求範囲の停止制御手段は、噴出量調節手段51と制御手段53とからなる。
【0044】図1の位置決め装置の動作を説明する。電源投入時に、X軸モータ34の各コイルに既知の電流を流し、スライダ部31を基準位置に位置決めする。基準位置からX軸方向及びY軸方向にスライダ部31が移動したときに、X軸センサ39,40及びY軸センサ38により2次元位置をインクリメンタル方式に検出する。
【0045】X軸ミラー36とY軸ミラー37の曲がりが位置検出に影響しないときは、補正手投44,45は設けられていない。このときは、X軸制御部42,43には同一の指令位置が与えられる。このため、X軸制御部42,43のフイードバック制御によりX軸モータ34,35はスライダ部31を等しいX軸位置に位置決めする。これによって、スライダ部31のヨーイングが除去される。
【0046】X軸ミラー36とY軸ミラー37の曲がりが位置検出に影響する場合について説明する。このときは、補正手投44,45は設けられている。位置決め動作を行う前にXYステージのキャリブレーションを行っておく。キャリブレーションにおいてスライダ部31を座標(X1,Y1)に位置決めしたときに、XYステージの機械的誤差等が原因でスライダ部31にヨーイングが発生し、X軸センサ39,40の検出値がそれぞれX1+△X1とX2−△X2であるとする。このときは、補正テーブル46には(X1,Y1)と−△X1を対応させて格納し、補正テーブル47には(X1,Y1)と+△X2を対応させて格納しておく。他の位置にもスライダ部31を位置決めして補正量を求める。このようにして補正テーブルを作成する。
【0047】実際の位置決め動作において、スライダ部31を座標(X1,Y1)に位置決めしたときに、補正手段44はX軸制御部42に与える指令位置を−△Xだけ補正し、補正手投45はX軸制御部43に与える指令位置を+△Xだけ補正する。これによって、スライダ部31のヨーイングが除去される。このようにしてミラー面の曲がりによるスライダ部31のθ軸方向の回転ずれが補正される。
【0048】次に、図6の停止動作を説明する。スライダ部31が走行するときに、このスライダ部31は圧縮空気によって、格子プラテン30上に浮揚した状態にある。このとき、圧縮空気による浮揚力は、磁気吸引力とスライダ部31の重量との合計である。通常、磁気吸引力は、スライダ部31の重量に比べて極めて大きいため、図6に示す天地が逆の状態であってもよい。スライダ部31の長さが、例えば170mmに対して、スライダ部31と格子プラテン30との間の隙間は10μm程度である。スライダ部31が走行するときにもこの隙間が保持される。また、モータの軸受け面と格子プラテン30の面精度は、隙間の数分の1である。
【0049】X軸モータ34,35及びY軸モータ33がサーボ制御状態であるときには、噴出量調節手段52は開いており、エアチューブ51を介して噴出量調節手段52に入った圧縮空気は、エアチューブ50を通って浮揚手段32に供給される。噴出量調節手段52の開閉は、サーボ制御を行う制御手段53が出力する電磁弁制御信号により制御される。
【0050】例えば、格子プラテン30上に異物が落下したり、スライダ部31にヨーイングが発生すると、図5に示す■の光(反射光)の光量が■の光(参照光)の光量(振幅値)に比べて低下して、X軸センサ39,40及びY軸センサ38が不具合を検出する。また、制御手段53は、上位コントローラからサーボ停止命令を受けることがある。制御手段53は、このような停止が必要な時に、電磁弁制御信号を噴出量調節手段52に出力し、噴出量調節手段52は、エアチューブ50とエアチューブ51との間を遮断する。このために、浮揚手段32へ供給される圧縮空気の圧力が急激に低下して、スライダ部31は、格子プラテン30と平行状態を保ったまま、モータコア(永久磁石)の磁気吸引力によって格子プラテン30と接触して吸着する。その結果、モータの軸受け面と格子プラテン30との間に生ずる摩擦力によって、スライダ部31は制動を受けて、僅かな時間で緊急停止する。
【0051】この発明の実施形態に係る位置決め装置には、以下に記載するような効果がある。
(1) この発明の実施形態では、停止が必要な時に、磁気吸引力によってスライダ部31が格子プラテン30に吸着して停止するように、制御手段53が噴出量調節手段52に圧縮空気の噴出量を低下させる。その結果、僅かな時間でスライダ部31が緊急停止するために、安全性を向上させることができる。
【0052】(2) この発明の実施形態では、浮揚手段32に圧縮空気を供給するエアチューブ50とエアチューブ51との間を噴出量調節手段52が開閉するので、噴出量調節手段52として電磁弁などを付加するだけで、非常に高性能なブレーキ機能を実現することができる。
【0053】この発明は、以上説明した実施形態に限定するものではなく、種々の変形又は変更が可能であり、これらもこの発明の範囲内である。例えば、位置決め対象物の1次元位置を位置決めする場合についても、この発明を適用することができる。また、噴出量調節手段52は圧縮空気の供給を完全に遮断せずに、スライダ部31と格子プラテン30とが吸着するまで、エアの供給量を低下させるだけでもよい。さらに、X軸ミラー36及びY軸ミラー37をスライダ部31に搭載し、X軸センサ39,40とY軸センサ38を格子プラテン30側に固定してもよい。
【0054】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によると、停止が必要な時に、磁気吸引力によって移動体が固定体に吸着して停止するように、浮揚手段への気体の噴出量を調節するので、固定体に対して移動体を確実に停止させて、安全性を向上させることができる。




 

 


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