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番号 発明の名称
1 波面形状の測定方法及び波面形状測定装置
2 斜入射干渉計
3 反射防止膜及び光学素子
4 焦点検出装置
5 焦点検出装置
6 樹脂接合型光学素子とその製造方法
7 ズームレンズ
8 可変焦点距離レンズ系
9 回折素子および回折格子アレー
10 パターン位置測定装置
11 自動測量システム
12 オートフォーカス/マニュアルフォーカス切り替え可能な光学機器
13 焦点検出装置
14 可変焦点距離レンズ系及び該レンズ系を備える撮像装置
15 顕微鏡
16 正立顕微鏡
17 正立顕微鏡
18 コンパス付き双眼鏡
19 表示装置
20 測定方法及び測定装置及び研磨方法及び研磨装置
21 面形状測定装置
22 モノクロメータシステム
23 半導体装置
24 焦点検出装置
25 透過照明型微分干渉顕微鏡
26 顕微鏡の焦準装置
27 干渉顕微鏡
28 光学式位置検出装置
29 反射屈折光学系及び該光学系を備える投影露光装置
30 非球面眼鏡レンズ
31 非球面眼鏡レンズ
32 光学部品の保持構造
33 心だし機構、心だしレボルバ及び顕微鏡
34 情報伝送路切換装置
35 欠陥検出方法および装置
36 形状検査装置
37 測量装置
38 測量装置
39 放射検出装置
40 顕微鏡用の焦点検出装置
41 焦点検出光学系
42 ズームレンズ
43 電動レボルバ及び電動レボルバを備えた顕微鏡
44 高精度微調整機能を備えた光学装置
45 落射照明装置
46 顕微鏡の標本ホルダ
47 投影光学系及びそれを備えた投影露光装置並びにデバイス製造方法
48 マイクロマシン、およびその製造方法
49 光学装置の組立方法とこれを用いた露光装置の組立方法、および光学装置の組立装置とこれを用いた露光装置の組立装置
50 レーザ顕微鏡及びその操作方法
51 顕微鏡及び記録媒体
52 パターン情報測定装置
53 位置計測方法及び位置計測装置、並びに露光方法及び露光装置
54 干渉計測のドリフト成分抽出方法
55 部品の保持装置
56 双眼鏡筒
57 光学部材切り換え装置
58 倒立顕微鏡
59 接眼レンズ
60 干渉計
61 波面収差測定装置
62 防曇性皮膜および光学部品
63 反射防止膜及び光学素子
64 反射鏡
65 光学薄膜及び光学素子及び光学装置
66 分散支持体および半径方向屈曲部を備えた運動学的レンズ取付機構及びレンズを保持するための構造体の組立方法
67 焦点検出装置及び制御装置及びそれを用いたカメラ
68 顕微鏡用光源装置
69 光学部材切換装置
70 ネジ無し丁番を有する眼鏡
71 傾き許容範囲外警告装置付き測量機
72 応力測定装置及び応力測定方法
73 顕微鏡のフォーカス装置
74 ズームレンズ
75 走査型共焦点顕微鏡
76 顕微鏡装置
77 顕微鏡のステージ
78 投射型表示装置
79 光変調装置、光源装置、及び露光装置
80 レンズの測定装置およびレンズの測定方法
81 走査型光学顕微鏡
82 光学素子のレーザ耐久性評価方法、光学素子のレーザ耐久性評価装置及び露光装置
83 光学素子のレーザー耐久性評価装置、光学素子のレーザー耐久性評価方法及び露光装置
84 接眼レンズ
85 基板支持装置および基板処理装置
86 画像測定装置
87 走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー及び走査型プローブ顕微鏡
88 走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー及びその製造方法、並びに走査型プローブ顕微鏡及び表面電荷測定顕微鏡
89 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
90 反射防止膜
91 ズームレンズ鏡筒およびズームレンズ鏡筒用カム機構
92 レーザー走査顕微鏡装置
93 レーザ顕微鏡及び共焦点型レーザ走査顕微鏡
94 双眼鏡筒を有する顕微鏡
95 視線方向ガイド付き望遠鏡
96 ズームレンズ
97 可変焦点距離レンズ系
98 レーザ顕微鏡及び共焦点型レーザ走査顕微鏡
99 顕微鏡
100 倒立顕微鏡

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