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番号 発明の名称
1 磁気軸受式ターボ分子ポンプ
2 回転機械
3 試料冷却装置
4 電動式ターボ機械
5 歯車ポンプまたはモータ
6 ターボ分子ポンプ
7 液圧装置
8 パイロットチェック弁
9 真空ポンプ
10 ノーバック装置
11 動力伝達装置
12 冷却システム
13 ターボ分子ポンプ
14 多連バルブ装置
15 磁気浮上装置の制御装置
16 冷却システム
17 液圧装置
18 ターボ分子ポンプ
19 ターボ分子ポンプ
20 磁気浮上装置の制御装置および磁気浮上式ターボ分子ポンプ
21 ガスタービン装置
22 アキシャルピストンポンプ又はモータ
23 歯車ポンプまたはモータ
24 電動ターボ機械
25 移動体の冷却装置
26 反応性液体送液装置
27 多連歯車ポンプ/モータ
28 真空ポンプ
29 ターボ形ドライポンプ
30 磁気軸受装置
31 加圧装置および液晶注入装置
32 ターボ形回転機器
33 ターボ形ドライポンプ
34 ターボ形ドライポンプ
35 弁ユニット及びそれを用いた送液ポンプ
36 斜軸式可変容量ピストンポンプ又はモータ
37 油圧装置
38 エアサイクルマシン及びこれを利用した空調システム
39 ターボ分子ポンプ
40 磁気軸受装置
41 ターボ分子ポンプ
42 冷却システム
43 ガス冷却装置
44 ターボ分子ポンプ
45 ロック・アクチュエータ
46 ターボ型真空機器
47 高速回転機器
48 空気清浄機
49 アクチュエータ
50 歯車ポンプ
51 ターボ翼車
52 温度調整装置

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