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発明の名称 ファンフィルターユニット
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開2001−116310(P2001−116310A)
公開日 平成13年4月27日(2001.4.27)
出願番号 特願平11−289567
出願日 平成11年10月12日(1999.10.12)
代理人 【識別番号】100097445
【弁理士】
【氏名又は名称】岩橋 文雄 (外2名)
【テーマコード(参考)】
3L051
3L058
4D058
【Fターム(参考)】
3L051 BA01 BC10 
3L058 BE02 BF01 BF06 BG01 BG02
4D058 JA14 QA01 QA17 QA21 SA04 UA18
発明者 杉本 洋介
要約 目的


構成
特許請求の範囲
【請求項1】 開口したケースの下方に装着した空気を濾過清浄するフィルターと、前記ケースの天板内側に設けた送風機と、前記フィルターと前記送風機の間に設けたチャンバーと、前記チャンバー内部の下流側に多孔板からなる拡散板を備えたファンフィルターユニット。
【請求項2】 拡散板はフィルターとの間隔を5ないし10mmとした請求項1記載のファンフィルターユニット。
【請求項3】 ケースと天板の内面に多孔質の吸音材を備えた請求項1または2記載のファンフィルターユニット。
発明の詳細な説明
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場、食品工場などの清浄空間を必要とするクリーンルームで使用されるファンフィルターユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のファンフィルターユニットは、図3に示すように、チャンバー101に空気を送り込むための送風機102と、この送風機102を覆うケーシング103が配置されており、空気を濾過清浄するフィルター104を備え、送風機102より送り込まれた空気が、フィルター104を通過して清浄空気となって吹き出すものが一般的であった。また、特開平6−159752号公報には、騒音防止のためにチャンバー内部全体に消音材を貼りめぐらすものが示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このような従来のファンフィルターユニットでは、ファンから吹き出した空気がフィルターに対して不均一に拡散し、フィルターから吹き出す空気の風速が速い部分と遅い部分の差が大きくなり、その風速分布がばらつくことから濾過効率や寿命の低下という課題があった。
【0004】また、ファンによる発生騒音を遮断、吸音するためにチャンバー内部全体に消音材を貼りつけることも費用が大きいという課題があった。
【0005】本発明は、上記課題を解決するもので、簡単な拡散板を用いてフィルター通過風速の分布を均一化するファンフィルターユニットを提供することを第1の目的としている。
【0006】第2の目的は、送風機の吸込み側に吸音材を配置する簡易な構成で、発生騒音の伝播をより一層抑制することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明のファンフィルターユニットは上記目的を達成するために、開口したケースの下方に装着した空気を濾過清浄するフィルターと、ケースの天板内側に設けた送風機と、フィルターと送風機の間に設けたチャンバーと、チャンバー内部の下流側に多孔板からなる拡散板をフィルターとの間隔を所定間隔となるよう設けたものである。
【0008】本発明によれば、簡単な拡散板を用いてフィルター通過風速の分布を均一化することができるファンフィルターユニットが得られる。また他の手段は、ケースと天板の内面に多孔質の吸音材を備えたもので、簡易な構成で発生騒音の伝播をより一層抑制することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明は、ケースの天板内側の送風機下流に空気を濾過清浄するフィルターを設け、フィルターと送風機の間のチャンバー内部下流側に多孔板からなる拡散板をフィルターとの間隔を5ないし10mmとなるよう設けたものであり、拡散板が送風機の気流を均等に分散整流するという作用を有する。
【0010】また、ケースと天井の内面に多孔質の吸音材を備えたものであり、送風機の吸込み側より放散される吸込み気流や電動機の発生騒音を吸音材によって吸収するという作用を有する。
【0011】以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【0012】
【実施例】図1に示すように、ファンフィルターユニットの主要部は下方を開口したケース1に上流から、送風機2と、チャンバー3と、フィルター4の順に配置構成されている。そしてチャンバー3内の下流側でフィルター4の面と並行に5ないし10mmの間隔を置いた位置に、パンチングメタル材の拡散板5を備えている。この拡散板5は送風機2の吹出口より大きい面積を有し、パンチング孔の開孔率は40%としている。拡散板をフィルターとの間隔Lを5ないし10mmに設定するのは図2に示すように実験の結果である。また、送風機2は電動機2aに直結したファン2bを有し、チャンバー3内部の天板6に支柱7によって固定され、ケース1の送風機2に対する内面および天板6の内面には多孔質の吸音材8を貼りつけている。
【0013】上記構成において、送風機2から送られる気流は拡散板5のパンチング孔により均等に分散整流されて適切な流速でフィルター4の全面に入り、均等に気流中の塵埃を補足することで、集塵効率をあげ且つ濾材の寿命を延ばす効果がある。さらに、送風機2の回転や吸気流による発生騒音は、簡易な構成で遮音、吸音することができる。
【0014】
【発明の効果】以上の実施例から明らかなように本発明によれば、フィルターの上流に所定間隔で拡散板を設けて気流の分散整流することで、集塵効率をあげ且つ濾材の寿命を延ばすという効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。
【0015】また、簡易な吸音材の貼付構成で、吸込み気流や電動機の発生騒音を全体に抑制できるという効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。




 

 


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