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発明の名称 トレイの段積取り扱い方法と装置
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開2001−171840(P2001−171840A)
公開日 平成13年6月26日(2001.6.26)
出願番号 特願平11−363592
出願日 平成11年12月22日(1999.12.22)
代理人 【識別番号】100080827
【弁理士】
【氏名又は名称】石原 勝
発明者 今西 誠 / 前 貴晴 / 片野 良一郎 / 高橋 健治 / 金山 真司
要約 目的


構成
特許請求の範囲
【請求項1】 水平方向の移動と上下動を行うトレイステージによりトレイを受載して持ち運び取り扱うのに、トレイを段積状態に収納して下方から順次トレイステージによる取り扱いに供し、またはトレイステージが持ち運んでくるトレイを下方から順次受け入れて段積状態に収納する、トレイの段積取り扱い方法であって、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れて収納するトレイ段積取り扱い部に、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れ段積状態に収納するトレイ段積取り扱いカートリッジを着脱できるように装着し、装着したトレイ段積取り扱いカートリッジにより前記トレイの供給または収納を行うことを特徴とするトレイの段積取り扱い方法。
【請求項2】 水平方向の移動と上下動を行うトレイステージによりトレイを受載して持ち運び取り扱うのに、トレイを段積状態に収納して下方から順次トレイステージによる取り扱いに供し、またはトレイステージが持ち運んでくるトレイを下方から順次受け入れて段積状態に収納する、トレイの段積取り扱い方法であって、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れて収納するトレイ段積取り扱い部において、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れ段積状態に収納する、トレイ段積取り扱いカートリッジの、トレイの種類に対応した複数種類につき、その時々に取り扱うトレイの種類に対応したものを選択して着脱できるように装着し、前記トレイの供給または収納を行うことを特徴とするトレイの段積取り扱い方法。
【請求項3】 部品入りまたは空のトレイを段積状態に収納して下方から順次供給する第1のトレイ段積取り扱い部で供給されるトレイを受載して水平方向の移動と上下動を行うトレイステージにより部品供給位置または部品受け入れ位置に持ち運んで、トレイに収容している部品を使用や加工に供し、または持ち運ばれてきた部品の収容に供した後、供給し終えて空になったトレイまたは収容を終えたトレイを、下方から順次受け入れトレイを段積状態に収納する第2のトレイ段積取り扱い部にまで持ち運んでそれに収納することを繰り返すトレイの段積取り扱い方法であって、第1のトレイ段積取り扱い部にトレイを段積状態に収納して供給する第1のトレイ段積取り扱いカートリッジを着脱できるように装着してトレイの前記供給を行い、第2のトレイ段積取り扱い部にトレイを受け入れ段積状態に収納する第2のトレイ段積取り扱いカートリッジを着脱できるように装着してトレイの収納を行うことを特徴とするトレイの段積取り扱い方法。
【請求項4】 第1のトレイ段積取り扱い部でのトレイの段積レベルと、第2のトレイ段積取り扱い部でのトレイの段積レベルとのバランスから、トラブルの有無を判定する請求項3に記載のトレイの段積取り扱い方法。
【請求項5】 トレイ段積取り扱いカートリッジの下部にあって、トレイを供給しまたは受け入れるように開き、また段積状態に支持するように閉じる開閉部を、トレイステージの側にあるアクチュエータによって、トレイステージがトレイ段積取り扱いカートリッジとトレイを授受するタイミングに合わせて開閉する請求項1〜4のいずれか1項に記載のトレイの段積取り扱い方法。
【請求項6】 トレイを段積状態に収納して下方から順次供給し、またはトレイを下方から順次受け入れて段積状態に収納する、トレイ段積取り扱い部と、水平方向の移動と上下動を行い、トレイ段積取り扱い部から供給されるトレイを受載して持ち運んで取り扱い、または受載しているトレイをトレイ段積取り扱い部に収納するトレイステージとを備えたトレイの段積取り扱い装置であって、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れ段積状態に収納するトレイ段積取り扱いカートリッジを組み合わせ備え、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れて収納するトレイ段積取り扱い部は、前記トレイ段積取り扱いカートリッジを着脱できるように装着する装着部を有したことを特徴とするトレイの段積取り扱い装置。
【請求項7】 トレイを段積状態に収納して下方から1枚ずつ供給し、またはトレイを下方から受け入れて段積状態に収納する、トレイ段積取り扱い部と、水平方向の移動と上下動を行い、トレイ段積取り扱い部から供給されるトレイを受載して持ち運んで取り扱い、または受載しているトレイをトレイ段積取り扱い部に収納するトレイステージとを備えたトレイの段積取り扱い装置であって、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れ段積状態に収納するトレイ段積取り扱いカートリッジを取り扱うトレイの種類に対応した複数種類組み合わせ備え、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れて収納するトレイ段積取り扱い部は、その時々に取り扱うトレイの種類に対応したトレイ段積取り扱いカートリッジを選択して着脱できるように装着する装着部を有したことを特徴とするトレイの段積取り扱い装置。
【請求項8】 トレイを段積状態に収納して下方から順次供給する第1のトレイ段積取り扱い部と、トレイを下方から順次受け入れて段積状態に収納する第2のトレイ段積取り扱い部と、水平方向の移動と上下動を行い、第1のトレイ段積取り扱い部からのトレイを受載し、それを部品供給位置に持ち運んでトレイに収容している部品を使用や加工に供し、または部品受け入れ位置に持ち運んで空のトレイに部品を受け入れた後、空になった、または満杯になったトレイを第2のトレイ段積取り扱い部にまで持ち運んでそれに収納するトレイステージとを備えたトレイの段積取り扱い装置であって、トレイを段積状態に収納して下方から供給する第1のトレイ段積取り扱いカートリッジと、トレイを下方から受け入れて段積状態に収納する第2のトレイ段積取り扱いカートリッジとを備え、第1のトレイ段積取り扱い部に第1のトレイ段積取り扱いカートリッジを着脱できるように装着する装着部を設け、第2のトレイ段積取り扱い部に第2のトレイ段積取り扱いカートリッジを着脱できるように装着する装着部を設けたことを特徴とするトレイの段積取り扱い装置。
【請求項9】 第1のトレイ段積取り扱い部でのトレイの空または満杯を検出する第1の検出手段と、第2のトレイ段積取り扱い部でのトレイの満杯または空を検出する第2の検出手段と、第1、第2の検出手段の各検出結果から、トラブルの有無を判定する判定手段とを備えた請求項8に記載のトレイの段積取り扱い装置。
【請求項10】 トレイ段積取り扱いカートリッジの下部にあって、トレイを供給または受け入れられるように開き、また段積状態に支持するように閉じる開閉部と、トレイステージの側に設けられて、トレイステージがトレイ段積取り扱いカートリッジとの間でトレイを授受するタイミングに合わせて前記開閉部を開閉するアクチュエータとを備えた請求項6〜9のいずれか1項に記載のトレイの段積取り扱い装置。
【請求項11】 トレイ段積取り扱いカートリッジは、前部が開放されており、その開放縁に段積状態に収納されるトレイの前辺の端部を案内するガイド部材を設けた請求項6〜10のいずれか1項に記載のトレイの段積取り扱い装置。
【請求項12】 ガイド部材はトレイを受け入れて段積状態に収納するトレイ段積取り扱いカートリッジに設けられている請求項11に記載のトレイの段積取り扱い装置。
【請求項13】 受け入れるトレイは空のトレイである請求項12に記載のトレイの段積取り扱い装置。
発明の詳細な説明
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はトレイの段積取り扱い方法と装置に関し、例えば、複数の部品をトレイに収容してそれらを各種の加工や他への装着に供するために、トレイを段積状態にして、あるいは段積状態にしながら取り扱う場合に利用される。
【0002】
【従来の技術】集積回路を持った半導体素子いわゆるICチップや異形なコネクタなどの各種電子部品は、回路基板に仮装着したり実装したりする作業機や、半導体ウエハをダイシングして個々の半導体素子に切り離したものを、その半導体素子に設けられた電極に回路基板の電極や導体ランドとの電気的接続や金属接合を図る金属バンプを形成したりする前作業機において、自動的に高速に取り扱われる。前記作業機や前作業機に電子部品を供給したり、前記前作業機で必要な前作業を受けた電子部品を次の作業に供したりするための1つの荷姿として、電子部品をトレイの一方向、あるいは縦横に並ぶ凹部に収容して一括に取り扱えるようにすることが従来から行われている。
【0003】トレイはまた、収容した電子部品を供給したり、供給し終えた空のトレイを処理したりするのに、段積状態にして多数をかさ低くして効率よく取り扱われるようにしている。具体的には、本発明の実施の形態を示す図13、図14を参照して説明すると、ボンディング装置Cにおいて、水平方向の移動と上下動を行うトレイステージ38により、部品入りのトレイ35を段積状態に収納して下方から1枚ずつ供給する第1のトレイ段積取り扱い部36で供給され受載したトレイ35を部品供給位置Dに持ち運んで、トレイ35に収容している部品を使用や加工に供し、空になったトレイ35を下方から受け入れて段積状態に収納する第2のトレイ段積取り扱い部37にまで持ち運んでそれに収納することを繰り返すようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、トレイ35を段積状態にして取り扱う第1、第2のトレイ段積取り扱い部36、37は、ボンディング装置C上の所定の位置に固定して設けられている。従って、トレイ段積取り扱い部36では部品を収納したトレイ35を供給するのに、部品を収納したトレイ35を多数他の場所から持ち運んできて、それらが段積状態になるように手作業で収納する必要があるし、空になったトレイ35を受け入れて段積状態に収納するのに、満杯になる都度それを手作業で取り出して他へ移す必要がある。
【0005】トレイ35は段積状態で人が持ち運べばよいが、図4に示すようにトレイ35のかさ張りを抑えるのに半導体素子1を収容する凹部35aは半導体素子1の厚みを若干上回る程度でしかなく互いの嵌り合いはそう深くなく、トレイ35を段積するための図4に便宜上示した互いの嵌り合いも十分取れず浅いので、それらを段積状態で人が持ち運んだり、第1、第2のトレイ段積取り扱い部36、37に出し入れしたりするのは容易でない。特に、部品を収容しているトレイ35の取り扱いは、万一における部品の凹部からの飛び出しやトレイ35からの脱落を防止するには注意と取り扱いの丁寧さが必要で、作業速度は勢い低下し、ボンディング装置Cなどの作業機を休止させる時間が長くなる。電子部品が微小化、薄型化、軽量化し、トレイ35が小型化、薄型化、軽量化して安定度が低下しているなか、近時のさらなる高速化、生産性向上の要求に応えにくくなっている。
【0006】第2のトレイ段積取り扱い部37では空のトレイ35を取り出して持ち運べばよいので、トレイ段積取り扱い部36の場合よりは比較的ラフにトレイ35を取り扱える上、第2のトレイ段積取り扱い部37の前部を開放して段積状態に収納したトレイ35を抜き出しやすくしているので、能率よく作業することはできる。しかし、トレイ段積取り扱い部37に受け入れ段積状態に収納するトレイ35は部品を収容していないために、より軽量でしかもトレイステージ38により自動的に収納されるのを段積にしていく関係から、トレイ35の位置ずれや嵌め合い不良などにより段積状態が不安定になりやすく、前部の開放部の側に傾いたり倒れ落ちたりすることがときとしてある。段積状態のトレイ35が傾いた場合でもこれを手作業で矯正しながら取り出すことになるので、作業時間は延びるし、万一倒れ落ちたような場合は乱れたり落ちたりしたものを整理し直したり拾い集めたりしながら全数を段積状態に戻してから取り扱うことになるので、第1のトレイ段積取り扱い部36の場合よりも長い時間掛かることも多々生じる。
【0007】ボンディング装置Cなどの作業機は、特定のサイズのトレイ35を専用に取り扱うことは少なく、取り扱う部品の種類などによって取り扱うトレイ35のサイズが異なることがある。従来、これに対応するのに、取り扱うトレイ35のサイズが異なる都度、第1第2のトレイ段積取り扱い部36、37の複雑な組み立て構造をいちいち分解して、必要なサイズのトレイ段積取り扱い部36、37を組み立て直す作業をしているので、これも、品種換えのために長い時間が掛かって作業能率、生産性の向上の上で問題である。
【0008】本発明の目的は、トレイを段積状態で取り扱うのに作業能率、生産性の向上が図れるトレイの段積取り扱い方法と装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するために、本発明のトレイの段積取り扱い方法は、水平方向の移動と上下動を行うトレイステージによりトレイを受載して持ち運び取り扱うのに、トレイを段積状態に収納して下方から順次トレイステージによる取り扱いに供し、またはトレイステージが持ち運んでくるトレイを下方から順次受け入れて段積状態に収納する、トレイの段積取り扱い方法であって、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れて収納するトレイ段積取り扱い部に、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れ段積状態に収納するトレイ段積取り扱いカートリッジを着脱できるように装着し、装着したトレイ段積取り扱いカートリッジにより前記トレイの供給または収納を行うことを1つの特徴としている。
【0010】このような構成では、トレイを段積状態に収納して下方から順次トレイステージの水平移動および上下動による取り扱いに供し、またはトレイステージが持ち運んでくるトレイを下方から順次受け入れて段積状態に収納するのに、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れて段積状態に収納するトレイ段積取り扱い部では、そこに着脱できるトレイ段積取り扱いカートリッジにより、それに収容している段積状態のトレイをトレイステージに供給し、または、トレイステージが持ち運んでくるトレイを段積状態に収納するので、トレイをトレイ段積取り扱いカートリッジに段積状態に収納したまま、トレイ段積取り扱い部から独立して一括に取り扱い、トレイに部品が収納されていても安定して迅速に持ち運べるのに加え、トレイをトレイステージに供給するトレイ段積取り扱い部に容易かつ迅速に一括挿入してトレイの供給ができるようになるし、トレイステージからのトレイを段積状態に収納するトレイ段積取り扱い部で満杯になったのを、容易かつ迅速に一括して取り出せるので、作業能率および生産性の向上に寄与することができる。しかも、取り扱い中でのトレイやそれに収容した部品などの位置ずれ、飛び出し、脱落などを防止してそれらの安全が図れる。
【0011】このような方法は、トレイを段積状態に収納して下方から順次供給し、またはトレイを下方から順次受け入れて段積状態に収納する、トレイ段積取り扱い部と、水平方向の移動と上下動を行い、トレイ段積取り扱い部から供給されるトレイを受載して持ち運んで取り扱い、または受載しているトレイをトレイ段積取り扱い部に収納するトレイステージとを備えたものにおいて、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れ段積状態に収納するトレイ段積取り扱いカートリッジを組み合わせ備え、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れて収納するトレイ段積取り扱い部は、前記トレイ段積取り扱いカートリッジを着脱できるように装着する装着部を有したトレイの段積取り扱い装置によって達成される。
【0012】本発明のトレイの段積取り扱い方法は、また、水平方向の移動と上下動を行うトレイステージによりトレイを受載して持ち運び取り扱うのに、トレイを段積状態に収納して下方から順次トレイステージによる取り扱いに供し、またはトレイステージが持ち運んでくるトレイを下方から順次受け入れて段積状態に収納する、トレイの段積取り扱い方法であって、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れて収納するトレイ段積取り扱い部において、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れ段積状態に収納する、トレイ段積取り扱いカートリッジの、トレイの種類に対応した複数種類につき、その時々に取り扱うトレイの種類に対応したものを選択して着脱できるように装着し、前記トレイの供給または収納を行うことを別の特徴としている。
【0013】このような構成では、トレイ段積取り扱い部でのトレイ段積取り扱いカートリッジの使用によって、上記1つの特徴の発明と同様な作用効果を発揮するのに併せ、トレイの種類に対応した複数種類のトレイ段積取り扱いカートリッジが、その時々に取り扱うトレイの種類に対応したものを選択して着脱できるように装着し使用するとともに、使用後は取り外して元に復するか必要な他のものと交換したりして、トレイ段積取り扱い部の分解などなく容易かつ迅速に品種替えに対応することができ、作業能率、生産性の向上に寄与することができる。
【0014】このような方法は、トレイを段積状態に収納して下方から順次供給し、またはトレイを下方から順次受け入れて段積状態に収納する、トレイ段積取り扱い部と、水平方向の移動と上下動を行い、トレイ段積取り扱い部から供給されるトレイを受載して持ち運んで取り扱い、または受載しているトレイをトレイ段積取り扱い部に収納するトレイステージとを備えたものにおいて、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れ段積状態に収納するトレイ段積取り扱いカートリッジを取り扱うトレイの種類に対応した複数種類組み合わせ備え、トレイを段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れて収納するトレイ段積取り扱い部が、その時々に取り扱うトレイの種類に対応したトレイ段積取り扱いカートリッジを選択して着脱できるように装着する装着部を有したトレイの段積取り扱い装置によって達成することができる。
【0015】本発明のトレイ段積取り扱い方法は、さらに、部品入りまたは空のトレイを段積状態に収納して下方から順次供給する第1のトレイ段積取り扱い部で供給されるトレイを受載して水平方向の移動と上下動を行うトレイステージにより部品供給位置または部品受け入れ位置に持ち運んで、トレイに収容している部品を使用や加工に供し、または持ち運ばれてきた部品の収容に供した後、供給し終えて空になったトレイまたは収容を終えたトレイを、下方から順次受け入れトレイを段積状態に収納する第2のトレイ段積取り扱い部にまで持ち運んでそれに収納することを繰り返すトレイの段積取り扱い方法であって、第1のトレイ段積取り扱い部にトレイを段積状態に収納して供給する第1のトレイ段積取り扱いカートリッジを着脱できるように装着してトレイの前記供給を行い、第2のトレイ段積取り扱い部にトレイを受け入れ段積状態に収納する第2のトレイ段積取り扱いカートリッジを着脱できるように装着してトレイの収納を行うことを今1つの特徴としている。
【0016】このような構成では、トレイステージが水平方向の移動と上下動とにより、2種のトレイ段積取り扱い部を、トレイステージに部品を収容したトレイまたは空のトレイを供給する第1のものと、空のトレイまたは部品を収容したトレイを受け入れて段積状態に収納する第2のものとに使い分けて、第1のトレイ段積取り扱い部から部品を収容したトレイまたは空のトレイの供給を受けてそれを部品供給位置に持ち運んでその部品を使用や加工に供し、または部品受け入れ位置に持ち運んで持ち運ばれてくる部品の受け入れに供した後、部品を使用や加工に供し終えた空のトレイまたは部品を受け入れ終えたトレイを第2のトレイ段積取り扱い部に持ち運んで、それに受け入れられ段積状態に収納されるようにすることを繰り返し行って、多数の部品を能率よく取り扱って順次に確実に使用や加工に供したり、または収容したりしながら、トレイ段積取り扱い部でのトレイ段積取り扱いカートリッジの使用によって、部品を収容したトレイおよび空になったトレイの取り扱いにおいて上記1つの特徴の発明と同様な作用効果を発揮することができる。
【0017】このような方法は、トレイを段積状態に収納して下方から順次供給する第1のトレイ段積取り扱い部と、トレイを下方から順次受け入れて段積状態に収納する第2のトレイ段積取り扱い部と、水平方向の移動と上下動を行い、第1のトレイ段積取り扱い部からのトレイを受載して、それを部品供給位置に持ち運んでトレイに収容している部品を使用や加工に供し、または部品受け入れ位置に持ち運んで部品の収納に供した後、部品を供給し終えた空になったトレイまたは部品を受け入れ終えたトレイを第2のトレイ段積取り扱い部にまで持ち運んでそれに収納するトレイステージとを備えたものであって、トレイを段積状態に収納して下方から供給する第1のトレイ段積取り扱いカートリッジと、トレイを下方から受け入れて段積状態に収納する第2のトレイ段積取り扱いカートリッジとを備え、第1のトレイ段積取り扱い部に第1のトレイ段積取り扱いカートリッジを着脱できるように装着する装着部を設け、第2のトレイ段積取り扱い部に第2のトレイ段積取り扱いカートリッジを着脱できるように装着する装着部を設けたトレイの段積取り扱い装置によって達成される。
【0018】この今1つの特徴の方法において、さらに、第1のトレイ段積取り扱い部でのトレイの段積レベルと、第2のトレイ段積取り扱い部でのトレイの段積レベルとのバランスから、トラブルの有無を判定すると、第1、第2のトレイ段積取り扱い部でのトレイ供給によるトレイの減少と、トレイ受け入れによるトレイの増量とが常に一定の関係になるのを利用した、この関係がトレイの段積レベルつまり段積状態でのかさの関係において崩れているかどうかの判定で、トレイの脱落、トレイの浮き、トレイの嵌り合い不良などの段積レベルに影響するトラブルの有無を判定し対処することができる。
【0019】具体的には、第1のトレイ段積取り扱い部でのトレイの空を検出する第1の検出手段と、第2のトレイ段積取り扱い部でのトレイの満杯を検出する第2の検出手段と、第1、第2の検出手段の各検出結果から、トラブルの有無を判定する判定手段とを備えれば、トレイを供給し終わるときと収納し終わるときの空と満杯とに対応した段積レベルの検出結果の相関によってトラブルの有無を判定することができる。もっとも、上記判定は途中の段積状態での段積レベルを検出する検出手段を設けて、途中の段積レベルのバランスを判定するようにすることはできる。
【0020】上記各発明の方法において、さらに、トレイ段積取り扱いカートリッジの下部にあって、トレイを供給しまたは受け入れるように開き、また段積状態に支持するように閉じる開閉部を、トレイステージの側にあるアクチュエータによって、トレイステージがトレイ段積取り扱いカートリッジとトレイを授受するタイミングに合わせて開閉すると、トレイ段積取り扱いカートリッジごとにアクチュエータをもって個々に制御するような不便さが解消する。
【0021】具体的には、トレイ段積取り扱いカートリッジの下部にあって、トレイを供給または受け入れられるように開き、また段積状態に支持するように閉じる開閉部と、トレイステージの側に設けられて、トレイステージがトレイ段積取り扱いカートリッジとの間でトレイを授受するタイミングに合わせて開閉するアクチュエータとを備えることで達成される。
【0022】トレイ段積取り扱いカートリッジは、前部が開放されており、この開放縁に段積状態に収納されるトレイの前辺の端部を案内するガイド部材を設けたものであると、トレイ段積取り扱いカートリッジにトレイを段積収納しあるいは段積収納して取り扱うのに、前部の開放形態を利用した段積トレイの一括把持による収納や取り出しを容易にしながら、開放部側に段積状態のトレイが傾いたり、倒れたりするようなことを解消することができる。
【0023】ガイド部材はトレイを受け入れて段積状態に収納するトレイ段積取り扱いカートリッジに設けられていると、このトレイ段積取り扱いカートリッジではトレイステージが持ち運んできたトレイを受け入れて自動的に収納し段積状態にする関係からトレイの位置ずれや嵌り合い不良などで段積状態が偏って傾いたりしやすいので、これを防止できるので好適である。この場合、トレイ段積取り扱いカートリッジに受け入れるトレイは空のトレイであると、この空のトレイは取り扱い上軽く不安定で特に傾いたりしやすいので、これを防止するのに特に有効である。
【0024】本発明のそれ以上の目的および特徴は、以下の詳細な説明および図面の記載によって明らかになる。本発明の各特徴は、可能な限りそれ単独で、あるいは種々な組み合わせで複合して用いることができる。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係るトレイの段積取り扱い方法と装置につき、図1〜図15を参照してその実施例とともに詳細に説明し、本発明の理解に供する。
【0026】本実施の形態は、集積回路を持った図4に示すような半導体素子1を作業対象であるワークとしてトレイ35の凹部35aに収納して取り扱い、半導体素子1の一面にある電極上に従来のバンプボンディング法により図4に便宜上示した金属バンプ3を形成する前作業に供した後、形成した金属バンプ3の高さを矯正するレベリング処理を行い、それを、再度トレイ35に収納して取り扱い、回路基板への仮装着や金属バンプ3と回路基板の電極や導体ランドなどとの摩擦による金属接合を図る実装といった後作業に供せるようにするボンディング装置Cにおいて、トレイ35を段積状態にして取り扱う場合の一例であり、図14にその全体構成を示してある。
【0027】これについて説明すると図14に示すボンディング装置Cは、上記金属バンプ3のレベリングを行うレベリング機構Bを機台31の上に設置し、その横に半導体素子1を位置決めおよび吸着して金属バンプ3を形成するボンディングステージ32を設け、これに、受載した半導体素子1をバンプボンディングのために加熱するヒータを内蔵しており、かつ前記位置決めのための位置規正機構33が付帯している。レベリング機構BはレベリングヘッドAとこれに対向するレベリング位置とこのレベリング位置から外れたワーク交換位置との間で移動されるレベリングステージ7とを有し、レベリングヘッドAはレベリングステージ7が半導体素子1を受載してレベリング位置に達する都度上方から半導体素子1の金属バンプ3を押圧して所定高さに矯正する。
【0028】ボンディングステージ32の上方にはそこに位置決めし吸着された半導体素子1の電極の上に、その位置の画像認識のもとに金属バンプ3を形成するボンディングヘッド34が設けられ、従来の方法と同様に金属ワイヤの先端にスパークによる金属ボールを形成し、それをキャピラリにて半導体素子1の電極上に押し付けながら加熱と超音波振動などにより金属どうしを摩擦接合させて後、接合された金属ボールから後続のワイヤを切断してバンプボンディンクを行うようにしている。
【0029】ボンディングステージ32の一方の横には、金属バンプ3が形成されていない半導体素子1を収容したトレイ35を多段に段積状態に収納してバンプボンディングのために供給する第1のトレイ段積取り扱い部36および半導体素子1の供給を終えた空のトレイ35を多段に段積状態に収納する第2のトレイ段積取り扱い部37が設けられている。これら第1、第2のトレイ段積取り扱い部36、37の部分からボンディングステージ32の近傍までの範囲に、図9〜図11に示すようなトレイステージ38が、X方向駆動シリンダ39bおよびY方向駆動シリンダ39cを持ったXY移動手段39により直交するXY2方向に移動され、かつ上下動手段39aによってXY移動手段39の上でZ方向に上下動されるように設けられている。
【0030】トレイステージ38は図13に■〜■に示すようにXY移動手段39および上下動手段39aと協働して、第1のトレイ段積取り扱い部36の下方から供給されるトレイ35を1枚下方に取り出し、それをボンディングステージ32の近くの部品供給位置Dに持ち運んで半導体素子1を供給し、供給し終わると空になったトレイ35を第2のトレイ段積取り扱い部37の下に持ち運んでそこに収納した後、第1のトレイ段積取り扱い部36に戻って次のトレイ35を取り出し、半導体素子1を供給することを繰り返す。
【0031】トレイステージ38による半導体素子1の部品供給位置とボンディングステージ32との間の上方には、ワーク取り扱いヘッド41がXY移動手段42により直交するXY2方向に移動されるように設けられている。ワーク取り扱いヘッド41は供給される半導体素子1を吸着や掴持して保持し上動することでピックアップし、ワーク取り扱いヘッド41の移動によりボンディングステージ32上の所定位置に持ち運んだとき下動して保持を解き移載することを繰り返し、多数の半導体素子1を順次に自動的に能率よく取り扱いボンディングステージ32上でのバンプボンディングに確実に供する。
【0032】ボンディングステージ32とレベリング機構Bのワーク交換位置との間にはワーク取り扱いヘッド43がXY移動手段44によって直交するXY2方向に移動されるように設けられ、ボンディングステージ32上の金属バンプ3が形成された半導体素子1を吸着や掴持して保持し上動することでピックアップし、ワーク取り扱いヘッド43の移動によりレベリング機構Bのワーク交換位置にあるレベリングステージ7の上に持ち運んだとき下動して保持を解き移載することを繰り返し、金属バンプ3が形成される多数の半導体素子1を順次に自動的に能率よく取り扱いレベリングステージ7上でのバンプ高さの矯正に連続して確実に供する。
【0033】レベリングステージ7のワーク交換位置の横には、空のトレイ35を多段に段積状態に収納してバンプ高さを矯正された半導体素子1の収納に供する第3のトレイ段積取り扱い部51と、バンプ高さ矯正後の半導体素子1を収納し終えたトレイ35を多段に段積状態に収納していく第4のトレイ段積取り扱い部52とが設けられ、第3、第4のトレイ段積取り扱い部51、52の下にも図12に示すようなトレイステージ61がX方向駆動シリンダ62bおよびY方向駆動シリンダ62cを持ちXY移動手段62により直交するXY2方向に移動され、かつ上下動手段62aによってXY移動手段62の上でZ方向に上下動されるように設けられている。
【0034】前記ワーク取り扱いヘッド43はXY移動手段44により移動されて、ワーク交換位置にあるレベリングステージ7上のバンプ高さ矯正後の半導体素子1をピックアップし、それを部品収納位置にあるトレイステージ61上に持ち運んで移載することにより収納することをも繰り返す。
【0035】トレイステージ61はXY移動手段62および上下動手段62aの協働により、図13に■〜■に示すように第3のトレイ段積取り扱い部51に段積状態に収納されて下方から供給される空のトレイ35を受載して部品受け入れ位置Eまで持ち運んで、ワーク取り扱いヘッド41によって持ち運ばれてくるバンプ高さ矯正後の半導体素子1の収納に供し、半導体素子1が満杯になったときそのトレイ35を第4のトレイ段積取り扱い部52に持ち運んでそこに下方から収納した後、第3のトレイ段積取り扱い部51に戻って空のトレイ35を受載し、バンプ高さ矯正後の半導体素子1の収納に供することを繰り返す。
【0036】第1、第2のトレイ段積取り扱い部36、37は図11に示すXY移動手段39の横にあるポール66の上端の取り付けフレーム67にボルト止めなどして設けられている。第3、第4のトレイ段積取り扱い部51、52は図12に示すXY移動手段62の横にあるポール66の上端の取り付けフレーム67にボルト止めなどして設けられている。
【0037】しかし、本発明は上記し図示したところのものに限定されることはなく、水平方向の移動と上下動を行うトレイステージ、およびトレイを段積状態に収納してトレイステージの取り扱いに供したり、あるいはトレイステージが持ち運んできたトレイを受け入れて段積状態に収納してその後の取り扱いに供したりする少なくとも一方のトレイ段積取り扱い部を用いて行う各種のトレイの段積取り扱い方法と装置に適用して有効であり、本発明の範疇に属する。
【0038】本実施の形態のトレイ段積取り扱い方法は、図1〜図4に示す実施例、図5、図6に示す実施例、図7、図8に示す実施例のように、トレイ35を段積状態に収納して下方から順次トレイステージ38、61による取り扱いに供し、またはトレイステージ38、61が持ち運んでくるトレイ35を下方から順次受け入れて段積状態に収納するのに、トレイ35を段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れて収納するトレイ段積取り扱い部36、37、51、52に、トレイ35を段積状態に収納して供給し、またはトレイ35を受け入れ段積状態に収納するトレイ段積取り扱いカートリッジ104、114、131を着脱できるように装着し、装着したトレイ段積取り扱いカートリッジ104、114、131により前記トレイ35の供給または収納を行う。これらトレイ段積取り扱いカートリッジ104、114、131には持ち運び用の取っ手116が設けられ、持ち運びに便利なようにしている。取っ手116の形態は自由に選択することができるし、必須のものではない。
【0039】このように、トレイ35を段積状態に収納して下方から順次トレイステージ38、61の水平移動および上下動による取り扱いに供し、またはトレイステージ38、61が持ち運んでくるトレイ35を下方から順次受け入れて段積状態に収納するのに、トレイ35を段積状態に収納して供給し、またはトレイ35を受け入れて段積状態に収納するトレイ段積取り扱い部36、37、51、52では、そこに着脱できるトレイ段積取り扱いカートリッジ104、114、131により、それに収容している段積状態のトレイ35をトレイステージ38、61に供給し、または、トレイステージ38、61が持ち運んでくるトレイを段積状態に収納するので、トレイ35をトレイ段積取り扱いカートリッジ104、114、131に段積状態に収納したまま、トレイ段積取り扱い部36、37、51、52から独立して一括に取り扱い、トレイ35に半導体素子1が収納されていても安定して迅速に持ち運べるのに加え、トレイ35をトレイステージ38、61に供給するトレイ段積取り扱い部36、51に容易かつ迅速に一括挿入してトレイ35の供給ができるようになるし、トレイステージ38、61からのトレイ35を受け入れて段積状態に収納するトレイ段積取り扱い部37、52で満杯になったのを、容易かつ迅速に一括して取り出せるので、作業能率および生産性の向上に寄与することができる。しかも、取り扱い中でのトレイ35やそれに収容した半導体素子1などの位置ずれ、飛び出し、脱落などを防止してそれらの安全が図れる。
【0040】このような方法を達成するのにボンディング装置Cは、トレイ35を受け入れ段積状態に収納するトレイ段積取り扱いカートリッジ104、114、131などを必要に応じて組み合わせ備え、トレイ35を段積状態に収納して供給し、またはトレイを受け入れて収納するトレイ段積取り扱い部36、37、51、52の必要なものに、前記組み合わせ備えたトレイ段積取り扱いカートリッジ104、114、131などの使用するものを着脱できるように装着する装着部101を有したものとしている。
【0041】図1〜図4に示す実施例および図5、図6に示す実施例の装着部101は、トレイ段積取り扱いカートリッジ104、114を上方から抜き差しできるようにした枠部材であり、上記したフレーム67にねじ止めなどして固定されている。図1〜図4に示す実施例の装着部101は半導体素子1を収容したトレイ35を段積状態に収納する負荷の高いトレイ段積取り扱い部36、52に適した構成とし、枠状の本体101aの背部にそれより縦長に設けた取り付け部101bをフレーム67に取り付け、高い負荷に対応できるようにしている。図5、図6に示す実施例の装着部101は空のトレイ35を段積状態に収納する負荷の小さなトレイ段積取り扱い部37、51に適した構成とし、本体101aとほぼ同じ高さ寸法の取り付け部101bによりフレーム67に取り付け、極力かさ低く軽量なものとし、トレイ35の取り扱い作業の邪魔になりにくいようにしている。しかも、本体101aの前部にもガイド溝111に対応するガイド溝113を設け、このガイド溝113にトレイ段積取り扱いカートリッジ114を上方から抜き差して補助的な装着しておける装着部として利用されるようにしている。
【0042】図1〜図4および図5、図6に示す各実施例の装着部101は、枠状の本体101aにトレイ段積取り扱いカートリッジ104、114の全体を上方から着脱できるように受け入れ、必要な動作ができる余裕を与えながら、それらの背部に両側へ張り出すように設けた縦向きのガイド板105を、取り付け部101bの内面に設けたガイド溝102、111に上方から挿入することにより、トレイ段積取り扱いカートリッジ104、114を本体101aに対し前後左右に位置規正するようにしている。
【0043】トレイ段積取り扱いカートリッジ104の後ろ寄りの左右に設けられた外向きの突片104cのそれぞれに、高さ調節ねじ106と取り付けねじ107とが上方よりねじ込んで貫通するように設けられている。高さ調節ねじ106はトレイ段積取り扱いカートリッジ104が本体101aの上方から挿入されていくとき、本体101aの上面に図1に示すように当接してそれ以上挿入できなくすることで、トレイ段積取り扱いカートリッジ104の本体101aへの挿入高さを規正する。この規正する挿入高さは高さ調節ねじ106を突片104cへのねじ込み高さ、つまり突片104cから下方への突出量を変えることで調節することができる。トレイ段積取り扱いカートリッジ104が所定の挿入高さになると、取り付けねじ107を本体101aの上面に設けられたねじ穴103にねじ合わせて、突片104cを高さ調節ねじ106が本体101aとの間で突っ張らせるように締め付けることにより、トレイ段積取り扱いカートリッジ104を前記規正された挿入高さに固定することができ、半導体素子1を収容したトレイ35を位置ずれやガタツキなく収納保持して高精度に供給し、前記最下のトレイ35とその上のトレイ35との間の小さな隙間を利用した支持片64の進入による上下のトレイ35どうしの分離が確実に行われるようにする。
【0044】前記取り付けねじ107による固定はトレイ35の段積収納部をなすトレイ段積取り扱いカートリッジ104の全体を本体101aに対して着脱することを邪魔するものではない、左右2本の取り付けねじ107による取り付け、取り付け解除だけで着脱することができ、トレイ35の段積収納部をなすストッカ部を分解したり組み立てたりするような従来の作業とは異質であり極めて簡単である。しかし、トレイ段積取り扱いカートリッジ104の位置決め、取り付け構造は他の方法を採用することもできる。
【0045】トレイ段積取り扱いカートリッジ104は、その側板の下にトレイ35を下方から支持して段積収納させる支持片64が、スライドアーム65により開閉されて側板の内側に出没するように設けられている。トレイステージ38が下方から上動してきて収納しているトレイ35を下方より持ち上げたとき、支持片64が図4に示すように側板の外側に没した開き状態とされた後、トレイステージ38が下動することで、段積状態に収納されたトレイ35の最下段のものを1枚支持片64の下方に抜き出し、この状態で支持片64は側板の内側に突出する閉じ状態に戻されることで、抜き出された上のトレイ35の下に入り込んでそれ以上の段積状態のトレイ35を支持する状態に復帰し、トレイ35を1枚ずつ供給し取り出されるようにする。
【0046】スライドアーム65は図4に示すように、トレイ段積取り扱いカートリッジ104の背面にねじ止めなどして取り付けられるガイド68に沿って往復移動する左右のスライダ69に連結され、これらスライダ69間に働かせたばね71により前記支持片64を常時閉じ状態に保つように付勢されている。これに伴いトレイステージ38にはエアシリンダ73により上下動されるプッシャ72が設けられている。
【0047】トレイステージ38がトレイ段積取り扱いカートリッジ104に下方から進入して段積されているトレイ35を受載したとき、前記プッシャ72が上動されて左右のスライダ69の間に進入してそれらをカムフォロア69a、69aを介しばね71に抗して左右に押し退けることにより、スライドアーム65を介し支持片64を開き状態にする。これにより、トレイステージ38が下動してトレイ35を支持片64に邪魔されないで上記のように下に引き出せるようにする。トレイ35の1枚が支持片64の下に引き出された状態でプッシャ72は下動されて支持片64の開き操作を解除し、支持片64がばね71により再度閉じられてトレイステージ38、61により下方に引き出された1枚のトレイ35から上のトレイ35を再度支持する段積収納状態に復帰されるようにする。
【0048】なお、図15に示す実施例は、左右のスライダ69をトグルタイプのリンク141a、141bで連結し、その連結部141cをプッシャ72が押動することにより支持片64を開き状態にし、押動を解除することにより閉じ状態に戻せるようにしてある。これによると、プッシャ72は一箇所を押動するだけでよいので、押動位置が左右に振れても特に問題とならない。他の構造および奏する作用は図4に示す場合と変わるところはなく共通する部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
【0049】トレイ段積取り扱いカートリッジ114の背部中央に設けられた外向きの突片114cに取り付けねじ119が上方からねじ込んで貫通するように設けられている。トレイ段積取り扱いカートリッジ114が本体101aの上方から挿入されていくとき、突片114cがフレーム67に取り付けられた高さ規正ブロック112に当接することによりそれ以上の挿入を阻止され、挿入高さが規正される。この状態で取り付けねじ119を高さ規正ブロック112にあるねじ穴112aにねじ込んで突片114cを高さ規正ブロック112に締め付けることによりトレイ段積取り扱いカートリッジ114を前記規正された挿入高さに固定することができ、トレイステージ38が持ち運んできて持ち上げる空のトレイ35を受け入れて段積状態に収納保持することができる。
【0050】前記取り付けねじ119による固定はトレイ35の段積収納部をなすトレイ段積取り扱いカートリッジ114の全体を本体101aに対して着脱することを邪魔するものではない。特に1本の取り付けねじ119による取り付け、取り付け解除だけで着脱することができ、トレイ35の段積収納部をなすストッカ部を分解したり組み立てたりするような従来の作業とは異質であり極めて簡単である。しかし、トレイ段積取り扱いカートリッジ114の位置決め、取り付け構造は他の方法を採用することもできる。
【0051】トレイ段積取り扱いカートリッジ114は、その側板の下にトレイ35を下方から支持して段積収納させる支持片117が、内側に突出した支持位置への復動習性を持って側板の内外に出没できるように設けられている。支持片117は一例としてばね板で形成して基部を側板にねじ止めし、その上の逆止爪部117aが自身のばね性により側板の内側に突出する係止位置に自動復帰するようにしている。もっとも、トレイ段積取り扱いカートリッジ104が持つスライドタイプの支持片64であっても、支持片64の先端に逆止爪形状を持たせれば同様の機能を奏することができる。ここで、逆止爪部117aはトレイ35がトレイステージ38により持ち上げられてきたとき、先端の斜面117bをそのトレイ35により両側に押し退けられながら開いてトレイ35がトレイ段積取り扱いカートリッジ114内に進入できるようにしながら、トレイ35が進入し終えて前記押動が解除されたとき前記支持位置に復帰して進入したトレイ35が下方に出るのを上面117cで受け止めてそれを阻止し支持する。しかし、このような逆止機能は、例えば、係止姿勢への復動習性を持って設けられた回動式の支持板など他の構造でも発揮できそれらを採用することもできる。
【0052】トレイステージ38が下方から上動してきて受載しているトレイ35を下方よりトレイ段積取り扱いカートリッジ114内に上記のように進入させて逆止爪部117aの上にまで持ち上げた後、下動することによりそのトレイ35が逆止爪部117aによってトレイ段積取り扱いカートリッジ114への収納状態に支持されるようにでき、先に収納されているトレイ35があるときはトレイ35をトレイ段積取り扱いカートリッジ114内に進入させたときに先に収納されているトレイ35の下に嵌め合わせて段積状態に一旦持ち上げることになり、その後トレイステージ38が下動することでその段積状態のトレイ35がトレイ段積取り扱いカートリッジ114内に支持されて段積状態での収納状態とすることができる。この場合、トレイステージ38がトレイ35をトレイ段積取り扱いカートリッジ114内に持ち上げてから下動するときの持ち上げ高さは、トレイ35を逆止爪部117aの上に位置させれば足り、特に精度よい高さ設定は不要であるので、トレイ段積取り扱いカートリッジ104のような高さ調節機構を有していないが、必要なら採用することができる。
【0053】ところで、トレイ段積取り扱い部36でのトレイ35の段積レベルと、トレイ段積取り扱い部37でのトレイ35の段積レベルとは、増減の関係で相関性を持っている。この増減のバランスから、トラブルの有無を判定することができる。この2つのトレイ段積取り扱い部36、37でのトレイ供給によるトレイ35の減少と、トレイ35の受け入れによるトレイ35の増量との関係は、トレイ段積取り扱い部36、37でのトレイ35の段積レベルつまり段積状態でのかさの関係として見ることができ、この関係が崩れているかどうかを判定すれば、この判定が段積取り扱い中のどの時点で行われても、トレイ35の脱落、トレイ35の浮き、トレイ35の嵌り合い不良などの段積レベルに影響するトラブルの有無を判定し対処することができる。
【0054】図3、図5に示す実施例では、トレイ段積取り扱い部36でのトレイ35の空を検出する検出手段108としてのフォトセンサ108a、108bを設け、トレイ段積取り扱い部37でのトレイ35の満杯を検出する検出手段120としてのフォトセンサ120a、120bを設けて、直接の、あるいは穴や窓、切り欠きによる検出光路109を通じて検出された満杯および空の状態を検出するようにしてあり、ボンディング装置Cにおける図14に示す動作制御用の制御手段141がその満杯や空の検出結果を、モニタ142やランプ143の点灯、ブザーなどにより外部に報知するようにしながら、これらの検出手段108、120の各検出結果から、制御手段141の内部機能としての判定手段141aにより上記のようなトラブルの有無を判定するようにしている。なお、判定手段141aはトレイ35を供給し終わるときと収納し終わるときとに時間差があるので、この時間差を配慮するか、時間差に対応するトレイ35の1枚分の調整をして上記の判定を行えばよい。
【0055】トレイ段積取り扱い部37でのトレイ段積取り扱いカートリッジ114は前部が開放されており、この開放縁114dに段積状態に収納されるトレイ35の前辺35cの端部を案内するガイド部材118を設けてある。これにより、トレイ段積取り扱いカートリッジ114にトレイ35を段積収納するのに、前部の開放形態を利用した段積状態のトレイ35の一括把持による取り出しを容易にしながら、開放部側に段積状態のトレイ35が傾いたり、倒れたりするようなことを解消することができる。
【0056】ガイド部材118はトレイ35を段積状態に収納して供給するトレイ段積取り扱いカートリッジ104に設けても有効であるが、上記のようにトレイ35を受け入れて段積状態に収納するトレイ段積取り扱いカートリッジ114ではトレイステージ38が持ち運んできたトレイ35を受け入れて自動的に収納し段積状態にする関係からトレイ35の位置ずれや嵌り合い不良などで段積状態が偏って傾いたりしやすいので、ガイド部材118はこれを防止するので好適であり、しかも、収納するトレイ35が空であって軽く、段積状態への収納が特に不安定で傾きやすく倒れやすいのでガイド部材118はこれを防止するので特に有効である。
【0057】このようなガイド部材118は、案内位置への復動習性を持って可動なものとして設け、段積状態で収納されたトレイ35を一括して取り出すときに押し開かれて取り出しを邪魔しないものとすることができる。このような可動構造は、上記支持片64や逆止爪部117aと同様にスライド式に退避するもの、あるいはヒンジ軸を中心とした回動により退避するものなど種々な退避形式のものを採用することができる。
【0058】図示しないが、トレイ段積取り扱いカートリッジ104、114において、図6に示すトレイ段積取り扱いカートリッジ114が持つ1枚板よりなるガイド板105のサイズと、それぞれの突片104c、114cおよび高さ調節ねじ106、取り付けねじ107、119を共通に持ちながら、取り扱うトレイ35のサイズに合う異なったサイズを持った複数の種類のものを製作してボンディング装置Cに組み合わせ備えておき、その都度取り扱うトレイ35のサイズに合ったものを選択してトレイ段積取り扱い部36、37の本体101aに着脱できるように装着して使用することができ、使用後は他のものと交換したりして、トレイ段積取り扱い部36、37の分解などなく容易かつ迅速に品種替えに対応することができ、作業能率、生産性の向上に寄与することができる。この場合、トレイ段積取り扱いカートリッジ104、114の持ち運びやすさや着脱しやすさはさらに有利となる。もっとも、このような選択使用のための着脱できるように装着する構造は種々なものを採用することができる。
【0059】なお、前記トレイ段積取り扱い部37でも、前記トレイ段積取り扱い部36でのトレイ段積取り扱いカートリッジ104を用いて空のトレイ35を段積状態に収納することはでき、この場合、トレイステージ38側にある前記プッシャ72をトレイ段積取り扱い部37にあるトレイ段積取り扱いカートリッジ104に空のトレイ35を収納していくときの支持片64の必要な開閉を行わせるのに共用することができ、トレイ段積取り扱い部36、37それぞれの側にあるトレイ段積取り扱いカートリッジ104に支持片64を開閉するアクチュエータを持たなくてよい利点がある。
【0060】第3のトレイ段積取り扱い部51では第1のトレイ段積取り扱い部36と同じ構造とし、第4のトレイ段積取り扱い部52では第2のトレイ段積取り扱い部37と同じ構造として、前記トレイトレイステージ61と協働させることにより、第3のトレイ段積取り扱い部51では空のトレイ35を取り扱うが第1のトレイ段積取り扱い部36と同じ作用効果をもってトレイステージ61に順次供給し、第4のトレイ段積取り扱い部52ではトレイステージ61が持ち運んでくる金属バンプ3形成後の半導体素子1を収容したトレイ35を取り扱うが第2のトレイ段積取り扱い部37と同じ作用効果をもって順次受け入れ段積状態に収納することができる。
【0061】図6、図7に示す実施例は、第3のトレイ段積取り扱い部51適用した好適構造例であり、図3に示す実施例のトレイ段積取り扱いカートリッジ104におけるガイド板105を持たない以外は同じ構造をして、4インチサイズのトレイ35を取り扱い段積状態に収納する図7に示すトレイ段積取り扱いカートリッジ151と、2インチサイズのトレイ35を取り扱って段積状態に収納するトレイ段積取り扱いカートリッジ131とをボンディング装置Cに組み合わせ備えたものであり、既述したところと共通する部材には同一の符号を付し重複する説明は省略する。
【0062】トレイ段積取り扱いカートリッジ151はフレーム67にねじ止めなどして固定するか、取り付けねじ119を利用して着脱できるように装着するかして、4インチのトレイ35を段積状態に収納してトレイステージ61に順次供給し、トレイ段積取り扱いカートリッジ131はトレイ段積取り扱いカートリッジ151の背面板の正面と側板の下面とにスペーサブロック132、132、およびスペーサ板133、133を介してねじ止めなどして着脱できるように取り付け、トレイ段積取り扱いカートリッジ151と収納するトレイ35の中心位置が変わらず、かつトレイ35を供給するのに同じ基準高さを持つようにする。これにより、トレイ段積取り扱いカートリッジ131は選択的に使用することができ、使用後これを取り外して元に復するとトレイ段積取り扱いカートリッジ151を使用することができる。しかも、いずれのものを使用するにもトレイステージ61との位置関係は変わらないので、位置調節は特にいらない。また、トレイ段積取り扱いカートリッジ131は他のサイズのものと交換することができるし、トレイ段積取り扱いカートリッジ151を取り外せるようにしてあると、これも他のサイズのものと交換をして選択使用することができる。トレイ段積取り扱いカートリッジ151に設けた空検出用の検出手段108はトレイ段積取り扱いカートリッジ131のものにも共用できるようにしている。
【0063】もっとも、この第3のトレイ段積取り扱い部51も、トレイ35を供給する第1のトレイ段積取り扱い部36はもとより、トレイ35を収納する第2、第4のトレイ段積取り扱い部37、52にも適用することができ、この場合、支持片64は支持位置への復動習性を持ったもので代替してプッシャ72による開閉操作を不要とすることができる。また、満杯を検出する検出手段120を設けるには取り付け板152を用いるなどして必要位置に設ければよい。
【0064】
【発明の効果】上記の説明で明らかなように、本発明のトレイの段積取り扱い方法および装置によれば、トレイを段積状態から順次トレイステージの取り扱いに供したり、またはトレイをトレイステージから順次受け入れて段積状態に収納して取り扱うのに、段積状態のトレイを容易にかつ安定して迅速に取り扱って、作業能率および生産性の向上に寄与することができるし、取り扱い中でのトレイやそれに収容した部品などの位置ずれ、飛び出し、脱落などを防止してそれらの安全が図れる。




 

 


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