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発明の名称 クリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開平11−173615
公開日 平成11年(1999)7月2日
出願番号 特願平10−241441
出願日 平成10年(1998)8月27日
代理人 【弁理士】
【氏名又は名称】服部 雅紀
発明者 李 建衡 / 黄 正性 / 安 堯澣 / 崔 載興
要約 目的


構成
特許請求の範囲
【請求項1】 クリーンルーム内部の空気循環のために複数個設置されるファンフィルタユニットの個別作動状態をチェックするためのクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムにおいて、前記ファンフィルタユニットの空気通路のハウジングに設置されて空気の流れの方向をセンシングするセンシング手段と、前記センシング手段で逆気流が感知されると制御信号を出力するコントロール手段と、前記制御信号が出力されると警報動作を遂行する警報手段と、を備えることを特徴とするクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項2】 前記センシング手段は、ファンフィルタユニット内部の正方向気流が前記クリーンルームに排出される部分に構成されるフィルタの上部のハウジングに設置されることを特徴とする請求項1記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項3】 前記警報手段は、前記逆気流を感知した制御信号が与えられると発音動作をする発音手段を備えることを特徴とする請求項1記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項4】 前記発音手段は、ブザー音を能動的に発生させるスピーカーを備えることを特徴とする請求項3記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項5】 前記警報手段は、前記逆気流を感知した制御信号が与えられると発光状態が異なる発光素子を備えることを特徴とする請求項1記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項6】 前記発光素子は、お互い異なる色を発光する第1発光ダイオードと第2発光ダイオードとを備え、前記制御信号の状態によってお互い交差点灯されることを特徴とする請求項5記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項7】 前記コントロール手段に、ネットワークを通じて接続可能である装置と、通信を遂行するローカルコントロールユニットとを連結し、前記ネットワークと通信することを特徴とする請求項1記載のクリーンルーム空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項8】 前記ローカルコントロールユニットは、所定の周波数のパルスを発振して提供する発振部と、ネットワーク認識用特定アドレスが設定されたアドレス発生手段と、前記ネットワークに接続されて通信する通信部と、前記発振部から動作に必要なパルスが与えられ、前記コントロール手段から出力される制御信号を判断して前記ファンフィルタユニットの駆動状態に対する情報を前記通信部を通じて前記ネットワークに転送し、前記ネットワークに転送される情報に前記アドレスを混合させる中央処理部と、を備えることを特徴とする請求項7記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項9】 クリーンルーム内部の空気循環のために複数個設置されるファンフィルタユニットの個別作動状態をチェックするためのクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムにおいて、前記各ファンフィルタユニットの空気通路に空気の流れの方向をセンシングするセンサが設置され、前記センサで逆気流を感知したセンシング信号が発生されるとそれに対応される制御信号に変換して出力するセンシング手段と、前記センシング手段から出力される制御信号の状態を判断し、これに対する情報を通信するローカルコントロールユニットと、複数個の前記ローカルコントロールユニットと連結されて中継通信を遂行する中継手段と、前記中継手段を通じて前記各ファンフィルタユニットの状態に対する情報を集め、集められた情報としてクリーンルームの内部の全体ファンフィルタユニットの状態を判断するホストコンピュータと、を備えることを特徴とするクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項10】 前記中継手段は、所定単位数量の前記ファンフィルタユニット別の各ローカルコントロールユニットと通信可能に連結されるマルチコントロールユニットと、所定の単位数量の前記マルチコントロールユニット等と通信可能に連結されるリレーコントロールユニットとを備え、前記ローカルコントロールユニットと前記ホストコンピュータ間の通信のためのネットワークを形成することを特徴とする請求項9記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項11】 前記マルチコントロールユニットは、前記ローカルコントロールユニットから送信される信号を受信する第1受信部と、前記第1受信部の動作を制御し、前記ローカルコントロールユニットから送信される情報を出力する第1通信制御手段と、前記第1通信制御手段から出力される情報を貯蔵する第1メモリ手段と、所定の周波数のパルスを発振して提供する第1発振部と、前記外部ネットワークとの連結で認識用第1アドレスを発生する第1アドレス発生手段と、前記第1発振部から動作に必要なパルスが与えられ、前記第1メモリ手段に保存された情報を前記リレー通信ユニットに転送するために出力し、前記リレー通信ユニットに転送される情報に第1アドレスを含めて転送する第1制御手段と、前記第1制御手段と前記リレー通信ユニット間の通信のためのインターフェースを遂行する第1通信手段と、を備えることを特徴とする請求項10記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項12】 前記第1通信制御手段に連結され前記ローカルコントロールユニットに所定の信号を送信する第1送信部をさらに備え、前記ローカルコントロールユニットに送信され前記第1受信部を通じて受信される信号の状態に前記第1通信制御手段でネットワーク接続状態を判断することを特徴とする請求項11記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項13】 前記第1通信制御手段は、前記ネットワーク接続状態を判断する情報を前記ホストコンピュータに転送するように前記第1メモリ手段に保存することを特徴とする請求項12記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項14】 前記リレー通信ユニットは、前記マルチコントロールユニットから送信される信号を受信する第2受信部と、前記第2受信部の動作を制御して前記マルチコントロールユニットから送信される情報を出力する第2通信制御手段と、前記第2通信制御手段で出力される情報を保存する第2メモリ手段と、所定周波数のパルスを発振して提供する第2発振部と、前記外部ネットワークとの連結で認識用第2アドレスを発生する第2アドレス発生手段と、前記第2発振部から動作に必要なパルスが与えられ、前記第2メモリ手段に保存された情報を前記ホストコンピュータに転送するために出力し、前記ホストコンピュータに転送される情報に第2アドレスを含めて転送する第2制御手段と、前記第2制御手段と前記ホストコンピュータ間の通信のためのインターフェースを遂行する第2通信手段と、を備えることを特徴とする請求項10記載のクリーンルーム空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項15】 前記第2通信制御手段に連結され、前記ローカルコントロールユニットに所定の信号を送信する第2送信部を備え、前記マルチコントロールユニットに送信され前記第2受信部を通じて受信される信号の状態によって、前記第2通信制御手段でネットワークの接続状態を判断することを特徴とする請求項14記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
【請求項16】 前記第2通信制御手段は、前記ネットワーク接続状態を判断した情報を前記ホストコンピュータに転送するように前記第2メモリ手段に保存することを特徴とする請求項14記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステム。
発明の詳細な説明
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムに関するもので、より詳しくはクリーンルームの内部に空気の循環のために設置される多くの数のファンフィルタユニットの個別的な駆動状態を現場またはネットワーク接続状態で、正確にチェックすることができ、各ファンフィルタユニットの非正常的な駆動状態に対する警報を遂行するように改善させたクリーンルームの空調用ファンフィルタ駆動状態チェックシステムに関するものである。
【0002】
【従来の技術】一般に、半導体装置製造のためのクリーンルームには空気循環によって内部の清浄状態を維持することができるように空調システムが設置されている。クリーンルームの空調システムは大型循環ファンを利用してクリーンルームの空気を循環させる中央集中方式と、多くの台数の小型ファンフィルタユニットを利用した個別方式とで区分される。個別方式は、大型循環ファンを利用した中央集中方式の問題点を補完するためのもので、特に個別方式は大型循環ファンを利用した中央集中方式に比べコンパクトな設計で、低騒音、低震動、エネルギー節約、気流制御の容易性等の長所を有している。
【0003】従って、近年、半導体工場には大型循環ファンを使用した中央集中方式より小型ファンフィルタユニットを利用した個別方式の空調システムがクリーンルームに多く採用されている。そして、一般的な半導体工場のクリーンルームに空調用に利用されるファンは、アメリカ合衆国の特許5,069,113号等に開示されている。
【0004】クリーンルームに設置される従来の個別方式の空調システムは、図1のようなファンフィルタユニット10が天井に所定の配置で何台か設置される。ファンフィルタユニット10は、フィルタ空気供給ファンが一つのユニットにモジュール化されてクリーンルームの天井面に設置され、循環空気をフィルタリングしてクリーンルーム内部に供給する装置である。
【0005】このようなファンフィルタユニット10は内部にファン12が設置されており、ファン12が駆動されることによって空気が天井上部から流入されてハウジング14の内部通路に沿って、インシューレーター16を経てパンチングプレートの方に強制的に送風され、強制的に送風される空気はフィルタ18を経てクリーンルーム内部に供給される。
【0006】前述したファンフィルタユニットが設置される空調システムは、クリーンルーム内部の空気を天井から床の方に送風する。床の方に送風される空気は、所定の空気循環のために設計されたダクトを通じて天井に供給されて循環する。前述した空気の循環によって、クリーンルームの内部のパーティクルは空気の流れの方向に沿って床の方に沈み、工程が行われる高さにパーティクルが到達することが抑制され、クリーンルームの底からクリーンルームの外部と内部間の差圧が発生して外部のパーティクルを含む空気の内部への流入が遮断される。
【0007】前述したクリーンルーム内部の各ファンフィルタユニットは、天井に多くの数が設置されるので、個別的な異常チェックに難点が多く、このためにファンフィルタユニットの自己診断機能が重要視されている。通常の自己診断機能は、電流または電圧がファンに供給される状態を監視する水準で試みられている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような方式の自己診断機能は、ファン駆動がダウンされる状態でも駆動電流や電圧が供給されるので正確にファンフィルタユニットの異常を直接的に感知することができない場合が発生する。
【0009】ファンフィルタユニットを利用する空調システムでファンが動作されないと、該当部分で逆気流が発生して清浄状態を維持しなければならない空間に汚染物が流入する場合が発生し、このような以上現象は感知されずに長時間放置される場合が多かった。
【0010】従って、従来のファンフィルタユニットを利用したクリーンルームの内部の個別方式による空調システムは、一部ファンフィルタユニットの異常によりクリーンルーム内部の大気環境に深刻な影響を与える結果が発生される問題点があった。
【0011】本発明の目的は、空気を強制送風するファンがダウンされると発生する気流の方向変化を機械的な接点を有するセンサに感知してファンフィルタユニットの異常有無をチェックするためのクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムを提供することにある。
【0012】本発明の他の目的は、空気を強制送風するファンがダウンすると発生する気流の変化を機械的に感知してファンフィルタユニットの異常有無をネットワーク上でチェックするためのクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムを提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、ファンフィルタユニットの空気通路のハウジングに設置されて空気の流れの方向をセンシングするセンシング手段と、センシング手段で逆気流が感知されると制御信号を出力するコントロール手段と、制御信号が出力されると警報動作を遂行する警報手段とを備える。
【0014】本発明の請求項2記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、センシング手段は、ファンフィルタユニット内部の正方向気流がクリーンルームに排出される部分に構成されるフィルタの上部のハウジングに設置される。
【0015】本発明の請求項3記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、警報手段は、逆気流を感知した制御信号が与えられると発音動作をする発音手段を備える。
【0016】本発明の請求項4記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、発音手段は、ブザー音を能動的に発生させるスピーカーを備える。
【0017】本発明の請求項5記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、警報手段は、逆気流を感知した制御信号が与えられると発光状態が異なる発光素子を備える。
【0018】本発明の請求項6記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、発光素子は、お互い異なる色を発光する第1発光ダイオードと第2発光ダイオードとを備え、制御信号の状態によってお互い交差点灯される。
【0019】本発明の請求項7記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、コントロール手段に、ネットワークを通じて接続可能である装置と、通信を遂行するローカルコントロールユニットとをさらに連結し、ネットワークと通信する。
【0020】本発明の請求項8記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、ローカルコントロールユニットは、所定の周波数のパルスを発振して提供する発振部と、ネットワーク認識用特定アドレスが設定されたアドレス発生手段と、ネットワークに接続されて通信する通信部と、発振部から動作に必要なパルスが与えられ、コントロール手段から出力される制御信号を判断してファンフィルタユニットの駆動状態に対する情報を通信部を通じてネットワークに転送し、ネットワークに転送される情報にアドレスを混合させる中央処理部とを備える。
【0021】本発明の請求項9記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、各ファンフィルタユニットの空気通路に空気の流れの方向をセンシングするセンサが設置され、センサで逆気流を感知したセンシング信号が発生されるとそれに対応される制御信号に変換して出力するセンシング手段と、センシング手段から出力される制御信号の状態を判断し、これに対する情報を通信するローカルコントロールユニットと、複数個のローカルコントロールユニットと連結されて中継通信を遂行する中継手段と、中継手段を通じて各ファンフィルタユニットの状態に対する情報を集め、集められた情報としてクリーンルームの内部の全体ファンフィルタユニットの状態を判断するホストコンピュータとを備える。
【0022】本発明の請求項10記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、中継手段は、所定単位数量のファンフィルタユニット別の各ローカルコントロールユニットと通信可能に連結されるマルチコントロールユニットと、所定の単位数量のマルチコントロールユニット等と通信可能に連結されるリレーコントロールユニットとを備え、ローカルコントロールユニットとホストコンピュータ間の通信のためのネットワークを形成する。
【0023】本発明の請求項11記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、マルチコントロールユニットは、ローカルコントロールユニットから送信される信号を受信する第1受信部と、第1受信部の動作を制御し、ローカルコントロールユニットから送信される情報を出力する第1通信制御手段と、第1通信制御手段から出力される情報を貯蔵する第1メモリ手段と、所定の周波数のパルスを発振して提供する第1発振部と、外部ネットワークとの連結で認識用第1アドレスを発生する第1アドレス発生手段と、第1発振部から動作に必要なパルスが与えられ、第1メモリ手段に保存された情報をリレー通信ユニットに転送するために出力し、リレー通信ユニットに転送される情報に第1アドレスを含めて転送する第1制御手段と、第1制御手段とリレー通信ユニット間の通信のためのインターフェースを遂行する第1通信手段とを備える。
【0024】本発明の請求12記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、第1通信制御手段に連結されローカルコントロールユニットに所定の信号を送信する第1送信部をさらに備え、ローカルコントロールユニットに送信され第1受信部を通じて受信される信号の状態に第1通信制御手段でネットワーク接続状態を判断する。
【0025】本発明の請求項13記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、第1通信制御手段は、ネットワーク接続状態を判断する情報をホストコンピュータに転送するように第1メモリ手段に保存する。
【0026】本発明の請求項14記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、リレー通信ユニットは、マルチコントロールユニットから送信される信号を受信する第2受信部と、第2受信部の動作を制御してマルチコントロールユニットから送信される情報を出力する第2通信制御手段と、第2通信制御手段で出力される情報を保存する第2メモリ手段と、所定周波数のパルスを発振して提供する第2発振部と、外部ネットワークとの連結で認識用第2アドレスを発生する第2アドレス発生手段と、第2発振部から動作に必要なパルスが与えられ、第2メモリ手段に保存された情報をホストコンピュータに転送するために出力し、ホストコンピュータに転送される情報に第2アドレスを含めて転送する第2制御手段と、第2制御手段とホストコンピュータ間の通信のためのインターフェースを遂行する第2通信手段とを備える。
【0027】本発明の請求項15記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、第2通信制御手段に連結され、ローカルコントロールユニットに所定の信号を送信する第2送信部を備え、マルチコントロールユニットに送信され第2受信部を通じて受信される信号の状態によって、第2通信制御手段でネットワークの接続状態を判断する。
【0028】本発明の請求項16記載のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、第2通信制御手段は、ネットワーク接続状態を判断した情報をホストコンピュータに転送するように第2メモリ手段に保存する。
【0029】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を示す実施例を図面に基づき詳細に説明する。図2に示すように、本発明の一実施例によるクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムは、公知のファンフィルタユニット20の内部ハウジングで空気が強制的に送風される通路中のインシューレーター22とフィルタ24の間のハウジング26にセンサ28が設置されている。センサ28は機械的なコンタクトが気流の方向によってショートまたはオープン、即ち電気的にオン/オフが行われる構造を有する。オン/オフ状態によって、センサ28は電気的にハイ/ローレベルの電圧を出力する。
【0030】ファンフィルタユニット20の内部のセンサ28は、センシング信号をコントローラー30に入力するように構成されている。コントローラー30にはスピーカー32と発光ダイオード34及びローカルコントロールユニット(Local Control Unit:以下LCUとする。)36が連結されており、コントローラー30はハイレベルまたはローレベルに入力されるセンシング信号による制御信号をスピーカー32と発光ダイオード34に与えるように構成されている。
【0031】発光ダイオード34は単一素子で構成され、必要によってお互い異なる色で発光される二つの素子がコントローラー30から出力される制御信号の状態によってお互い交差点灯されるように構成される。
【0032】そして、LCU36はコントローラー30から与えられる制御信号の状態に対する情報を外部ネットワークに転送する。前述したように構成されることで、センサ28はハウジング26内部に形成された通路を通じて空気が出入する方向をセンシングする。
【0033】即ち、ファンフィルタユニット20のファンが正常的に駆動されると、空気が強制送風されインシューレーター22部分を経て、フィルタ24を通じてクリーンルーム内部に供給される。図3に示すように、空気が前述した方向に正方向気流を形成しながら供給されるとき、センサ28のアルミニウム材質でできた入力部28aと銅でできた出力部28bの間の機械的な接点はショートされて電気的にターンオンされるのでハイレベル(“+1”)の電圧がセンシング信号としてコントローラー30に与えられる。
【0034】一方、ファンフィルタユニット20のファンが駆動されないと、ファンフィルタユニット20の間にクリーンルームの内部と外部には差圧が発生され、クリーンルーム内部が上圧そしてクリーンルームの外部が下圧状態で逆気流が形成されて空気はクリーンルーム内部から外部に流れる。このとき、図4に示すように、センサ28のアルミニウム材質でできた入力部28aと銅でできた出力部28bの間の機械的な接点はオープンされて電気的にターンオフされ、ローレベル(“0”)の電圧がセンシング信号とコントローラー30に与えられる。
【0035】コントローラー30は、ファンフィルタユニット20のファン駆動によって形成される空気の気流によるセンシング信号の状態を判別して、それによる制御信号をスピーカー32とLED34にそれぞれ出力する。
【0036】そうすると、正常的な状態でスピーカー32は消音状態を維持し、LED34は消光状態を維持する。しかし、非正常的にファンフィルタユニット20から逆気流が発生されると、コントローラー30から与えられる制御信号によってスピーカー32は発音し、LED34は発光する。
【0037】一方、コントローラー30は前述した制御信号をLCU36に入力し、LCU36はネットワークを構成するために連結可能な中継機であるマルチコントロールユニット(MCU)のような接続装置を通じて、実時間のファンフィルタユニット20の駆動状態による情報を転送する。これを利用することでネットワークに接続された状態で遠距離からファンフィルタユニット20の駆動状態がチェックされる。そして、クリーンルーム天井に設置される全てのファンフィルタユニットに対して、図2のようにセンサを設置し、ネットワーク接続のためのLCU36を適用することでクリーンルームに構成される全てのファンフィルタユニットの状態を総合的にチェックすることができる。
【0038】このためのネットワークは図5のように構成される。図5を参照すると、ファンフィルタユニット20に設置される各LCU36は、ネットワークに接続される。ネットワークを通じて全てのLCU36とインターフェースされる各ファンフィルタユニットは、同一ネットワーク上に連結されたホストコンピュータ42と接続されることで、クリーンルーム天井に設置された全体のファンフィルタユニット20の駆動状態がホストコンピュータ42にモニタリングしてチェックできるように構成されている。
【0039】具体的には、クリーンルームの天井に配置された所定単位個数のファンフィルタユニット20のコントローラー30にインターフェースされる各LCU36が一つのMCU38に接続され、再び所定単位個数のMCU38がリレー通信ユニット(Relay Communication Unit:以下RCUとする。)40に接続され、また所定単位個数のRCU40がホストコンピュータ42に接続される。
【0040】ホストコンピュータ42にはモニタ44が連結されてホストコンピュータ42でネットワークを通じて収集された各LCU36が設置されたファンフィルタユニット20のファン駆動状態をモニタリング可能にディスプレイするように構成されている。
【0041】ここで、RCU40とMCU38の構成は図6に示す構成と類似のものであるといえる。MCU38の構成を図6に示す構成として仮定し、詳細な構成を説明する。MCU38にはRCU40に通信線を通じて接続される通信部46とLCU36に通信線を通じて接続される通信部48及び受信部50が構成されている。
【0042】通信部46には制御部52が連結されている。制御部52には作動のための所定周波数の基本的なパルスを発振して提供する発振部54が連結され、他のMCU38と区分される特定アドレスを設定したアドレススイッチ56が連結されている。制御部52と通信制御部58はメモリ60を通じて相互データーを交換するように構成されている。通信制御部58は転送信号TXを送信部48に出力し、受信信号RXが受信部50から入力されるように構成されている。
【0043】そして、LCU36は、図7のような構成を有するMCU38と接続されて通信を遂行する。即ち、ファンフィルタユニット20に連結されたコントローラー30とインターフェースされて制御信号(S1)が入力される中央処理部62に所定周波数に発振されたパルスを提供する発振部64と他のLCUと区分される特定アドレスを設定したアドレススイッチ66が連結されている。そして、通信部68が中央処理部62に連結されてMCU38と通信線を通じて通信するようになっている。
【0044】前述の構成による本実施例の動作を説明する。先ず、LCU36の中央処理部62は発振部64で所定周波数に発振されて提供されるパルスによって作動される。コントローラー30から制御信号S1が中央処理部62に与えられると、中央処理部62はアドレススイッチ66に設定された他のLCUと区分するための特定アドレスコードを制御信号と混合して通信部68に入力し、通信部68は中央処理部62で与えられる信号をMCU38で受信可能な信号の形態に変形させてMCU38に転送する。
【0045】即ち、各ファンフィルタユニット20の駆動状態に対する情報がLCU36からMCU38に転送され、MCU38は転送信号を受信してRCU40に転送する中継の役割を遂行する。
【0046】具体的には、MCU38の受信部50はLCU36から転送された信号が受信されると、通信制御部58で認識することができる信号に変換させた受信信号RXを通信制御部58に入力する。
【0047】通信制御部58は、入力される信号を解読してメモリ60に保存する。そして、通信制御部58はLCU36に点検信号を送信部48を通じて転送した後、LCU36でそれに対するリターン信号が入力される状態でLCU36とのネットワーク接続状態をチェックする。そして、チェックされた接続状態に対する情報はメモリ60に書き込まれる。
【0048】通信制御部58によってメモリ60に保存された情報は制御部52に読み出される。制御部52は、発振部54から提供される所定の周波数のパルスで駆動され、読み出された情報によるMCUと区分される特定コードを組み合わせて通信部46に入力し、通信部46は制御部52から入力された信号をRCU40に転送する。
【0049】各RCU40には所定単位数量で連結された各MCU38から下部に連結された各LCUに対する情報が転送される。これにより、RCU40は二次的な中継の役割を遂行して各情報をホストコンピュータ42に転送して入力する。
【0050】RCU40で行われる信号の受信、変換及び送信とネットワーク接続状態チェックは、前述したMCU38の場合と同一に行われ、RCU40は他のRCUと区分される特定アドレスを各LCU36と連結された該当ファンフィルタユニット20の動作状態に対する情報に混合してホストコンピュータ42に転送する。
【0051】ホストコンピュータ42は、複数に連結される各RCU40から入力される情報の転送を受けて保存し、転送された情報に含まれたRCU40のアドレス、MCU38のアドレス及びLCU36のアドレスを判読して、各信号がどのファンフィルタユニットに対するものであるかを確認する。そして、転送された情報に含まれた各ネットワーク接続状態に対する情報を判断してネットワーク自己診断機能を遂行する。
【0052】前述したように確認された各ファンフィルタユニットの状態はホストコンピュータ42で統合され、各ファンフィルタユニット20の状態はモニタリングのためのディスプレイ信号に変換され、モニタ44に与えられる。モニタ44にはクリーンルーム内部に設置された全てのファンフィルタユニットに対する状態が表示される。
【0053】従って、各ファンフィルタユニット別に駆動異常に対する警報(発音、発光)がクリーンルーム内現場で行われ、クリーンルーム内の全体ファンフィルタユニットの状態がネットワークに接続されて遠距離に位置したホストコンピュータでチェックされる。これにより、ファンフィルタユニット別の異常に対する即刻的な措置が可能となり、ファンフィルタユニットの駆動中止によって発生し得るクリーンルーム汚染の防止を迅速に行うことができる。
【0054】
【発明の効果】従って、本発明のクリーンルームの空調用ファンフィルタユニット駆動状態チェックシステムによると、クリーンルームの内部空気循環のために設置される数多くのファンフィルタユニットの個別的な監視が可能で、異常を実時間で監視することができる。これいにより、クリーンルーム内部の汚染を防止し、常に最適の状態に工程環境が維持され収率を向上させることができる。
【0055】以上で本発明は記載された実施例に対してのみ詳細に説明されたが、本発明の技術的思想の範囲内で多様な変形及び修正が可能であることは当業者にとって明白なことであり、このような変形及び修正が付加されたものは特許請求範囲に属することは当然なことである。




 

 


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