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発明の名称 ドラフトチャンバの風速測定装置の制御ユニット
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開平10−118505
公開日 平成10年(1998)5月12日
出願番号 特願平8−278116
出願日 平成8年(1996)10月21日
代理人 【弁理士】
【氏名又は名称】吉田 茂明 (外2名)
発明者 前田 正行 / 米岡 隆博
要約 目的


構成
特許請求の範囲
【請求項1】 前面開口の処理室を有する本体部と、前記処理室の開口部を閉開自在に覆う扉と、前記処理室内に連通する排気管と、前記処理室内の所定位置に設けられた風速センサとを有するドラフトチャンバに対して、前記処理室開口部における風速と前記処理室内の所定位置における風速との相関関係を求めるためのドラフトチャンバの風速測定装置の制御ユニットであって、前記排気管からの排気量を調整する排気量調整手段が設けられた排気量変動方式のドラフトチャンバに対して、前記処理室の開口部に校正用風速センサを一時的に設け、前記開口部の開口寸法を一定にする一方、前記排気管からの排気量を変化させる条件下で、前記開口部に設けられた校正用風速センサにより測定される風速と前記処理室の所定位置に設けられた風速センサにより測定される風速との相関関係を求める排気量変動方式の風速校正方法と、前記排気管からの排気量が一定量に設定される排気量一定方式のドラフトチャンバに対して、前記処理室の開口部に校正用風速センサを一時的に設け、前記開口部の開口寸法を変化させる条件下で、前記開口部に設けられた校正用風速センサにより測定される風速と前記処理室の所定位置に設けられた風速センサにより測定される風速との相関関係を求める排気量一定方式の風速校正方法と、前記排気量変動方式及び排気量一定方式のドラフトチャンバに対して、前記処理室の形状,前記開口部の形状及び開口寸法と前記排気管からの排気量に応じて予め求められた前記処理室開口部における風速と前記処理室内の所定位置における風速との相関関係が複数記憶されており、制御対象のドラフトチャンバの処理室の形状,開口部の形状及び開口寸法と排気管からの排気量に応じて前記複数の相関関係のいずれかを選択可能なパラメータ設定方式の風速校正方法の3つの風速校正方法の選択が可能とされたことを特徴とするドラフトチャンバの風速測定装置の制御ユニット。
発明の詳細な説明
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ドラフトチャンバにおいて、処理室開口部における風速を求めるための風速測定装置の制御ユニットに関する。
【0002】
【発明の背景】処理室内において発生した有毒ガス等を排気管から排出するようにしたドラフトチャンバには、その有毒ガス等から作業者の安全を確保するために、処理室開口部の流入空気の風速に一定の基準が設けられている。
【0003】ところが、処理室開口部における風速を測定するために、その処理室開口部に直接風速センサを設けるとすると、作業の邪魔になり、また、作業者の動作等によって風速や風向が乱れるため正確な風速の測定が困難であるという問題がある。
【0004】このため、ドラフトチャンバの処理室開口部での風速と処理室内面の所定位置での風速との間に一定の相関関係が成り立つことを利用して、処理室内の所定位置に取付けられた風速センサからの出力信号により、処理室開口部における風速を求め、この風速が上記基準をクリアするように、排気管からの排気量を制御するようにしている。
【0005】このとき、上述のように処理室内の所定位置に設けられた風速センサにより、処理室開口部における風速を求めるためには、予め処理室開口部での風速と処理室内所定位置での風速との間の相関関係(近似式等)を求めておく必要がある(風速校正という)。
【0006】そこで、排気管に可変ダンパを設けたり、排気装置の吸引ファンの強弱を調整して、排気管からの排気量を調整するようにした排気量変動方式のドラフトチャンバにおいては、処理室開口部の開口寸法を一定にした状態で、排気管からの排気量を変化させ、この変化に伴う処理室開口部における風速の変化と処理室内の所定位置における風速の変化とを測定することにより、両者間の相関関係を求めるようにしている。
【0007】また、排気管からの排気量が一定に固定又は半固定された排気量一定方式のドラフトチャンバにおいては、開口部の開口寸法を変化させ、この変化に伴う処理室開口部における風速の変化と処理室内の所定位置における風速の変化との相関関係とを測定することにより、両者間の相関関係を求める風速校正方法を本願出願人が提案している。
【0008】ところで、このような相関関係は、ドラフトチャンバ自体の劣化や、処理室所定位置に取付けた風速センサの経年劣化等による特性変化が生じたときには、再度求め直す必要がある。
【0009】そこで、ドラフトチャンバに設けられた風速測定装置の制御ユニットに、風速校正を行うための機能を持たせ、ドラフトチャンバ製造時及び製造後において、適宜風速校正を行うようにしている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】ところが、排気量変動方式のドラフトチャンバと排気量一定方式のドラフトチャンバとでは、それぞれ別々の校正方法が用いられるからといって、例えば、各方式のドラフトチャンバでそれぞれ別々の制御ユニットを製造するとなると、極めて生産効率に劣ることとなる。
【0011】そこで、この発明は、排気量一定方式及び排気量変動方式の双方のドラフトチャンバに対して風速校正を行うことが可能なドラフトチャンバの風速測定装置の制御ユニットを提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するため、請求項1記載のドラフトチャンバの風速測定装置の制御ユニットは、前面開口の処理室を有する本体部と、前記処理室の開口部を閉開自在に覆う扉と、前記処理室内に連通する排気管と、前記処理室内の所定位置に設けられた風速センサとを有するドラフトチャンバに対して、前記処理室開口部における風速と前記処理室内の所定位置における風速との相関関係を求めるためのドラフトチャンバの制御ユニットであって、前記排気管からの排気量を調整する排気量調整手段が設けられた排気量変動方式のドラフトチャンバに対して、前記処理室の開口部に校正用風速センサを一時的に設け、前記開口部の開口寸法を一定にする一方、前記排気管からの排気量を変化させる条件下で、前記開口部に設けられた校正用風速センサにより測定される風速と前記処理室の所定位置に設けられた風速センサにより測定される風速との相関関係を求める排気量変動方式の風速校正方法と、前記排気管からの排気量が一定量に設定される排気量一定方式のドラフトチャンバに対して、前記処理室の開口部に校正用風速センサを一時的に設け、前記開口部の開口寸法を変化させる条件下で、前記開口部に設けられた校正用風速センサにより測定される風速と前記処理室の所定位置に設けられた風速センサにより測定される風速との相関関係を求める排気量一定方式の風速校正方法と、前記排気量変動方式及び排気量一定方式のドラフトチャンバに対して、前記処理室の形状,前記開口部の形状及び開口寸法と前記排気管からの排気量に応じて予め求められた前記処理室開口部における風速と前記処理室内の所定位置における風速との相関関係が複数記憶されており、制御対象のドラフトチャンバの処理室の形状,開口部の形状及び開口寸法と排気管からの排気量に応じて前記複数の相関関係のいずれかを選択可能なパラメータ設定方式の風速校正方法の3つの風速校正方法の選択が可能とされたことを特徴とする。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、この発明にかかる一実施形態のドラフトチャンバの風速測定装置の制御ユニットについて説明する。
【0014】図1に示すように、制御ユニット30は、目標風速等の所定の情報を入力するための入力部34と、測定した風速等の所定の情報を表示するための表示部31と、これら入力部34,表示部31及びドラフトチャンバ1に設置された風速センサ22,校正用風速センサ40に電気的に接続されてドラフトチャンバ1の風速を測定したり、風速校正を行う制御部56とを備える。
【0015】上記制御部56は、排気量変動方式により風速校正するための排気量変動方式校正部50と、排気量一定方式により風速校正するための排気量一定方式校正部52と、パラメータ設定方式により風速校正するためのパラメータ設定方式校正部54と、上記入力部34からの入力に応じて、上記各測定部50,52,54のいずれかに切替制御する切替制御部60とを備え、排気量一定方式の風速校正方法と、排気量変動方式の風速校正方法と、パラメータ設定方式の風速校正方法を選択して風速校正を行うことが可能とされている。
【0016】以下、この制御ユニット30を、排気量一定方式のドラフトチャンバに適用した場合について、図2ないし図7を参照して説明する。
【0017】即ち、排気量一定方式のドラフトチャンバ1は、図2及び図3に示すように、本体2内の底面から所定高さ位置に作業台4が配設されると共に、その背面板と天板から所定間隔を有して仕切り板6が配設されて、前面に開口部8を有する処理室10が形成されている。
【0018】本体2の前面には、処理室10の開口部8を閉開自在に覆うスライド扉12が設けられている。このスライド扉12は、アクリル樹脂やガラス等の透明板により形成され、手動又は電動により上下にスライドさせて、任意の高さ位置に保持できるように構成されている。
【0019】本体2の上部には、仕切り板6に形成された複数の吸引孔7を介して、処理室10内と連通する排気管13が設けられている。この排気管13は、図示省略の排気装置に連結されており、排気管13を介して処理室10内の空気が吸引・排気されるように構成されている。また、排気管13内には、手動ダンパ14が回動自在に取付けられており、排気管13外部に設けられた図示省略のハンドルを操作することにより、排気管13からの排気量を半固定に調整することが可能なように構成されている。
【0020】そして、ドラフトチャンバ1の本体2の側部に取付けられた制御ユニット30に、ドラフトチャンバ1の処理室10内側面の所定位置Pに取付けられた風速センサ22が電気的に接続されて風速測定装置が構成されている。
【0021】上記風速センサ22としては、例えば、周知の熱線風速計等が用いられ、風速が電圧(又は電流)として出力され、この出力信号が制御ユニット30に入力されるように構成されている。
【0022】以下に、図4を参照して、この排気量一定方式のドラフトチャンバの制御について説明すると、即ち、制御ユニット30のコントローラ部32には、処理室10開口部8における風速と処理室10内の所定位置Pにおける風速との相関関係を示す近似式が記憶されており(この近似式を求める風速校正方法については後述する)、この近似式と風速センサ22からの出力信号に基づいて、処理室10開口部8における風速が求められる。このように求められた風速は、制御ユニット30前面に設けられた表示部31に表示される。
【0023】また、制御ユニット30前面に設けられた入力部34から所定の基準をクリアするような目標風速を入力しておくと、第1比較演算回路36において上記求められた風速と目標風速との比較を行い、処理室10開口部8における風速が前記目標風速を下回ったときにブザー等の警告を発するように構成されている。
【0024】なお、制御ユニット30には、後述するように、処理室10開口部8における風速と処理室10内の所定位置Pにおける風速との相関関係を示す近似式を求める際に、処理室10開口部8に一時的に設けられる校正用風速センサ40からの出力信号が入力される入力端子(図示省略)が設けられている。
【0025】次に、処理室10開口部8における風速と処理室10内の所定位置Pにおける風速との相関関係を示す近似式を求める排気量一定方式の風速校正方法について図4ないし図7を用いて説明する。
【0026】まず、周囲を気流が乱れていない静環境にして、公的機関で精度を保証された校正用風速センサ40を、開口部8の幅方向略中央の所定高さ位置に取付ける。そして、開口部8の開口寸法を第1の所定寸法にした状態で、校正用風速センサ40の表示風速が所定の値になるように、手動ダンパ14を調整して排気管13による排気量を調整する。
【0027】そして、図5及び図6に示すように、校正用風速センサ40の出力を、制御ユニット30の入力端子に接続する(ステップS1)。この後、スライド扉12を全開状態にして、開口部8の風速Vminを測定した後(ステップS2)、スライド扉12を第2の所定開口寸法にした状態で、開口部8の風速Vmaxを測定すると(ステップS3)、開口部8における風速の予測変化範囲Vmin〜Vmaxが求められる。このとき、第2の所定開口寸法は、ドラフトチャンバ1での通常作業に最小限必要な寸法(例えば150mm)に設定するのがよい。
【0028】この後、入力部34を操作し、制御ユニット10を手動校正モードに設定すると(ステップS4)、コントローラ部32において、サンプリング数nが0にリセットされる(ステップS5)。
【0029】この後、ステップS6において、サンプリング数nが、表示部31に表示される。
【0030】そして、このサンプリング数nを見た作業者は、ステップS7において、上記開口部8における風速の予測変化範囲Vmin〜Vmaxを、その範囲内でサンプリングを行う総数Nで均等分割し、即ち、下記式サンプリング風速(Vn)=Vmin+{(Vmax−Vmin)/N}×nから、サンプリング数nに対応するサンプリング風速Vnを求める。
【0031】この後、作業者は、サンプリング数nに応じて求められたサンプリング風速Vnに、校正用風速センサ40に表示される開口部8の風速が一致するように、スライド扉12を上下にスライド調整する(ステップS8)。
【0032】そして、開口部8の風速がサンプリング風速Vnと一致したときに、入力部34のセットキーを押す(ステップS9)。
【0033】すると、ステップS10においてサンプリング、即ち、開口部8の風速が上記サンプリング風速Vnであるときの処理室10内所定位置Pにおける風速センサ22の出力信号の電圧Enが測定され、これらサンプリング風速Vn,電圧Enがコントローラ部32に記憶される。
【0034】この後、サンプリング数nに1加算された後(ステップS11)、このサンプリング数nがサンプリング総数Nと同じ値になったか否かが判定され(ステップS12)、n≠Nである場合には、再度ステップS6に戻ってそのサンプリング数nにおけるサンプリングがなされる。
【0035】そして、ステップS6〜S11がN回繰り返されて、0から(N−1)までの各サンプリング風速Vnに対応する風速センサ22の出力信号の電圧Enがそれぞれ測定された後、n=Nであると判定されると(ステップS12)、処理室10開口部8における風速Vnと処理室10内の所定位置Pにおける風速センサ22の出力電圧Enとの相関関係を示す近似式が求められる(ステップS13)。
【0036】このように求められた近似式は、図7に示すように、上記ステップS6〜S12においてサンプリングされた出力電圧Enのデータ区間では、それぞれサンプリングされたVn,Enから最小二乗法により3次近似式を求めている。また、最小の電圧Enよりも小さい区間では、そのデータポイントと風速0m/s時の風速センサ22の出力信号の電圧間の直線近似式を求め、最大の出力電圧Enよりも大きい区間では、上記各サンプリングされたVn,Enから最小二乗法で直線近似式を求めて、その傾きでかつ最大の電圧Enのデータポイントを通る直線近似式を求めている。
【0037】ここで、スライド扉12を第2の所定開口寸法にした状態と全開にした状態との間で上記データ区間を定め、このデータ区間のみで最小二乗法により3次近似式を求めているのは、通常のドラフトチャンバ1の使用時において風速測定に用いられる範囲で、風速測定の精度を確保するためである。
【0038】なお、上記風速校正方法のステップS7において、開口部8における風速の予測変化範囲内で均等分割せずに任意に分割してVnを求めてもよい。
【0039】また、校正用風速センサ40に出力端子がなく、単に測定した風速が表示されるのみである場合等には、各サンプリング風速Vnと開口部8における校正用風速センサ40の表示風速とが一致するように順次開口部8の開口寸法を順次調整してこれらが一致したときに、そのサンプリング風速Vnを入力部34を介して制御ユニット30に入力するようにしてもよい。
【0040】次に、パラメータ設定方式の風速校正方法について説明すると、即ち、処理室10の形状(容積を含む),開口部8の形状及びその開口寸法と排気管13からの排気量に対して予め求められた処理室10の開口部8の風速と処理室10内の所定位置での風速との相関関係を表すデータが制御部60に複数記憶されており、作業者がこれら処理室10の形状,開口部8の形状及びその開口寸法と排気管13からの排気量を判断して適切な相関関係のデータを入力部34により選択して入力する方法である。
【0041】なお、上記相関関係は、上述した排気量一定方式の校正方法や、後述する排気量変動方式の校正方法により予め求められたものであり、既に記憶したデータにのものとは異なるドラフトチャンバの方式や処理室10の形状,開口部8の形状及びその開口寸法と排気管13からの排気量にかかる相関関係が求められると、このデータが逐次記憶される。
【0042】次に、制御ユニット30を排気量変動方式のドラフトチャンバに適用した場合について、図8ないし図12を参照して説明する。なお、排気量変動方式のドラフトチャンバの説明に際して、上述した排気量一定方式のドラフトチャンバと同一構成部分については同一符号を付してその説明を省略し、その差異を中心に説明する。
【0043】即ち、図8及び図9に示すように、この排気量変動方式のドラフトチャンバ1bは、処理室10と連通する排気管13内に可変ダンパ14bが設けられている。この可変ダンパ14bは図示省略のモータにより回転駆動され、これにより排気管13からの排気量が制御可能なように構成されている。
【0044】また、ドラフトチャンバ1b下方側部には、スライド扉12の開口寸法Hを検出するための、ポテンションメータ24が設けられている。このポテンションメータ24は、例えば、スライド扉12に連結されたラック杵に噛合するピニオンの回転により開口寸法Hを検出するようにしている。
【0045】さらに、ドラフトチャンバ1bの側部に、制御ユニット30が取付けられている。この制御ユニット30に、上記ポテンションメータ24及び処理室10内の側面の所定位置Qに取付けられた風速センサ22が電気的に接続されて風速測定装置が構成されている。
【0046】以下、このドラフトチャンバ1bの制御について、図10を参照して説明すると、コントローラ部60には、開口部8の開口寸法Hの変化に応じて、開口部8における風速と処理室10内所定位置Qにおける風速との相関関係を示す近似式が、記憶されている(この近似式を求めるための方法については後述する)。
【0047】そして、風速センサ22からの出力信号がコントローラ部60に入力されると、この出力信号及び上記近似式に基づいて、開口部8における風速が求められる。このコントローラ部60から出力された信号が第1比較演算回路62に入力されると、第1比較回路62では、求められた開口部8の風速と上記目標風速との差が演算される。第1比較回路62からの出力信号は、ダンパ駆動回路68に入力され、このダンパ駆動回路68からの出力信号に基づいて、モータ70を回転させることにより、可変ダンパ14bの回転が制御されて、排気管13からの排気量が調整される。
【0048】これにより排気管13からの排気量が変化すると、処理室10内所定位置Qでの風速が変化して、風速センサ22からの出力信号が変化し、上記の動作が繰り返されてる。そして、風速センサ22の出力信号に基づいて求められた開口部8における風速が上記目標風速と一致すると、可変ダンパ14bの回転が停止する。
【0049】かかる動作は、排気装置による排気能力や開口部8の開口寸法Hが変化したときにも同じ動作が行われ、常に開口部8における風速が上記目標風速と一致するように自動的に制御される。
【0050】一方、ポテンションメータ24からの出力信号は、第2比較演算回路66に入力され、ここで、基準寸法との差が演算されて、その出力信号が補正回路64に入力される。即ち、開口部8の開口寸法Hが変化すると、開口部8における風速と処理室10内所定位置Qにおける風速との相関関係も変化するため、これを開口部8の開口寸法Hとその開口の基準寸法との差に基づいて補正するものである。
【0051】そしてかかる補正信号が第1比較演算回路62及びダンパ駆動回路68に入力されることにより、開口部8の開口寸法Hに応じて、より正確に排気管13からの排気量が制御されるようになる。
【0052】次に、この排気量変動方式のドラフトチャンバにおいて、処理室10開口部8における風速と処理室10内の所定位置Pにおける風速との相関関係を示す近似式を求める方法について図11及び図12を参照して説明する。
【0053】まず、校正用風速センサ40を開口部8の幅方向略中央部の所定高さ位置に配置する(ステップT1)。その後、校正用風速センサ40の出力を制御ユニット30の入力端子に接続する(ステップT2)。そして、制御ユニット30の入力部34を操作して自動校正モードに設定する(ステップT3)。
【0054】すると、制御部30の表示部31にスライド扉12開口寸法が要求されるので(ステップT4)、要求された開口寸法が200mmの場合は、スライド扉12を上下調整してスライド扉12開口寸法を200mmにする(ステップT5)。また、要求された開口寸法が200mmでない場合には、スライド扉12の開口寸法を400mmに調整する(ステップT6)。
【0055】なお、ここで、制御部56には、スライド扉12の開口寸法が200mmと400mmのそれぞれ場合で、開口部8の風速と処理室10内所定位置Qの風速の相関関係を示す近似式を求めることが予め設定されているものとする。
【0056】そして、スライド扉12が要求された開口寸法にされると、サンプリング数nが0にリセットされ(ステップT7)、設定風速の変更がなされ(ステップT8)、設定風速が表示部31に表示される。ここで、設定風速は、ドラフトチャンバ1bの使用時に開口部8における風速の予測範囲内で予め複数選択されたものである。
【0057】そして、制御部56により、上述のようにダンパ駆動回路68を介して、可変ダンパ14bの回転が制御され、開口部8の校正用風速センサ40により測定された風速が上記設定風速と一致するように排気管13からの排気量が制御される(ステップT9)。
【0058】校正用風速センサ40による風速が設定風速と一致すると、校正用風速センサ40の風速Vnと処理室内所定位置Qにおける風速センサ22からの出力信号の電圧Enとがそれぞれサンプリングされて、制御部56に記憶される(ステップT9)。その後、サンプリング数nに1加算され(ステップT11)、このサンプリング数nが予め設定されたサンプリングを行う総数Nと一致するかどうかが判断され(ステップT12)、n≠Nの場合には、ステップT8ないしステップT11のが繰り返されて、異なる設定風速におけるデータのサンプリングがN回行われる。
【0059】また、ステップT12において、サンプリング数n=Nである場合には、サンプリングしたデータを基に、開口部8における風速Vnと処理室10内所定位置Qにおける風速センサ22からの出力信号の電圧Enとの近似式が求められる(ステップT13)。
【0060】この後、かかる近似式計算がスライド扉12開口寸法200mmの条件のものである場合には、再度ステップT4に戻って、開口寸法400mmの条件での近似式を求めるためにステップT4ないしT13が再度行われる。そして、開口寸法400mmの条件下の近似式が求められると校正が終了する。
【0061】また、排気量変動方式のドラフトチャンバ1bにおいては、上記排気量一定方式のドラフトチャンバの場合と同様に、パラメータ設定方式の校正方法が選択可能である。
【0062】即ち、処理室10の形状,開口部8の形状及びその開口寸法と排気管13からの排気量に応じて、処理室10の開口部8の風速と処理室10内の所定位置での風速との相関関係の近似式が制御部56に複数記憶されており、作業者がこれら処理室10の形状,開口部8の形状及びその開口寸法と排気管13からの排気量を判断して適切な近似式のデータを入力部34により選択して入力する方法である。
【0063】また、かかる風速校正方法が適用される風速測定装置の制御ユニット30によると、排気量一定方式の風速校正方法と、排気量変動方式の風速校正方法と、パラメータ設定方式の風速校正方法の3つの風速校正方法が選択可能とされているため、排気量一定方式のドラフトチャンバに対しては、排気量一定方式の風速校正方法又はパラメータ設定方式の風速校正方法を用いて風速校正を行うことが可能であり、また、排気量変動方式のドラフトチャンバに対しては、排気量変動方式の風速校正方法又はパラメータ設定方式の風速校正方法を用いて風速校正が可能となる。従って、この制御ユニット30は、排気量一定方式及び排気両変動方式の両方式のドラフトチャンバに対しても適用するすることが可能であり、汎用性に優れる。
【0064】なお、上記実施形態では、上記各校正方法の選択を、校正を行う際に入力部に入力することにより行っているが、制御ユニット30を、排気量一定方式のドラフトチャンバ1に組み込む際には、排気量一定方式の風速校正方法及びパラメータ設定方式の風速校正方法のみ選択可能なように設定しておき、また、排気量変動方式のドラフトチャンバに1bに組み込む際には、排気量変動方式の風速校正方法及びパラメータ設定方式の風速校正方法のみ選択可能なように設定しておけば、誤操作を防止することができる。
【0065】
【発明の効果】以上のように、この発明の請求項1記載のドラフトチャンバの風速測定装置の制御ユニットによると、排気管からの排気量を調整する排気量調整手段が設けられた排気量変動方式のドラフトチャンバに対して、処理室の開口部に校正用風速センサを一時的に設け、開口部の開口寸法を一定にする一方、排気管からの排気量を変化させる条件下で、開口部に設けられた校正用風速センサにより測定される風速と処理室の所定位置に設けられた風速センサにより測定される風速との相関関係を求める排気量変動方式の風速校正方法と、排気管からの排気量が一定量に設定される排気量一定方式のドラフトチャンバに対して、処理室の開口部に校正用風速センサを一時的に設け、開口部の開口寸法を変化させる条件下で、開口部に設けられた校正用風速センサにより測定される風速と処理室の所定位置に設けられた風速センサにより測定される風速との相関関係を求める排気量一定方式の風速校正方法と、排気量変動方式及び排気量一定方式のドラフトチャンバに対して、処理室の形状,開口部の形状及び開口寸法と排気管からの排気量に応じて予め求められた処理室の開口部の風速と処理室内の所定位置での風速との相関関係が複数記憶されており、制御対象のドラフトチャンバの処理室の形状,開口部の形状及び開口寸法と排気管からの排気量に応じて前記複数の相関関係のいずれかを選択可能なパラメータ設定方式の風速校正方法の3つの風速校正方法の選択が可能とされているため、排気量変動方式のドラフトチャンバ及び排気量一定方式のドラフトチャンバのいずれの方式のドラフトチャンバにも適用して風速校正を行うことが可能となり、制御ユニットの汎用性に優れる。




 

 


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