米国特許情報 | 欧州特許情報 | 国際公開(PCT)情報 | Google の米国特許検索
 
     特許分類
A 農業
B 衣類
C 家具
D 医学
E スポ−ツ;娯楽
F 加工処理操作
G 机上付属具
H 装飾
I 車両
J 包装;運搬
L 化学;冶金
M 繊維;紙;印刷
N 固定構造物
O 機械工学
P 武器
Q 照明
R 測定; 光学
S 写真;映画
T 計算機;電気通信
U 核技術
V 電気素子
W 発電
X 楽器;音響


  ホーム -> 加工処理操作 -> 国際電気株式会社

発明の名称 基板移載機のティーチング方法
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開平10−156774
公開日 平成10年(1998)6月16日
出願番号 特願平8−336346
出願日 平成8年(1996)12月2日
代理人 【弁理士】
【氏名又は名称】守山 辰雄
発明者 池田 和人 / 杉本 毅 / 吉田 祐治 / 油谷 幸則
要約 目的


構成
特許請求の範囲
【請求項1】 基板搬送用の操作アーム及びその操作アームの先端に取り付けた基板載置用のプレートを操作し、プレートを反応室内の所定位置まで移動させる間に、操作アーム及びプレートに連繋したパルス発生器から操作アーム及びプレートの移動量に応じたパルスをコントローラに出力し、そのパルス数の合計を操作アーム及びプレートの位置データとしてコントローラに記憶させる基板移載機のティーチング方法において、前記プレートに位置決め部を形成し、前記反応室内の所定位置に位置決めジグを着脱可能に取り付けて、この位置決めジグに前記プレートの位置決め部を手動によって当接させることにより、前記反応室内の所定位置に前記プレートを位置決めすることを特徴とする基板移載機のティーチング方法。
発明の詳細な説明
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に使用され、ウェーハや液晶ガラス基板等の基板を搬送する基板移載機のティーチング方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来は、基板搬送用の操作アームをモータで駆動し、その操作アームの先端に取り付けた基板載置用のプレートを作業者が目視又は勘によって定めた反応室内の所定位置まで移動させると、前記モータに連繋されたパルス発生器からモータの回転に対応するパルスがコントローラに出力され、そのパルス数の合計が操作アーム(プレート)の位置データとしてコントローラに記憶されることにより、基板移載機のティーチングが完了するようになっていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の基板移載機のティーチングは、上記したように、操作アームをモータで駆動し、操作アーム先端のプレートを動かしつつ、基板を載置すべき反応室内の位置、即ちプレートを移動させるべき反応室内の所定位置を、作業者の目視又は勘によって決定し、ティーチングするようになっていたため、作業者の経験や力量の差により、ティーチング時間及びティーチング誤差に大きなばらつきを生じるという問題があった。
【0004】そこで、本発明は、上記従来技術の問題点を解消し、ティーチング作業を容易化し得る基板移載機のティーチング方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板搬送用の操作アームを手動で操作し、その操作アームの先端に取り付けた基板載置用のプレートを反応室内の所定位置まで移動させる。ここで、反応室内の所定位置は、前記プレートに形成した位置決め部を、前記反応室内に着脱可能に取り付けた位置決めジグに当接させることにより決定される。即ち、プレートの位置決め部を位置決めジグに当接させるだけで、反応室内の所定位置にプレートを位置決めすることができる。そして、このプレート(操作アーム)の移動の間に、操作アームに連繋したパルス発生器から操作アームの移動量に応じた量のパルスがコントローラに出力され、そのパルス数の合計が操作アームの位置データとしてコントローラに記憶されるようになっている。
【0006】このような構成の本発明によれば、プレートを移動させるべき反応室内の所定位置を作業者の目視や勘によって決定する必要がないので、短時間でもって正確にティーチング作業が終了する。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳述する。
【0008】図1は、本発明の実施の形態に係る基板移載機の構成図である。
【0009】(基板移載機の構成)この図1に示すように、基板移載機1は、モータ2によって駆動される操作アーム3の先端に、ウェーハ等の基板4を載せるプレート5を取り付けてある。操作アーム3は、モータ2の駆動軸6に取り付けられた第1のアーム3aと、この第1のアーム3aの先端に軸7を介して回動可能に取り付けられた第2のアーム3bとからなっている。このうち、第1のアーム3aは、モータ2の駆動軸6と一体となって回動する。又、第2のアーム3bは、モータ2によって駆動される軸7と一体になって回動するようになっている。
【0010】プレート5は、上記第2のアーム3bの先端に軸8を介して回動可能に取り付けてあり、モータ2によって駆動される軸8と一体になって回動するようになっている。このプレート5は、軸8に取り付けるアーム部5aと、このアーム部5aの先端に形成した逆コ字状の位置決め部5bとからなっており、この位置決め部5b上に基板4が載せられるようになっている。
【0011】そして、上記駆動軸6や各軸7,8には、軸の回転に対応したパルスを発生するエンコーダ(パルス発生器)9,10,11を連繋してある。このエンコーダ9,10,11が発生したパルスは、モータ2を駆動するドライバ12を介してコントローラ13に入力される。尚、図2に示すように、モータ2は、スイッチ14を介してドライバ12に電気的に接続してある。一方、エンコーダ9,10,11は、スイッチ14を介することなく、ドライバ12に直接的に接続してある。そして、ドライバ12をコントローラ13に接続してある。
【0012】コントローラ13は、ハンディーターミナル15からの入力信号に基づいて、制御信号をドライバ12に出力するようになっている。又、コントローラ13は、プレート5の現在位置を示すエンコーダデータをハンディーターミナル15の表示部(図示せず)に表示させるため、エンコーダデータ表示信号をハンディーターミナル15に出力するようになっている。
【0013】(反応室の構成)前記基板移載機1によって搬送された基板2を収容し、基板2に所望の表面処理を施すために使用される反応室20は、図1に示すように、基板2を出し入れするための開口部21を備えた断面矩形状の有底筒状体である。この反応室20は、プレート5の位置決め部5bに係合する円柱状の位置決めジグ22を着脱可能に取り付けることができるように、位置決めジグ収容溝23をその内部下面24に形成してある(図3(b)参照)。この反応室20に取り付けられる位置決めジグ22は、基板2が反応室20内の所定位置に載置されるように、プレート5の反応室20内の位置決めを行う(図3(a)、図3(b)参照)。
【0014】(基板移載機のティーチング)次に、図1乃至図3に基づき、基板移載機1のティーチングについて説明する。
【0015】先ず、図2において示したスイッチ14をオフにし、モータ2への通電を遮断して、操作アーム3及びプレート5を手動操作できるようにする。この際、エンコーダ9,10,11は通電されており、各軸6,7,8の回転に対応するパルスがドライバ12を介してコントローラ13に入力されるようになっている。
【0016】又、反応室20の位置決めジグ収容溝23には位置決めジグ22を取り付ける。尚、この際、プレート5には基板4を載せず、プレート5の位置決め部5bを位置決めジグ22に係合できるようにしておく。
【0017】次いで、作業者が、操作アーム3及びプレート5を操作して、図3(b)〜図3(d)に示すように、プレート5の位置決め部5bを反応室20内の位置決めジグ22に係合させ、更に位置決め部5bの根本部分5cを位置決めジグ22に当接させる。これによって、プレート5を反応室20内の所定位置に位置決めすることができる。
【0018】そして、この作業者による操作アーム3及びプレート5の手動操作の間、エンコーダ9,10,11から軸6,7,8の回転(即ち、操作アーム3及びプレート5の移動量)に対応するパルスがドライバ12を介してコントローラ13に出力される。コントローラ13は、入力されたパルスをカウントし、そのカウントしたパルス数の合計を操作アーム3及びプレート5の位置データとして記憶する。これによって、基板移載機1のティーチング作業が終了する。
【0019】そして、基板移載機1のコントローラ13は、このティーチングによって記憶したデータに基づいて、ドライバ12に制御信号を出力し、ドライバ12によってモータ2を駆動させ、操作アーム3及びプレート5を所定位置まで移動させて、プレート5に載せた基板4を反応室20内の所定位置まで搬送させる(図3(a)参照)。
【0020】以上のような本実施の形態によれば、作業者が操作アーム3及びプレート5を手動で操作し、プレート5の位置決め部5bを反応室20内に取り付けた位置決めジグ22に係合・当接させることにより、プレート5を反応室20内の所定位置に位置決めすることができるので、基板移載機1のティーチングを容易且つ迅速に行うことができる。しかも本実施の形態は、プレート5を反応室20内に位置決めする際に目測や勘に頼らないので、プレート5の位置決めを正確に行うことができる。この結果、本実施の形態による基板移載機1のティーチング方法によれば、基板移載機1の反応室20への基板4の搬送が正確且つ安定して行われる。
【0021】尚、上記実施の形態において、プレート5の位置決め部5bを逆コ字状に形成する態様を示したが、これに限られず、プレート5の移動平面内での位置決め(水平方向の位置決め)ができればよく、例えば、位置決めジグ22に係合・当接ができるように半円弧状に形成されたものでもよい。
【0022】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明は、基板搬送用の操作アーム及びその操作アームの先端に取り付けた基板載置用のプレートを手動で操作し、そのプレートの位置決め部を反応室内に着脱可能に取り付けた位置決めジグに当接させることにより、プレートを反応室内の所定位置に位置決めすることができるので、プレートを目視や勘によって位置決めする必要がなくなり、基板移載機のティーチング作業を容易且つ迅速に行うことができると共に、正確なティーチングを行うことができる。




 

 


     NEWS
会社検索順位 特許の出願数の順位が発表

URL変更
平成6年
平成7年
平成8年
平成9年
平成10年
平成11年
平成12年
平成13年


 
   お問い合わせ info@patentjp.com patentjp.com   Copyright 2007-2013