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発明の名称 洗浄装置
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開平10−137702
公開日 平成10年(1998)5月26日
出願番号 特願平8−304357
出願日 平成8年(1996)11月15日
代理人 【弁理士】
【氏名又は名称】中村 純之助
発明者 佐藤 崇之
要約 目的


構成
特許請求の範囲
【請求項1】縦置きの洗浄槽からなり、該洗浄槽には洗浄液を供給する供給口と洗浄液を排出する排出口とが設けられており、前記洗浄槽の上面には被洗浄物を挿入する被洗浄物挿入口が設けられており、該被洗浄物挿入口には、前記被洗浄物を前記洗浄槽内に挿入した状態で固定、封止するシールが設けられていることを特徴とする洗浄装置。
発明の詳細な説明
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は洗浄装置に関し、特に半導体製造工程において用いる反応炉内の温度を測定する熱電対の洗浄に適した洗浄装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体製造工程において使用する縦型反応炉の炉内温度を制御するヒータは、通常、高さ方向に2以上のゾーンに分割して設置されている。これらの各ゾーンには、それぞれのゾーンの温度を測定する熱電対が配設されている。これらの熱電対によって炉内温度を測定して、ヒータによって炉内温度を適切に制御するためには、熱電対は炉内の半導体ウェーハに極力近接して設置する必要がある。しかし、熱電対を半導体ウェーハに近接して設置すると、例えば、半導体ウェーハにCVD(Chemical Vapour Deposition、化学気相蒸着)を施す場合には、熱電対の石英保護管の表面にもCVD膜が付着して正確な温度測定が出来なくなるので、温度を正確に測定するためには、熱電対を洗浄する必要がある。
【0003】図2は、従来の熱電対洗浄装置と、熱電対の洗浄状況を示す図である。図に示すように、従来は、大きな洗浄槽1内に洗浄液2を充たし、該洗浄液2を用いて人力で熱電対3を洗浄していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような洗浄装置においては、人力で洗浄作業を行うので、作業者は洗浄作業が終了するまでの間、被洗浄物を手に保持して作業を行わなければならないという問題があった。
【0005】本発明は上述の課題を解決するためになされたもので、被洗浄物を手に保持して人力で洗浄作業を行う必要のない洗浄装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため、本発明の洗浄装置は、縦置きの洗浄槽からなり、該洗浄槽には洗浄液を供給する供給口と洗浄液を排出する排出口とを設け、前記洗浄槽の上面には被洗浄物を挿入する被洗浄物挿入口を設け、該被洗浄物挿入口には、前記被洗浄物を洗浄槽内に挿入した状態で固定、封止するシールを設ける。
【0007】
【発明の実施の形態】図1は本発明に係る洗浄装置の概略断面図である。
【0008】この洗浄装置は、縦置きの洗浄槽10からなり、洗浄槽10には洗浄液20を供給する供給口11と、洗浄液20を排出する排出口12とが設けられており、洗浄槽10の内部は、一部に流通口13が設けられた中仕切り板14で洗浄液供給側と洗浄液排出側とに区分されている。
【0009】洗浄槽10の上面には被洗浄物である熱電対30を挿入する被洗浄物挿入口15が設けられており、該被洗浄物挿入口15には、熱電対30を洗浄槽10内に挿入した状態で被洗浄物挿入口15に固定、封止する、例えばOリング等からなる、シール16が設けられている。
【0010】更に、洗浄槽10の下部には、洗浄液20を抜き取る場合に使用するドレーン口17が設けられている。
【0011】このような洗浄装置の洗浄槽10内に熱電対30を挿入し、熱電対30を被洗浄物挿入口15に固定、封止し、供給口11から洗浄液20を注入すると、洗浄液20は熱電対30の周囲を通過し、中仕切り板14の流通口13を経て、排出口12から流出する。その際、熱電対30の表面は周囲を通過する洗浄液20によって洗浄される。
【0012】洗浄液20としては、洗浄対象に応じて、酸を含む種々の薬液、純水等を用いる。
【0013】上記実施の形態においては、熱電対を洗浄する場合について述べたが、被洗浄物は熱電対に限定されるものではなく、熱電対以外の被洗浄物の洗浄に応用することが可能であることはいうまでもない。
【0014】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る洗浄装置においては、作業者は、洗浄に際して被洗浄物を洗浄槽に取り付け、洗浄液を流し、洗浄後被洗浄物を洗浄槽から取り外すのみの作業を行えばよいので、洗浄作業中に常時被洗浄物を手に保持して人力で洗浄作業を行う必要はなく、作業性が向上するという効果がある。
【0015】また、洗浄液を流し続けることが出来るので、被洗浄物を洗浄液中に浸しておくだけの場合よりも効果的に速やかに洗浄作業が出来るという効果がある。




 

 


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