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発明の名称 並列搬送ロボットの位置出し方法、及びそれに使用する治具
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開平10−71585
公開日 平成10年(1998)3月17日
出願番号 特願平8−225136
出願日 平成8年(1996)8月27日
代理人 【弁理士】
【氏名又は名称】油井 透 (外1名)
発明者 末吉 守
要約 目的


構成
特許請求の範囲
【請求項1】1つのアームを回動、または段積みした2つ以上のアームを連動することによりアーム上に載置した被搬送物を搬送する搬送ロボットが複数台並列に設置され、待機位置で各搬送ロボットのアームが同一直線上に並ぶ並列搬送ロボットにおいて、各搬送ロボットのアームを待機位置に位置出しする際、並列設置された前記複数台の搬送ロボットの1段目のアームを一列に揃え、それらの一側に全アームに共通する全段共通プレートをあてがい、前記1段目のアームの他側から該1段目のアームに共通する段別共通プレートをあてがって該1段目のアームを挟み込み、この状態で全段共通プレート、1段目のアーム、段別共通プレートを一体に固定し、以後同様にして、残りの段のアームについて、段毎に段別共通プレートをあてがって該残りの段のアームを挟み込み、一体に固定していくようにしたことを特徴とする並列搬送ロボットの位置出し方法。
【請求項2】1つのアームを回動、または段積みした2つ以上のアームを連動することによりアーム上に載置した被搬送物を搬送する搬送ロボットが複数台並列に設置され、待機位置で各搬送ロボットのアームが同一直線上に並ぶ並列搬送ロボットにおいて、各搬送ロボットのアームを待機位置に位置出しする際に使用する治具であって、並列設置された前記複数台の搬送ロボットの全アームの一側に共通にあてがわれる全段共通プレートと、搬送ロボットの任意段のアームの他側から該任意段のアームに共通にあてがわれる段別共通プレートと、全段共通プレートと段別共通プレート間に任意段のアームを挟みつけた状態で全段共通プレート、当該任意段のアーム、段別共通プレートを一体に固定する固定手段とを備えたことを特徴とする並列搬送ロボットの位置出し方法に使用する治具。
【請求項3】前記全段共通プレート及び段別共通プレートのアームとの接触面にアームを保護する保護材を設けた請求項2に記載の並列搬送ロボットの位置出し方法に使用する治具。
発明の詳細な説明
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、アームを有する搬送ロボットを複数台並べた並列搬送ロボットの位置出し方法、及びそれに使用する治具に係り、特に半導体製造装置のウェハを搬送するための搬送ロボットに好適なものに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、アームを有する搬送ロボットを並列に並べた並列搬送ロボットが知られている。これはウェハなどの被搬送物を載置するアームが2組あり、これら2組のアームによる並列搬送を行って、搬送を効率化したものである。
【0003】図4は、並列搬送ロボットの基本となるダブルアームロボットと呼ばれる搬送ロボットを示したものである。ダブルアームロボットは、同図に示すように、駆動部1に1段目のアーム2の一端が回転可能に設けられ、1段目のアーム2の他端に2段目のアーム3の一端が回転自在に設けられ、2段目のアーム3の他端側にウェハを載せる基板受載板4が回転自在に設けられている。1段目のアーム2と2段目のアーム3とは重なったとき待機状態となる。1段目のアーム2を回動させると、2段目のアーム3は逆方向に回動し、さらに基板受載板4は2段目のアーム3とは逆方向に回動して、基板受載板4の先端は直進運動をして被搬送物を搬送する。
【0004】このようなアームロボットにおいては、アーム2、3の待機位置が基準となって回転が行なわれるため、待機位置での位置出しが重要である。特に、並列搬送ロボットにおいては、回転する2組のアームを全く対称に動作させる必要があるため、待機状態で2組のアームを一列に並べることは重要となる。
【0005】従来、2列搬送ロボットの2組のアームの位置出しは次のように行なっていた。図3(a)に示すような1段目のアーム2a、2b上に2段目のアーム3a、3bがそれぞれ段積み連結されている2列搬送ロボットにおいて、アーム2a、2bおよびアーム3a、3bを位置決めするときは、図3(b)に示すように、共通プレート5を用意し、この共通プレート5をアーム2a、2b、3a、3bの一側に押し当てるようにして、アーム2a、2b、3a、3bを直線上に並べるようにしている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の技術では、並列搬送ロボットのアームを位置出しするために、アーム2a、2b、3a、3bの一側からプレート5を押し当て、アーム2a、2b、3a、3bを直線上に並べるようにしていたが、これには次のような欠点があった。
【0007】(1) アームの一側からのみプレートを押し当てて整列させているため、アームの他側がフリーで拘束されないこととなって、アームが整列しきれないことがあり、アームの位置出し精度を上げることができない。そのためロボットアームの位置づれが解消できず、ウェハ搬送に支障をきたしていた。
【0008】(2) プレートをアームに強力に押し当てなければアーム調整を行うことができず、また調整後もアームに押し当てたままプレートを保持していないとアーム調整が崩れてしまうため、作業性が悪い。
【0009】(3) プレートをアームに無理に押し当てるとアームを傷つけることがある。
【0010】(4) プレートは位置決めするときだけ使用し、位置決め後取り去るものであるから、装置搬入の際、またはロボット本体搬入の際、アームの動きを押える固定具として使用できない。
【0011】本発明の目的は、アームの位置ずれを解消して、精度の高い搬送ができる並列搬送ロボットの位置出し方法を提供することにある。また、本発明の目的は、アームを簡単に位置出しでき、アームに傷を付けないようにした並列搬送ロボットの位置出し治具を提供することにある。また、本発明の目的は、装置搬入の際、またはロボット本体搬入の際、アームの動きを押える固定具として使用できる並列搬送ロボットの位置出し治具を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明は、1つのアームを回動、または段積みした2つ以上のアームを連動することによりアーム上に載置した被搬送物を搬送する搬送ロボットが複数台並列に設置され、待機位置で各搬送ロボットのアームが同一直線上に並ぶ並列搬送ロボットにおいて、各搬送ロボットのアームを待機位置に位置出しする際、並列設置された前記複数台の搬送ロボットの1段目のアームを一列に揃え、それらの一側に全アームに共通する全段共通プレートをあてがい、前記1段目のアームの他側から該1段目のアームに共通する段別共通プレートをあてがって該1段目のアームを挟み込み、この状態で全段共通プレート、1段目のアーム、段別共通プレートを一体に固定し、以後同様にして、残りの段のアームについて、段毎に段別共通プレートをあてがって該残りの段のアームを挟み込み、一体に固定していくようにしたことを特徴とする並列搬送ロボットの位置出し方法である。
【0013】段別共通プレートを追加して、全段共通プレートと段別共通プレートとの間に各アームを挟み込むようにしたので、全アームが全段共通プレート面に沿って確実に一列に並び、全アームに高い位置出し精度が得られる。
【0014】請求項2に記載の発明は、1つのアームを回動、または段積みした2つ以上のアームを連動することによりアーム上に載置した被搬送物を搬送する搬送ロボットが複数台並列に設置され、待機位置で各搬送ロボットのアームが同一直線上に並ぶ並列搬送ロボットにおいて、各搬送ロボットのアームを待機位置に位置出しする際に使用する治具であって、並列設置された前記複数台の搬送ロボットの全アームの一側に共通にあてがわれる全段共通プレートと、搬送ロボットの任意段のアームの他側から該任意段のアームに共通にあてがわれる段別共通プレートと、全段共通プレートと段別共通プレート間に任意段のアームを挟みつけた状態で全段共通プレート、当該任意段のアーム、段別共通プレートを一体に固定する固定手段とを備えたことを特徴とする並列搬送ロボットの位置出し方法に使用する治具である。
【0015】全段共通プレートと段別共通プレートとの間にアームを挟んで固定するだけの簡単な構造で、精度の高い搬送ができる並列搬送ロボットを簡単に調整できる。
【0016】請求項3に記載の発明は、前記全段共通プレート及び段別共通プレートのアームとの接触面にアームを保護する保護材を設けた請求項2に記載の並列搬送ロボットの位置出し方法に使用する治具である。両プレートのアーム接触面に保護材を設けると、この治具を使ってアームを位置出しする際、アームの損傷を有効に防止できる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下に本発明を2列搬送ロボットに適用した実施の形態を図面を用いて説明する。図1は位置出し手順を詳細に示した3次元図であって、(a)は1段目のアームを治具によって位置出ししている様子を示す2列搬送ロボットの斜視図、(b)は2段目のアームを治具によって位置出ししている様子を示す斜視図である。また、図2は2列搬送ロボット及びその位置出しを説明した概略図であって、(a)は2列搬送ロボットの正面図、(b)は2組のアームを治具によって位置出しした状態を示す平面図である。なお、左側の搬送ロボット10のアームの該当符号にaを、右側の搬送ロボット10のアームの該当符号にbを付した。
【0018】図2(a)に示すように、駆動部11に1段目のアーム12a、12bの一端がそれぞれ回転可能に設けられ、1段目のアーム12a、12bの他端に2段目のアーム13a、13bの一端がそれぞれ回転自在に設けられて2段積みの2列搬送ロボットが構成される。
【0019】このような2列搬送ロボットの位置出しを行うための治具は、2列搬送ロボットの全アーム12a、12b、13a、13bの一側に共通してあてがわれる1枚の全段共通プレート15と、2列搬送ロボットの1段目のアーム12a、12b、及び2段目のアーム13a、13bの他側にそれぞれ段毎に共通にあてがわれる2枚の段別共通プレート16、17と、全段共通プレート15と各段のアーム12a、12b、13a、13bを全段共通プレート15と段別共通プレート16間に挟み込んだ状態で、これらを一体に固定するボルト18とから構成される。全段共通プレート15、段別共通プレート16のアーム12a、12b、13a、13bとの接触面にはこれらのアームを傷つけないようにテフロンブロック19を取り付ける。
【0020】このような治具を使って各アームの待機位置における位置出しをするには、図1(a)に示すように、まず、1段目のアーム12a、12bを一列に揃え、これらの一側から1段目のアーム12a、12bに全段共通プレート15をあてがう。その上で、第1段目のアーム12a、12bの他側から1枚目の段別共通プレート16をあてがって第1段目のアーム12a、12bを全段共通プレート15と段別共通プレート16間に挟み込んで整列させ、この状態で全段共通プレート15、段別共通プレート16及び第1段目のアーム12a、12bをボルト18で一体に固定する。
【0021】次に第1図(b)及び第2図(b)に示すように、第2段目のアーム13a、13bを一列に揃え、これらの他側から2枚目の段別共通プレート17をあてがって第2段目のアーム13a、13bを全段共通プレート15と段別共通プレート17間に挟み込んで整列させ、この状態で全段共通プレート15、段別共通プレート17及び第2段目のアーム13a、13bをボルト18で一体に固定する。
【0022】以上のようにアーム12a、12b、13a、13bを両側からプレート15〜17で挟み込み、ボルト18締めすることにより、アーム12a、12b、13a、13bを同一直線上に並べるようにしたので、アームの位置出しを高精度に行うことができる。このときプレート15〜17の表面にテフロンブロック19を設けてあるので、傷つけることなくアーム12a、12b、13a、13bを調整できる。また、全アーム12a、12b、13a、13bを一括して整列させるのではなく、段毎に整列させていくようにしたので、調整が簡単で、作業性がよい。また、駆動部11側の下段アームから上段のアームにかけて順に整列させていくようにしたので整列後、アームが乱れることがない。その結果、2列搬送ロボットによるウェハ搬送を高精度に行うことができる。
【0023】なお、上述した実施の形態では2段積みのアームについて適用したが、3段積み以上のアームについても適用できる。また、搬送ロボットの並列数は2列に限定されず、3列以上でも可能である。また被搬送物はウェハに限定されない。
【0024】
【発明の効果】本発明方法によれば、プレート間にアームを挟み込んで固定するという簡単な調整方法によって、ロボットのアームの位置出し精度を上げることができ、これにより精度の高い搬送ができる。
【0025】本発明の治具によれば、アームを両側から押え付けるだけの簡単な構造で、並列搬送ロボットの各アームが位置ずれしていても、アームの位置出しを正確に行うことができる。また、プレートに保護材を設けることにより、ロボットアームを傷つけることなく位置出しを行うことができる。また、載置搬入の際またはロボット本体搬入の際、アームの動きを抑える固定治具として使用できる。




 

 


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