米国特許情報 | 欧州特許情報 | 国際公開(PCT)情報 | Google の米国特許検索
 
     特許分類
A 農業
B 衣類
C 家具
D 医学
E スポ−ツ;娯楽
F 加工処理操作
G 机上付属具
H 装飾
I 車両
J 包装;運搬
L 化学;冶金
M 繊維;紙;印刷
N 固定構造物
O 機械工学
P 武器
Q 照明
R 測定; 光学
S 写真;映画
T 計算機;電気通信
U 核技術
V 電気素子
W 発電
X 楽器;音響


  ホーム -> 加工処理操作 -> 鐘紡株式会社

発明の名称 研磨布の製造装置
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開平10−80867
公開日 平成10年(1998)3月31日
出願番号 特願平8−261416
出願日 平成8年(1996)9月9日
代理人 【弁理士】
【氏名又は名称】梁瀬 右司 (外2名)
発明者 後藤 忠清
要約 目的


構成
特許請求の範囲
【請求項1】 布状基材が巻装された第1のリールと、一方の面に離型紙が貼着されて成る両面粘着性シートが巻装された第2のリールと、一定方向に回転し前記第1のリールから繰り出された前記基材の一面側と前記第2のリールから繰り出された前記両面粘着性シートの前記離型紙の貼着面と反対面側とを貼り合わせて研磨素材を形成する一対のラミネートロールと、一定方向に回転または停止を繰り返し回転時に前記研磨素材を挟持して所定方向へ移送し所定長さ分移送したときに停止する一対のニップロールと、前記両ニップロールにより所定長さ分移送された前記研磨素材を切断して所定寸法の研磨布を形成する切断手段と、前記両ラミネートロール及び前記両ニップロールの回転,停止を制御する制御手段とを備えていることを特徴とする研磨布の製造装置。
【請求項2】 前記両ラミネートロールと前記両ニップロールとの間に設けられ前記研磨素材の弛みが所定量以上かどうかを検出する弛み検出手段を更に備え、前記研磨素材の弛みが前記所定量よりも少ないときに、前記制御手段により前記両ニップロールの回転を減速制御することを特徴とする請求項1記載の研磨布の製造装置。
【請求項3】 前記両ラミネートロールと前記両ニップロールとの間に設けられ、前記切断手段による切断後における前記研磨素材の移送方向が前記所定方向からずれているときに前記研磨素材の移送方向を前記所定方向に修正する修正手段を更に備えていることを特徴とする請求項1または2記載の研磨布の製造装置。
【請求項4】 前記第2のリールから繰り出された前記両面粘着性シートを加熱する加熱手段を更に備えていることを特徴とする請求項1,2または3記載の研磨布の製造装置。
発明の詳細な説明
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、布状基材と両面粘着性シートとを貼り合わせて成る研磨素材を所定長さに切断して、ウェハーの研磨等に用いられる研磨布を製造する研磨布の製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】一般に、ウェハーの研磨等に用いられる研磨布は、図5に示すように、スエード調人工皮革等の布状基材1に両面粘着性シート2が貼り合わされて研磨素材3が形成され、この研磨素材3が所定の長さに切断されて製造され、従来これらの工程は手作業により行われ、これにより図6に示すような所定形状の研磨布4を得ている。
【0003】しかし、このような布状基材1と両面粘着性シート2との貼り合わせや、研磨素材3の切断はすべて手作業により行われているため、貼り合わせ部分の汚れ、貼り合わせ枚数の限界の他、切断長さの誤差の増大、切断面の切れ味の悪さ、切断部の直線性の悪さや切断枚数の限界といった様々な問題があり、機械的、連続的な手段の開発が望まれていた。
【0004】この発明が解決しようとする課題は、ウェハーの研磨等に用いられる研磨布を機械的、連続的に製造する製造装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、布状基材が巻装された第1のリールと、一方の面に離型紙が貼着されて成る両面粘着性シートが巻装された第2のリールと、一定方向に回転し前記第1のリールから繰り出された前記基材の一面側と前記第2のリールから繰り出された前記両面粘着性シートの前記離型紙の貼着面と反対面側とを貼り合わせて研磨素材を形成する一対のラミネートロールと、一定方向に回転または停止を繰り返し回転時に前記研磨素材を挟持して所定方向へ移送し所定長さ分移送したときに停止する一対のニップロールと、前記両ニップロールにより所定長さ分移送された前記研磨素材を切断して所定寸法の研磨布を形成する切断手段と、前記両ラミネートロール及び前記両ニップロールの回転,停止を制御する制御手段とを備えていることを特徴としている。
【0006】従って、制御手段の制御のもと、両ラミネートロールにより布状基材と両面粘着性シートとが貼り合わされて研磨素材が形成され、両ニップロール及び切断手段によって研磨素材が所定長さに切断され、所定寸法の研磨布が機械的、連続的に製造される。
【0007】このとき、請求項2記載のように、前記両ラミネートロールと前記両ニップロールとの間に設けられ前記研磨素材の弛みが所定量以上かどうかを検出する弛み検出手段を更に備え、前記研磨素材の弛みが前記所定量よりも少ないときに、前記制御手段により前記両ニップロールの回転を減速制御するようにすれば、ラミネートロールとニップロールとの回転速度の違いによって、研磨素材に過度の張力が加わることによる研磨素材のしわ、破損を防止できる。
【0008】また、請求項3記載のように、前記両ラミネートロールと前記両ニップロールとの間に設けられ、前記切断手段による切断後における前記研磨素材の移送方向が前記所定方向からずれているときに前記研磨素材の移送方向を前記所定方向に修正する修正手段を更に備えていると、研磨素材を所定寸法に精度よく切断することが可能になる。
【0009】さらに、請求項4記載のように、前記第2のリールから繰り出された前記両面粘着性シートを加熱する加熱手段を更に備えていると、布状基材と両面粘着性シートとの接着力を増大することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】この発明の一実施形態について図1ないし図4を参照しつつ説明する。
【0011】図1に示すように、第1のリール10にスエード調人工皮革から成る布状基材11が巻装され、この第1のリール10から基材11が繰り出されて複数個のガイドローラ12を経てほぼ一定速度で回転する一対のラミネートロール13a,13b間に引き込まれる一方、第2のリール15に一方の面に離型紙が貼着された両面粘着性シート16が巻装され、この第2のリール15から両面粘着性シート16が繰り出されてガイドローラ17を経て両ラミネートロール13a,13b間に挟持され、両ラミネートロール13a,13bにより、基材11の一面側と両面粘着性シート16の離型紙の貼着面と反対面側とが貼り合わされて研磨素材18が形成される。
【0012】ここで、図1には示されていないが、両ラミネートロール13a,13bのうち、少なくとも両面粘着性シート16が接触する上側のラミネートロール13aの内部は空洞になっており、このラミネートロール13aの内部に連通した注入パイプを介して約80℃の温水がラミネートロール13a内に注入され、同様にラミネートロール13aの内部に連通した排出パイプを介してオーバーフローした温水がラミネートロール13a内から外部に排出されるようになっており、このような温水の注入,排出のための加熱手段によって、この上側のラミネートロール13aに接触する両面粘着性シート16が加熱され、両面粘着性シート16の基材11への接着力が増大されるようになっている。
【0013】そして、図1に示すように、研磨素材18は弛み検出部20及びガイドローラ21を経てゴムロールから成る一対の第1のニップロール22,22間に挟持され、両第1のニップロール22,22の回転により研磨素材18が所定方向に移送され、研磨素材18が所定長さ分移送したときに両第1のニップロール22,22が停止され、これら両ニップロール22,22及び研磨素材18の移送方向の下流側に設けられたゴムロールから成る一対の第2のニップロール23,23により研磨素材18が挟持された状態で、第1のニップロール22と第2のニップロール23との間に設けられた切断手段25により、所定長さ分移送された研磨素材18が切断されて所定寸法の研磨布26が形成される。
【0014】このようにして得られた研磨布26は、図1に示す昇降台28上に載置された台車29上に順次積載され、台車29上に複数の研磨布26が満載された状態になると、作業者によって台車29ごと各研磨布26が次の作業位置まで運ばれ、昇降台28上には空の台車29が載置される。
【0015】このとき、図示しない制御手段により、両ラミネートロール13a,13bの回転、両第1のニップロール22,22の回転,停止更には各ニップロール22,23のうち上側のニップロール22,23の上下動が制御されるようになっている。
【0016】また、第1のニップロール22の回転量が制御手段により検出され、この第1のニップロール22の回転量に基づき、制御手段によって研磨素材18の移送量が導出され、研磨素材18が所定長さ移送されたかどうかの判断が行われる。
【0017】ところで、図1において、31は移送方向修正手段であり、ガイドローラ21と両第1のニップロール22,22との間に設けられ、切断手段25による切断後における研磨素材18の移送方向が所定方向からずれているかどうかが図外のずれ検出センサなどにより検出され、研磨素材18の移送方向が所定方向からずれているときに制御手段の制御によって移送方向修正手段31が作動し、研磨素材18の移送方向を所定方向に修正するようになっており、詳細には図2に示すように構成されている。
【0018】即ち、図2に示すように、一対の第1の修正ローラ32,32及び一対の第2の修正ローラ33,33の回転軸が研磨素材18の移送方向に直交する方向に対してやや傾き、両第1の修正ローラ32,32及び両第2の修正ローラ33,33がいわば平面視ハ字状に設置されており、両第1の修正ローラ32,32及び両第2の修正ローラ33,33により研磨素材18の両側部が挟持され、研磨素材18の移送方向が所定方向からずれて研磨素材18が例えば図2中の一点鎖線に成るべきところが破線のようにずれてしまった場合に、ずれた側と反対側の両第2の修正ローラ33,33のみが制御手段により回転駆動され、ずれ検出センサにより検出される研磨素材18の移送方向が所定方向に一致するまで修正動作が行われ、修正が完了すれば両第2の修正ローラ33,33は停止され、各修正ローラ32,33はフリーで回転し得る状態になるか或いは両第1の修正ローラ32,32及び両第2の修正ローラ33,33による研磨素材18の挟持が解除される。尚、研磨素材18がこれと逆側にずれた場合も同様の動作による修正が行われる。
【0019】また、上記した両ラミネートロール13a,13bとガイドローラ21との間の弛み検出部20には、図3に示すように、光ファイバ等の非接触式センサである光学センサ或いは接触式センサ等から成り研磨素材18の弛みが所定量以上かどうかを検出する弛み検出手段35が設けられ、弛み検出手段35により検出される研磨素材18の弛み状態が図3中の一点鎖線に示すように所定量よりも少ないときに、制御手段によって両第1のニップロール22,22の回転が減速制御され、研磨素材18の弛みが常に図3中の実線に示すように所定量よりも多い状態に保持され、研磨素材18に過度の張力が加わることを防止している。
【0020】つぎに、両第1のニップロール22,22及び両第2のニップロール23,23の制御手段による制御動作について図4を参照して説明する。
【0021】まず、研磨素材18を移送する場合には、図4(a)に示すように第2のニップロール23,23のうち上側の第2のニップロール23が上動されて研磨素材18から離され、両第1のニップロール22,22により挟持された研磨素材18が両第1のニップロール22,22の回転により移送される。このとき、下側の第2のニップロール23は回転せずにその上を研磨素材18が摺接移動していく。
【0022】そして、研磨素材18が所定長さ分だけ移送されると、図4(b)に示すように上側の第2のニップロール23が下動されると共に、両第1のニップロール22,22の回転が停止され、両第1のニップロール22,22及び両第2のニップロール23,23により研磨素材18が挟持され、この状態で切断手段25による研磨素材18の切断が行われる。
【0023】その後、図4(c)に示すように、上側の第1,第2のニップロール22,23が共に上動されて研磨素材18から離され、切断されて得られた所定寸法の研磨布26は自重及び後方の研磨素材18による押し出しによって台車29の方へ移動し、その間移送方向修正手段31により研磨素材18の移送方向の修正が行われ、この修正が完了すると、図4(d)に示すように、上側の第1のニップロール22が下動されて両第1のニップロール22,22により研磨素材18が挟持され、両第1のニップロール22,22が再び回転駆動されて挟持された研磨素材18の移送が再開される。
【0024】このとき、両ラミネートロール13a,13bの回転速度は両第1のニップロール22,22よりも遅く設定されているが、上記した制御手段による各ニップロール22,23の動作制御によって、切断手段25による切断直前では研磨素材18の弛みは大きく、切断直後の移送再開時の研磨素材18の弛みは小さくなる。
【0025】従って、両ラミネートロール13a,13bにより布状基材1と両面粘着性シート16とを貼り合わせて研磨素材18を形成し、両第1のニップロール22,22及び切断手段25によって研磨素材18を所定長さに切断するため、所定寸法の研磨布26を機械的、連続的に製造することが可能になり、従来の手作業による場合のような貼り合わせ部分の汚れ、切断長さの誤差の増大、切断部の直線性の悪さといった問題を解消することができ、品質の高い研磨布26を得ることができる。
【0026】さらに、弛み検出手段35を設け、研磨素材18の弛みが所定量よりも少ないときに、制御手段により両第1のニップロール22,22の回転を減速制御するため、両ラミネートロール13a,13bと両第1のニップロール22との回転速度の違いによって研磨素材18に過度の張力が加わることを防止できる。
【0027】また、移送方向修正手段31により切断後における研磨素材18の移送方向を所定方向に修正するようにしているため、研磨素材18を所定寸法に精度よく切断することが可能になる。
【0028】さらに、上側のラミネートロール13aの内部に温水を注入することによって両面粘着性シート16を加熱するようにしたため、布状基材11と両面粘着性シート16との接着力を増大することができる。このとき、温水に代えて水蒸気を注入しても、同等の効果を得ることができる。
【0029】また、切断手段25による研磨素材18の切断前後において、制御手段により両第1のニップロール22,22及び両第2のニップロール23,23を上記したように制御するため、研磨素材18の切断の直線性を良好にすることができる。
【0030】なお、布状基材11は上記したスエード調人工皮革に限るものでないのは勿論である。
【0031】さらに、上記実施形態では、移送方向修正手段31を修正ローラ32,33により構成した場合について説明したが、移送方向修正手段31の構成は特にこれに限定されるものではなく、切断後における研磨素材18の移送方向を所定方向に修正しうる構成であればよい。
【0032】また、両面粘着性シート18を加熱する加熱手段も上記した構成に限るものではなく、第2のリール15から繰り出された両面粘着性シート16を直接加熱する赤外線その他のヒータ等であってもよい。
【0033】さらに、上記実施形態では切断手段25よりも移送方向の下流側に研磨素材18を挟持するもう一対の第2のニップロール23,23を設けているが、これら第2のニップロール23,23は必ずしも必要ではなく、特に第2のニップロール23,23を設けなくてもこの発明を実施することが可能である。
【0034】
【発明の効果】以上のように、請求項1記載の発明によれば、両ラミネートロールにより布状基材と両面粘着性シートとを貼り合わせて研磨素材を形成し、両ニップロール及び切断手段によって研磨素材を所定長さに切断するようにしたため、所定寸法の研磨布を機械的、連続的に製造することが可能になり、良質の研磨布を容易に得ることができる。
【0035】また、請求項2記載のように、弛み検出手段を設けたことにより、ラミネートロールとニップロールとの回転速度の違いによって研磨素材に過度の張力が加わることを防止できる。
【0036】さらに、請求項3記載のように、切断手段による切断後における研磨素材の移送方向を所定方向に修正する修正手段を設けると、研磨素材を所定寸法に精度よく切断することが可能になる。
【0037】また、請求項4記載のように、両面粘着性シートを加熱する加熱手段を設けると、布状基材と両面粘着性シートとの接着力の増大を図ることができる。




 

 


     NEWS
会社検索順位 特許の出願数の順位が発表

URL変更
平成6年
平成7年
平成8年
平成9年
平成10年
平成11年
平成12年
平成13年


 
   お問い合わせ info@patentjp.com patentjp.com   Copyright 2007-2013