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発明の名称 回転式薄膜形成方法
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開平10−165883
公開日 平成10年(1998)6月23日
出願番号 特願平8−352246
出願日 平成8年(1996)12月11日
代理人 【弁理士】
【氏名又は名称】野口 宏
発明者 斉藤 隆穂 / 清家 善之
要約 目的


構成
特許請求の範囲
【請求項1】 水平な回転盤の上に被コーティング物を載せて回転させつつコーティング剤を霧状にして吹き付けることを特徴とする回転式薄膜形成方法。
【請求項2】 回転盤の回転数が低い状態でコーティング剤を吹き付けた後に高速度で回転させることを特徴とする請求項1記載の回転式薄膜形成方法。
【請求項3】 コーティング剤を吹き付けるノズルを回転盤の半径方向に任意の速度で進退させることを特徴とする請求項1または2記載の回転式薄膜形成方法。
【請求項4】 前記ノズルが噴射方向変更可能になっていることを特徴とする請求項3記載の回転式薄膜形成方法。
発明の詳細な説明
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はウエハーやガラス基板などの被コーティング物にレジスト液などのコーティング剤を均一に塗布する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ウエハーにレジストの膜を形成するにはウエハーを回転盤に載せて高速度で回転させつつ、その中央部にレジスト液を滴下し、遠心力によりウエハーの全面に均一な塗膜を形成していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の方法ではレジスト液が糸状に拡散して未塗布部分を残さないために、必要量の数十倍〜数百倍の量を滴下しているのが実状であって、高価なレジスト液が無駄に消費され、コスト低減の妨げとなっていた。
【0004】
【課題を解決するための手段、作用及び効果】上記課題を解決するための手段として、請求項1の発明は水平な回転盤の上に被コーティング物を載せて回転させつつコーティング剤を霧状にして吹き付けるようにしたからコーティング剤が被コーティング物の表面にほぼ均一に塗布された後に遠心力により膜状に広がるのであって短時間で均一な膜が形成されるとともに無駄に飛び散るコーティング剤が少なくなってコストの低減が図られる効果があり、請求項2の発明は請求項1の発明において回転盤の回転数が低い状態でコーティング剤を吹き付けた後に高速度で回転させるようにしたから低速回転時にコーティング剤をほぼ均一に塗着させた後に高速回転させて遠心力により薄く広げられるのであって無駄に飛び散るコーティング剤がさらに少なくなり、請求項3の発明は請求項1または2の発明においてコーティング剤を吹き付けるノズルを回転盤の半径方向に任意の速度で進退させるようにしたからコーティング剤をより均一に被コーティング物に塗着させることができ、請求項4の発明は請求項3の発明においてノズルが噴射方向変更可能になっているようにしたから例えば周速度の高い被コーティング物の外周部分を中心部分よりコーティング剤を多量に塗布させることにより全体として均一に塗着させることができる効果がある。
【0005】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【0006】図において、1は図示しないモーターにより回転駆動される回転盤であって、その上面にウエハーやガラス基板などの平らな被コーティング物aが載置されている。
【0007】3はエクステンション2の先端に取り付けられたノズルであって、エクステンション2から圧送されたコーティング剤が霧状となって被コーティング物aに吹き付けられ、塗着するようになっている。
【0008】本実施の形態は、水平な回転盤1の上に被コーティング物aを載せて回転させつつコーティング剤を霧状にして吹き付けるようにしたからコーティング剤が被コーティング物の表面にほぼ均一に塗布された後に遠心力により膜状に広がるのであって短時間で均一な膜が形成されるとともに無駄に飛び散るコーティング剤が少なくなってコストの低減が図られる効果がある。
【0009】上記実施の形態において回転盤1の回転数が300〜600RPM程度の低い状態でコーティング剤を吹き付けた後に2000RPM以上の高速度で回転させるようにすると低速回転時にコーティング剤をほぼ均一に塗着させた後に高速回転による遠心力によって薄く広げられるのであって無駄に飛び散るコーティング剤がさらに少なくなる。
【0010】また、上記実施の形態においてコーティング剤を吹き付けるノズル3を回転盤1の半径方向に任意の速度で進退させるようにするとコーティング剤をより均一に被コーティング物に塗着させることができる。
【0011】さらに、上記実施の形態においてノズル1の噴射方向が変更可能になっていると、例えば周速度の高い被コーティング物aの外周部分を中心部分よりコーティング剤を多量に塗布させることにより全体として均一に塗着させることができる。




 

 


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