米国特許情報 | 欧州特許情報 | 国際公開(PCT)情報 | Google の米国特許検索
 
     特許分類
A 農業
B 衣類
C 家具
D 医学
E スポ−ツ;娯楽
F 加工処理操作
G 机上付属具
H 装飾
I 車両
J 包装;運搬
L 化学;冶金
M 繊維;紙;印刷
N 固定構造物
O 機械工学
P 武器
Q 照明
R 測定; 光学
S 写真;映画
T 計算機;電気通信
U 核技術
V 電気素子
W 発電
X 楽器;音響


  ホーム -> 加工処理操作 -> 三浦工業株式会社

発明の名称 脱気装置
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開平10−71301
公開日 平成10年(1998)3月17日
出願番号 特願平8−248874
出願日 平成8年(1996)8月30日
代理人
発明者 白石 仁士 / 菅野 孝志
要約 目的


構成
特許請求の範囲
【請求項1】 真空吸引孔4を穿設した芯管5にチューブ6を巻回して脱気エレメント2を構成し、該脱気エレメント2を真空チャンバ3内に着脱自在に装着したことを特徴とする脱気装置。
【請求項2】 前記脱気エレメント2が、前記芯管5の両端に固着した第一プレート8および第二プレート13と、該両プレート8,13間において、前記芯管5に巻回されたチューブ6とにより構成されていることを特徴とする請求項1に記載の脱気装置。
【請求項3】 前記第一プレート8が、前記脱気エレメント2を前記真空チャンバ3内に固定する固定手段7を備え、また前記第二プレート13が真空吸引ライン9との接続手段10を備えるとともに、前記チューブ6の両端との液体接続手段11,12を備えたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の脱気装置。
発明の詳細な説明
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、液体中に溶存する気体を脱気処理する脱気装置に関するもので、さらに詳しくは、溶剤(たとえば、シンナー等)用の脱気装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体製造工程において、スピンコータにてフォトレジストを塗布後、シンナーをウエハの周端部に吐出ノズルから滴下し塗布する工程があるが、圧送用の窒素が溶剤に大量に溶け込むために、前記吐出ノズルまでの配管内で気泡が発生し、シンナーの吐出が円滑になされず半導体製造の歩留りが低下し問題となっている。そこで、前記溶剤(シンナー等)を脱気するため、溶剤に耐性のあるテフロン膜を使用して脱気装置を作るが、これまでは、中空糸を複数本定尺に揃えて端部を封止する必要があった。この端部の封止部分は、テフロンの場合非常に固着がむずかしく、したがって前記端部から溶剤が漏れ問題となっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、上記問題点に鑑み、溶剤漏れが発生しない脱気装置を提供することを目的とするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、まず請求項1に記載の発明は、真空吸引孔を穿設した芯管にチューブを巻回して脱気エレメントを構成し、該脱気エレメントを真空チャンバ内に着脱自在に装着したことを特徴としており、また請求項2に記載の発明は、前記脱気エレメントが、前記芯管の両端に固着した第一プレートおよび第二プレートと、該両プレート間において、前記芯管に巻回されたチューブとにより構成されていることを特徴としており、さらに請求項3に記載の発明は、前記第一プレートが、前記脱気エレメントを前記真空チャンバ内に固定する固定手段を備え、また前記第二プレートが真空吸引ラインとの接続手段を備えるとともに、前記チューブの両端との液体接続手段を備えたことを特徴としている。
【0005】
【発明の実施の形態】つぎに、この発明の実施の形態について説明すると、この発明の脱気装置は、溶剤用脱気装置として実現される。すなわち、この脱気装置は、脱気エレメントを真空チャンバ内に着脱自在に装着した構成としている。前記脱気エレメントは、外周面に真空吸引孔を穿設した芯管を設け、この芯管の一端に、前記真空チャンバに固定する固定手段としての固定ボルトを設けた第一プレートを固着し、他端に、真空吸引ラインとの接続手段としての接続部材と、液体接続手段としての液体入口部材および液体出口部材とを備えた第二プレートを固着し、前記芯管の外周面に所定長さの多孔質性高分子からなる一本のチューブ(たとえば、テフロンチューブ)を密着しない粗となるようにゆるく巻きつけ、このチューブの一端を前記液体入口部材に接続するとともに、他端を前記液体出口部材に接続した構成となっている。また、前記真空チャンバは、底部に穴を穿設した円筒容器であって、上端部は前記脱気エレメントの第二プレートが嵌合できる形状に形成されている。
【0006】前記構成の脱気エレメントと真空チャンバの組み立ては、前記真空チャンバの底部に穿設した穴に、前記脱気エレメントの第一プレートに設けた固定ボルトを挿入するとともに、前記第二プレートの外周部にシール部材を装着し前記真空チャンバの上端部に嵌合させた後、この真空チャンバの底部外側に突出した前記固定ボルトにシール付袋ナットを螺合させ、この袋ナットを締め付けることにより前記第二プレートと真空チャンバの上端部を封着する。そして、前記接続部材に真空吸引ラインを接続するとともに、前記液体入口部材に液体供給ラインを接続し、前記液体出口部材に処理液ラインを接続して脱気装置の組み立てを完了する。
【0007】前記構成の脱気装置によれば、真空吸引ラインに接続してある真空ポンプを駆動し、真空チャンバ内が所定の真空度となるように吸引する。そして、液体供給ラインから供給される液体(たとえば、シンナー等の溶剤)を液体入口部材を介してチューブ内に流入させる。チューブ内に流入した液体は、チューブ内を流通する過程(たとえば、チューブ長さ約40m)で液体中に溶存する気体が脱気される。脱気された処理液は、液体出口部材を介して処理液ラインへ流出する。
【0008】以上のように、この発明の脱気装置は、所定長さの一本のチューブを芯管に巻き付け、その両端部を液体入口部材および液体出口部材を介して確実に接続したものであるから、従来のように液体が漏れることはない。
【0009】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。図1は、この発明を実施した脱気装置の構造を概略的に示す断面説明図である。
【0010】図1において、この発明の脱気装置1は、脱気エレメント2を真空チャンバ3内に着脱自在に装着した構成としている。前記脱気エレメント2は、外周面に真空吸引孔4を穿設した芯管5を設け、この芯管5の一端に、前記真空チャンバ3に固定する固定手段としての固定ボルト7を設けた第一プレート8を固着している。また、芯管5の他端には、真空吸引ライン9との接続手段としての接続部材10と、液体接続手段としての液体入口部材11および液体出口部材12とを備えた第二プレート13を固着している。そして、前記芯管5の外周面に多孔質性高分子からなる一本のチューブ6(たとえば、外径3m/m,内径2.5m/m,長さ約40mのテフロンチューブ)を密着しない粗となるようにゆるく巻きつけ、このチューブ6の一端を前記液体入口部材11に接続するとともに、他端を前記液体出口12に接続した構成となっている。さらに、前記真空チャンバ3は、底部に前記第一プレート8に設けた固定ボルト7を挿入する穴14を穿設した円筒容器であって、上端部にL形状の切欠部15を形成し、この切欠部15と前記脱気エレメント2の第二プレート13の外周面が嵌合するようになっている。
【0011】前記接続部材10および液体入口部材11,液体出口部材12は、図2に示すように、市販されている合成樹脂製のアダプターであって、それぞれ前記第二プレート13の所定位置に固着してあり、前記真空吸引ライン9および液体供給ライン16,処理液ライン17ならびに前記チューブ6の両端部がそれぞれ確実に接続されるようになっている。
【0012】前記構成の脱気エレメント2と真空チャンバ3との組み立ては、図1に示すように、前記真空チャンバ3の底部に穿設した穴14に前記第一プレート8に設けた固定ボルト7を挿入するとともに、前記第二プレート13の外周面に形成した切欠部にシール部材18を装着し、このシール部材18を装着した第二プレート13を真空チャンバ3の上端部に形成した切欠部15に嵌合させる。そして、前記真空チャンバ3の底部外側に突出した前記固定ボルト7にシール付袋ナット19を螺合させ、この袋ナット19を締め付けることにより、前記第二プレート13と真空チャンバ3の切欠部15とをシール部材18を介して封着する。そして、前記第二プレート13に固着してある前記接続部材10に真空吸引ライン9を接続するとともに、前記液体入口部材11に液体供給ライン16を接続し、前記液体出口部材12に処理液ライン17を接続して脱気装置1の組み立てを完了する。
【0013】前記構成の脱気装置1によれば、真空吸引ライン9に接続してある真空ポンプ(図示省略)を駆動し、真空チャンバ3内が所定の真空度となるように吸引する。そして、液体供給ライン16に設けた供給ポンプ(図示省略)を駆動し、所定圧の液体(たとえば、シンナー等の溶剤)を液体入口部材11を介して脱気エレメント2のチューブ6内へ流入させる。チューブ6内に流入した液体は、チューブ6内を流通する過程(たとえば、チューブ長さ40m)において液体中に溶存する気体が脱気される。脱気された処理液は、液体出口部材12を介して処理液ライン17へ流出する。
【0014】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれば、真空吸引孔を穿設した芯管にチューブを巻回して脱気エレメントを構成し、該脱気エレメントを真空チャンバ内に着脱自在に装着した脱気装置としたので、従来のように、中空糸を複数本定尺に揃えて端部を封止する必要はなく、したがって液体漏れが発生することはない。また、脱気エレメントを真空チャンバに着脱自在に装着した構成であるので、メンテナンスが容易であり、かつシンプルな構造の脱気装置であるから安価に提供することができる。




 

 


     NEWS
会社検索順位 特許の出願数の順位が発表

URL変更
平成6年
平成7年
平成8年
平成9年
平成10年
平成11年
平成12年
平成13年


 
   お問い合わせ info@patentjp.com patentjp.com   Copyright 2007-2013