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発明の名称 ウェーハ接着装置
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開平10−202516
公開日 平成10年(1998)8月4日
出願番号 特願平9−14345
出願日 平成9年(1997)1月28日
代理人 【弁理士】
【氏名又は名称】志賀 正武 (外2名)
発明者 佐伯 和憲 / 澤田 敏幸 / 星野 定夫
要約 目的


構成
特許請求の範囲
【請求項1】 接着剤を塗布したウェーハを複数枚キャリアプレートに接着する接着機構と、該接着機構に前記ウェーハを供給するウェーハ供給機構とを具備するウェーハ接着装置において、前記ウェーハ供給機構は、厚さ分配機構を備えてなり、該厚さ分配機構には、厚さ分類前のウェーハをセットするウェーハセット部と、 該ウェーハセット部にセットされた前記ウェーハの厚さを測定する測定部と、該測定部が測定した測定結果に基づいて前記ウェーハを供給する供給部とが設けられていることを特徴とするウェーハ接着装置。
【請求項2】 請求項1記載のウェーハ接着装置において、前記供給部は、前記測定部が測定した測定結果を記憶すると共に該測定結果に基づいて前記複数のウェーハのグループを形成して記憶する記憶部と、厚さを測定された前記ウェーハをストックするストック部と、該ストック部から前記グループごとに前記ウェーハを取り出して前記接着機構に供給する分配部と、前記記憶部の記憶により前記分配部に前記ウェーハを取り出す指令を与える制御部とを具備することを特徴とするウェーハ接着装置。
【請求項3】 請求項1または2記載のウェーハ接着装置において、前記厚さ分配機構には、設定範囲外の厚さを有する前記ウェーハを排出する排出部と、該排出部により排出された前記ウェーハの代替部材を供給する代替部材供給部とが備えられていることを特徴とするウェーハ接着装置。
【請求項4】 請求項1から3のいずれかに記載のウェーハ接着装置において、前記ウェーハ供給機構には、前記厚さ分配機構に加えて前記ウェーハを供給する補助供給機構が備えられていることを特徴とするウェーハ接着装置。
【請求項5】 請求項1から4のいずれかに記載のウェーハ接着装置において、前記ストック部は複数設けられていることを特徴とするウェーハ接着装置。
発明の詳細な説明
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体ウェーハの研磨を行うにあたり、キャリアプレートにウェーハを接着するのに好適なウェーハ接着装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】周知のように、シリコン単結晶などの半導体ウェーハ(以下ウェーハ)は、集積回路等を形成する前に研磨工程を設けて、表面を平滑にすると共にその平坦度を向上させている。この研磨工程においては、工程時間の短縮および他の工程で直接ウェーハを保持して損傷を与えることを防ぐために、キャリアプレート上にウェーハを複数接着した状態で研磨を施している。
【0003】図8にキャリアプレート上にウェーハを接着する装置の概略構成の一例を示す。この図において、符号1は接着装置構成体である。接着装置構成体1は、キャリアプレート(図示せず)をストックするストッカー2からキャリアプレートを搬入する搬入装置3と、搬入されたキャリアプレートを洗浄乾燥する洗浄乾燥装置4と、洗浄乾燥されたキャリアプレートを加熱する加熱装置5と、接着剤を塗布されたウェーハ(図示せず)に接着剤を塗布すると共にこのウェーハを加熱されたキャリアプレートに接着する接着装置6と、ウェーハが接着されたキャリアプレートを冷却する冷却装置7と、冷却されたキャリアプレートを搬出する搬出装置8とから概略構成されている。
【0004】そして、接着装置構成体1から搬出されたキャリアプレートは、図示しない研磨装置へ送出されて、そこでウェーハの研磨が行われる。上述したように、研磨装置においてウェーハは、キャリアプレート上に複数接着された状態で研磨される。このとき、各ウェーハの厚さの差が大きいと、研磨当初、厚さの大きいウェーハに対して研磨が集中して施されるため、その部分にかかる圧力が過大になりウェーハに歪み等の不具合が発生することがある。
【0005】また、厚さの差が大きい分、研磨に要する時間も長くなるという不具合もあった。そのため、キャリアプレートにウェーハを接着する際は、厚さの差が少ないウェーハを接着することが要求される。
【0006】図9は、従来技術によるウェーハの接着装置の一例を示す図である。接着装置6は、ウェーハ移送ロボット9と接着剤塗布部10と接着部11とから構成されている。ウェーハ移送ロボット9は、ウェーハを厚さ別に分類する厚さ分類装置(図示せず)から移動されたウェーハを把持して接着剤塗布部10へ移送するものである。
【0007】接着剤塗布部10は、移送されたウェーハに接着剤を塗布するものであって、この接着剤塗布部10には、二つの並列した搬送路12,13が形成され、これら搬送路12,13に沿ってそれぞれ、センタリング装置14と、洗浄装置15と乾燥装置16と塗布装置17と溶剤揮発装置18とオリフラ位置合わせ装置19とが設けられている。また、搬送路12,13には、それぞれウェーハ搬送装置20が設けられており、このウェーハ搬送装置20は、センタリング装置14、洗浄装置15、乾燥装置16、塗布装置17、溶剤揮発装置18、オリフラ位置合わせ装置19にウェーハを順次搬送するものである。
【0008】センタリング装置14は、移送されたウェーハとウェーハ搬送装置20との相対位置を修正するものであり、洗浄装置15は、洗浄液を用いてウェーハの表面に付着した塵埃等を洗浄するものである。乾燥装置16は、洗浄装置15でウェーハに付着した洗浄液を加熱板により加熱乾燥させるものである。
【0009】塗布装置17は、乾燥装置16で乾燥されたウェーハの表面に接着剤を塗布するものであって、溶剤揮発装置18は、接着剤を塗布されたウェーハを加熱することにより接着剤に含まれる溶剤を揮発させるものである。オリフラ位置合わせ装置19は、ウェーハに形成されたオリエンテーションフラット面を検出して、このオリエンテーションフラット面を決められた方向に位置合わせするものである。
【0010】接着部11は、移載ロボット21とウェーハ載置部24と貼付装置22とから構成されており、移載ロボット21は、ウェーハ搬送装置20により搬送されたウェーハをウェーハ載置部24に移載するものである。貼付装置22は、上述の加熱されたキャリアプレート23に移載されたウェーハを貼付するものである。
【0011】上記の構成の接着装置6により、ウェーハをキャリアプレート23に接着する動作を以下に説明する。まず、厚さ分類装置により厚さ別に分類されたウェーハは、ウェーハ移送ロボット9により搬送路12,13のセンタリング装置14に交互に移送される。このセンタリング装置14によりウェーハは、ウェーハ搬送装置20に対する相対位置が修正される。
【0012】そして、相対位置が修正されたウェーハは、洗浄装置15による洗浄、乾燥装置16による乾燥、塗布装置17による接着剤の塗布、溶剤揮発装置18における溶剤の揮発、オリフラ位置合わせ装置19による位置合わせの後、移載ロボット21によってウェーハセット部24へ一枚ずつ移載される。このとき、この移載と同期して、ウェーハ搬送装置20により前記センタリング装置14、洗浄装置15、乾燥装置16、塗布装置17、溶剤揮発装置18およびオリフラ位置合わせ装置19の間でのウェーハの搬送が行われる。この後、ウェーハは、貼付装置22によりキャリアプレート23に所定枚数貼付されて、次工程の冷却装置7へ送られる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述したような従来のウェーハ接着装置には、以下のような問題が存在する。厚さ分類装置とウェーハ移送ロボットとが一体的に構成されていないため、これらの間に厚さ分類されたウェーハを移動させる移動手段が必要であった。そのため、移動手段としての装置を別途設けなければならなかった。また、移動のための時間も掛かるため、生産効率の低下にもなっていた。
【0014】本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、生産効率の向上に寄与すると共に、厚さ分類装置とウェーハ移送ロボットとの間にウェーハの移動手段を設ける必要のないウェーハ接着装置を提供することを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。請求項1記載のウェーハ接着装置は、接着剤を塗布したウェーハを複数枚キャリアプレートに接着する接着機構と、該接着機構に前記ウェーハを供給するウェーハ供給機構とを具備するウェーハ接着装置において、前記ウェーハ供給機構は、厚さ分配機構を備えてなり、該厚さ分配機構には、厚さ分類前のウェーハをセットするウェーハセット部と、該ウェーハセット部にセットされた前記ウェーハの厚さを測定する測定部と、該測定部が測定した測定結果に基づいて前記ウェーハを供給する供給部とが設けられていることを特徴とする。
【0016】従って、本発明のウェーハ接着装置によれば、接着機構にウェーハを供給するウェーハ供給機構が設けられており、ウェーハ供給機構には厚さ分配機構が備えられているので、厚さ分類前のウェーハを測定部によりウェーハの厚さが測定可能であり、測定部の測定結果に基づいて供給部がウェーハを接着機構に供給できる。
【0017】請求項2記載のウェーハ接着装置は、請求項1記載のウェーハ接着装置において、前記供給部は、前記測定部が測定した測定結果を記憶すると共に該測定結果に基づいて前記複数のウェーハのグループを形成して記憶する記憶部と、厚さを測定された前記ウェーハをストックするストック部と、該ストック部から前記グループごとに前記ウェーハを取り出して前記接着機構に供給する分配部と、前記記憶部の記憶により前記分配部に前記ウェーハを取り出す指令を与える制御部とを具備することを特徴とする。
【0018】従って、本発明のウェーハ接着装置によれば、記憶部が測定したウェーハの厚さとその厚さに基づいて形成したグループを記憶する。その記憶に基づいて制御部が、ストック部からグループごとウェーハを取り出す指令を分配部に与える。そして、制御部からの指令により、分配部がストック部からグループごとにウェーハを取り出して接着機構に供給することができる。
【0019】請求項3記載のウェーハ接着装置は、請求項1または2記載のウェーハ接着装置において、前記厚さ分配機構には、設定範囲外の厚さを有する前記ウェーハを排出する排出部と、該排出部により排出された前記ウェーハの代替部材を供給する代替部材供給部とが備えられていることを特徴とする。
【0020】従って、本発明のウェーハ接着装置によれば、接着機構にウェーハを供給する際に、設定範囲外のウェーハが排出部により排出されると共に、代替部材供給部により排出されたウェーハの代替部材が接着機構に供給される。
【0021】請求項4記載のウェーハ接着装置は、請求項1から3のいずれかに記載のウェーハ接着装置において、前記ウェーハ供給機構には、前記厚さ分配機構に加えて前記ウェーハを供給する補助供給機構が備えられていることを特徴とする。
【0022】従って、本発明のウェーハ接着装置によれば、厚さ分配機構を使用しないで補助供給機構により接着機構にウェーハを供給することができる。
【0023】請求項5記載のウェーハ接着装置は、請求項1から4のいずれかに記載のウェーハ接着装置において、前記ストック部は、複数設けられていることを特徴とする。
【0024】従って、本発明のウェーハ接着装置によれば、分配部が一つのストック部からウェーハを取り出して接着機構に供給する間に、別のウェーハの厚さを測定して他のストック部にストックすることができる。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、本発明のウェーハ接着装置の実施の形態を、図1ないし図7を参照して説明する。これらの図において、従来例として示した図8および図9と同一の構成要素には同一符号を付し、その説明を省略する。
【0026】図1において、符号25は、ウェーハ接着装置である。ウェーハ接着装置25は、接着機構26と、この接着機構26にウェーハ28を供給するウェーハ供給機構27とから構成されるものである。接着機構26は、一枚のキャリアプレート23に接着剤を塗布されたウェーハ28を複数枚(図では5枚)接着するものであって、ウェーハ移送ロボット9と接着剤塗布部10と接着部11とから構成されている。
【0027】接着剤塗布部10は、供給されたウェーハ28に接着剤を塗布するものであって、この接着剤塗布部10には、二つの並列した搬送路12,13が形成され、これら搬送路12,13に沿ってそれぞれ、センタリング装置14と、洗浄装置15と乾燥装置16と塗布装置17と溶剤揮発装置18とオリフラ位置合わせ装置19とが設けられている。また、搬送路12,13には、それぞれウェーハ搬送装置20が設けられており、このウェーハ搬送装置20は、センタリング装置14、洗浄装置15、乾燥装置16、塗布装置17、溶剤揮発装置18、オリフラ位置合わせ装置19にウェーハ28を順次搬送するものである。
【0028】接着部11は、接着剤塗布部10で接着剤を塗布されたウェーハ28をキャリアプレート23に接着するものであって、移載ロボット21とウェーハ載置部24と貼付装置22とから構成されるものである。
【0029】ウェーハ供給機構27は、厚さ分配機構29と補助供給機構30とから構成されるものである。厚さ分配機構29は、ウェーハセット部31と測定部32と供給部33と排出部34と代替部材供給部35とから構成されている。ウェーハセット部31は、図2に示すように、厚さ分類前のウェーハをセットするものであって、複数のカセット36a,…,36dから構成されており、このカセット36a,…,36dは、図6に示すように、複数のウェーハ28を収納する収納部37をその内部に有するものである。
【0030】また、これらカセット36a,…,36dは、搬出入装置59の周りに環状に配置されるものである。搬出入装置59は、ウェーハセット部31のカセット36a,…,36dから順次ウェーハ28を取り出して測定部32の測定台38に載置するものであって、回転自在な回転台60と、回転台60上に設けられその半径方向に移動自在な搬出入アーム61とから構成されている。
【0031】図3に示すように、測定部32は、測定台38と測定部本体39と載置台40と移送装置41とから概略構成されている。測定部本体39は、ウェーハセット部31から測定台38に移送されたウェーハ28の厚さを測定するものであって、図4に示すように、測定アーム42とセンサ43とから構成されている。
【0032】測定アーム42は、その基端部に連結されたシリンダ44により図4中、左右方向(図3中では上下方向)に移動自在とされるもので、先端部には、上下方向中間部に間隙45を隔てて上壁部46と下壁部47が形成されている。また、上壁部46と下壁部47には、上下方向に対向するようにそれぞれ、センサ43が設けられており、これらセンサ43は、測定アーム42がシリンダ44により測定台38側に移動したときに間隙45にウェーハ28が位置して、ウェーハ28の厚さが測定可能とされるものである。
【0033】図5に示すように、移送装置41は、測定後のウェーハ28を測定台38から載置台40に移送するものであって、先端にウェーハ吸着具48が連結されたロッド49と、ロッド49の他端に連結されたシリンダ50とから構成されており、このシリンダ50は、ロッド49を測定台38と載置台40との間および上下方向に自在に移動させるものである。
【0034】供給部33は、測定部32が測定した測定結果に基づいてウェーハ28を供給するものであって、記憶部73と第一、第二のストック部52,53(ストック部)と制御部74と分配部51とから構成されるものである。記憶部73は、測定部32が測定した測定結果を記憶して、この測定結果に基づいてキャリアプレート23に接着する厚さの差が少ないウェーハのグループを形成すると共に、これらのグループが第一のストック部52または第二のストック部53内にストックされた位置を記憶するものである。
【0035】また、記憶部73は、入力部(図示せず)より入力されたウェーハ28の厚さの上限値と下限値とを記憶するものである。これらの上限値と下限値は、接着機構26に供給するウェーハ28の厚さの許容範囲を設定するための値である。
【0036】第一、第二のストック部52,53は、測定部32による測定後のウェーハ28を待機させるものであって、それぞれ複数のカセット58a,…,58dを有している。これらカセット58a,…,58dは、第一、第二の搬出入装置54,55の周りにそれぞれ環状に配置されており、上述したカセット36a,…,36dと同様に、複数のウェーハ28をその内部に収納可能とされるものである。
【0037】制御部74は、記憶部73の記憶によって分配部51にウェーハ28を取り出す指令を与えると共に取り出されたウェーハ28の厚さが上限値および下限値により設定された範囲外のときに、ウェーハ28を排出部34へ排出して、代替部材供給部35から代替部材(図示せず)を取り出す指令を移送装置57に与えるものである。
【0038】分配部51は、第一、第二の搬出入装置54,55と、載置台56と移送装置57とから構成されるものである。第一、第二の搬出入装置54,55は、載置台40に載置されたウェーハ28をそれぞれ、第一、第二のストック部52,53へ搬入すると共に、制御部74の指令に基づいて第一、第二のストック部52,53のカセット58a,…,58dからそれぞれ、グループごとに順次ウェーハ28を取り出して載置台56に載置するものであって、回転自在な回転台62,63と、回転台62,63上に設けられその半径方向に移動自在な搬出入アーム64,65とから構成されている。
【0039】図7に示すように、移送装置57は、載置台56に載置されたウェーハ28をターンテーブル66に設置された載置台67に載置するものであって、このターンテーブル66は、図示しないステッピングモータによって90゜ずつ回転することにより載置されたウェーハ28をウェーハ移送ロボット9へ搬送するものである。また、移送装置57は、載置台56に載置されたウェーハ28の厚さが上限値および下限値により設定された範囲外のときに、制御部74の指令によりウェーハ28を排出部34へ排出すると共に代替部材供給部35から代替部材(図示せず)を取り出してターンテーブル66の載置台67に載置するものである。
【0040】排出部34は、設定範囲外の厚さを有するウェーハ28を収納するものでカセット68により構成されており、カセット68は複数のウェーハ28をその内部に収納するものである。代替部材供給部35は、排出部34により排出されたウェーハ28の代替部材を供給するものであって、内部に代替部材を収納したカセット69により構成されるものである。
【0041】補助供給機構30は、厚さ分配機構29に加えて接着機構26にウェーハ28を供給するものであって、移送装置70と補助セット部71とから構成されている。補助セット部71は、厚さ分配機構29を経由せずに接着機構26に供給するウェーハ28をセットするものであって、複数のカセット72a,…,72dから構成されるものである。
【0042】これらカセット72a,…,72dは、移送装置70の周りに環状に配置されており、上述したカセット36a,…,36dと同様に、複数のウェーハ28をその内部に収納可能とされるものである。移送装置70は、補助セット部71にセットされたウェーハ28を前記ターンテーブル66の載置台67に移送するものである。
【0043】上記の構成のウェーハ接着装置25によりウェーハ28をキャリアプレート23に接着する動作を以下に説明する。ここでは、最初に、ウェーハ供給機構27のうち厚さ分配機構29によりウェーハ28を接着機構26に供給する場合の例を説明する。まず、入力部からウェーハ28の厚さの上限値と下限値とを入力して記憶部73に記憶させる。
【0044】次に、ウェーハセット部31に厚さ分類前のウェーハ28の収納されたカセット36a,…,36dをセットする。このとき、ウェーハセット部31には、八台のカセット36a,…,36dが配置されており、各カセット36a,…,36dには、25枚のウェーハ28が収納されている。
【0045】そして、搬出入装置59の回転台60が回転してカセット36aに対向する位置で停止すると、搬出入アーム61が移動してカセット36aからウェーハ28を一枚取り出す。取り出されたウェーハ28は、移送されて測定部32の測定台38に載置される。測定台38にウェーハ28が載置されると、測定部本体39の測定アーム42がシリンダ44により測定台38側に移動する。
【0046】このとき、測定アーム42の先端部には、間隙45を隔てて上下方向に対向するようにそれぞれ、センサ43が設けられており、この間隙45にウェーハ28が位置するようになる。従って、センサ43によりウェーハ28の厚さが測定される。測定された測定結果は、記憶部73により記憶され、測定アーム42は再び測定台38と離間する位置へ移動して次の測定の待機状態に戻る。
【0047】測定が終了すると、測定時、測定台38の下方にあった移送装置41のウェーハ吸着具48が、シリンダ50の作動によりロッド49と共に上昇してウェーハ28を吸着する。吸着後、所定の高さ迄上昇したウェーハ吸着具48は、次に、シリンダ50の移動によって、載置台40へ移動する。
【0048】載置台40の位置に到達すると、ロッド49が所定の高さ迄下降して、その位置にてウェーハ吸着具48の吸着を解除する。これにより、ウェーハ28は、載置台40へ載置されることになる。一方、移送装置41は、測定台38側へ移動すると共にウェーハ吸着具48が測定台38の下方に位置して次の移送の待機状態に戻る。
【0049】載置台40に載置されたウェーハ28は、分配部51の第一の搬出入装置54によって第一のストック部52へ搬入される。即ち、第一の搬出入装置54の回転台62が回転して載置台40に対向する位置で停止すると、搬出入アーム64が移動して載置台40からウェーハ28を取り出して第一のストック部52のカセット58a内に搬入する。
【0050】上記の動作を繰り返すことにより、ウェーハセット部31に配置されたカセット36a,…,36d内に収納されたウェーハ28は、全て、その厚さを測定後第一のストック部52のカセット58a,…,58d内に順次搬入されて収納される。このとき、記憶部73は、測定結果に基づいてキャリアプレート23に接着するために、厚さの差が少ないウェーハ28のグループを算出して形成する。そして、これらのグループを形成するウェーハ28が、第一のストック部52のどのカセットのどの位置にストックされたかを記憶する。
【0051】一方、第二の待機部53内には、ウェーハが収納されておらず、待機状態にあるため、ウェーハセット部31に次ロットのウェーハ28を収納したカセット36a,…36dをセットして厚さ分配機構29を作動させることにより、次ロットのウェーハ28は、その厚さを測定して記憶された後、第二の搬出入装置55により第二の待機部53のカセット58a,…,58d内に搬入されて収納可能である。
【0052】そして、この後、制御部74が記憶部73の記憶に基づいて第一のストック部52からグループごとにウェーハ28を取り出すように分配部51に対して指令を与える。すると、制御部74の指令により、分配部51の第一の搬出入装置54が第一のストック部52のカセット58a,…,58d内に収納されたウェーハ28をグループごとに取り出して載置台56に載置する。
【0053】このとき、ウェーハ28の厚さが、予め入力部より入力して設定した許容範囲外である場合、制御部74の指令により、移送装置57がこのウェーハ28を排出部34へ移送してカセット68内に収納する。そして、この移送装置57は、排出したウェーハ28の代替部材を代替部材供給部35から取り出してターンテーブル66の載置台67に載置する。
【0054】一方、ウェーハ28の厚さが、設定した許容範囲内である場合、移送装置57は、ウェーハ28を載置台56からターンテーブル66に設けられた載置台67に載置する。このターンテーブル66は、ステッピングモータによって90゜ずつ回転するものなので、載置台67に載置されたウェーハ28は、ターンテーブル66が図中、時計回りに90゜回転することにより、ウェーハ移送ロボット9による移送可能な位置へ搬送される。
【0055】そして、搬送されたウェーハ28は、接着機構26のウェーハ移送ロボット9により接着剤塗布部10に形成された搬送路12,13へ交互に移送される。搬送路12,13において、ウェーハ28は、まず、センタリング装置14に移送されてウェーハ搬送装置20に対する相対位置が修正される。相対位置が修正されたウェーハは、ウェーハ搬送装置20によって搬送されて、洗浄装置15による洗浄、乾燥装置16による乾燥、塗布装置17による接着剤の塗布、溶剤揮発装置18における溶剤の揮発、オリフラ位置合わせ装置19による位置合わせの後、移載ロボット21によってウェーハセット部24へ一枚ずつ移載される。
【0056】このとき、この移載と同期して、ウェーハ搬送装置20により前記センタリング装置14、洗浄装置15、乾燥装置16、塗布装置17、溶剤揮発装置18およびオリフラ位置合わせ装置19の間でのウェーハの搬送が行われる。この後、ウェーハは、貼付装置22により一枚のキャリアプレート23に所定枚数貼付されて、次工程の冷却装置7へ送られる。かくして、ウェーハ接着装置25の厚さ分配機構29を用いてのウェーハ28のキャリアプレート23への接着が完了する。
【0057】続いて、ウェーハ供給機構27のうち補助供給機構30によってウェーハ28を接着機構26に供給する場合の例を説明する。まず、小ロット品や再研磨品等で厚さが既知のウェーハ28をカセット72a,…,72dへ収納して、これらのカセット72a,…,72dを補助セット部71にセットする。次に、移送装置70が、補助セット部71のカセット72a内からウェーハ28を一枚取り出してターンテーブル66に設けられた載置台67に移送して載置する。
【0058】ウェーハ28が載置されたターンテーブル66は、90゜回転する。そして、移送装置70が順次カセット72a,…,72dからウェーハ28を取り出してターンテーブル66の載置台67に載置することを繰り返すことで、ウェーハ28は、順次ウェーハ移送ロボット9による移送可能な位置へ搬送される。
【0059】このウェーハ移送ロボット9によって接着剤塗布部10に形成された搬送路12,13へ移送されたウェーハ28は、上記同様、センタリング装置14、洗浄装置15、乾燥装置16、塗布装置17、溶剤揮発装置18、オリフラ位置合わせ装置19を経た後に移載ロボット21によってウェーハセット部24へ移載される。そして、移載されたウェーハ28は、貼付装置22により一枚のキャリアプレート23に所定枚数貼付されて次工程の冷却装置7へ送られる。かくして、ウェーハ接着装置25の補助供給機構30を用いてのウェーハ28のキャリアプレート23への接着が完了する。
【0060】本実施の形態のウェーハ接着装置によれば、ウェーハをキャリアプレートに接着する接着機構と、ウェーハの厚さを測定して、その測定結果に基づいてウェーハを供給する厚さ分配機構が一体的に構成されている。そのため、厚さ分類後のウェーハを接着機構迄移動させるための装置と時間を別途設ける必要がなく、装置の簡略化が可能になると共に生産効率が向上する。
【0061】また、ストック部が複数あるため、ウェーハ接着装置に複数ロットのウェーハが投入可能となり生産効率の向上に繋がる。一方、設定範囲外の厚さを有するウェーハを排出する排出部と、排出したウェーハの代替部材を供給できる代替部材供給部とが備えられているため、許容範囲外のウェーハをキャリアプレートに接着してしまうことも避けることが可能となる。さらに、厚さ分配機構に加えて補助供給機構が備えられており、厚さ分配機構を使用しない場合でも接着機構にウェーハを供給できるため、ウェーハ接着装置を使用する際の汎用性が広がるものである。
【0062】なお、上記実施の形態において、キャリアプレートに貼付するウェーハの枚数を5枚としたがこれに限られることなく、ウェーハおよびキャリアプレートの大きさに応じて適宜変更してよい。また、カセット数、ストック部の数、搬出入装置数等は、一例として記載したものであって、本発明のウェーハ接着装置においては、生産数量等に応じて適宜変更可能である。
【0063】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1に係るウェーハ接着装置によれば、接着機構にウェーハを供給するウェーハ供給機構には、ウェーハの厚さを測定する測定部と、その測定結果に基づいてウェーハを供給する供給部とを有する厚さ分配機構が設けられている構成となっている。これにより、厚さ分配機構がウェーハの厚さに基づいて接着機構にウェーハを供給するため、厚さ分類後のウェーハを接着機構迄移動させるための装置と時間を別途設ける必要がなく、装置の簡略化と共に生産効率が向上するという優れた効果を奏する。
【0064】請求項2に係るウェーハ接着装置によれば、供給部は測定結果を記憶すると共にその測定結果に基づいてウェーハのグループを形成して記憶する記憶部と、記憶部が記憶した測定結果に基づいてウェーハをグループごとに接着機構に供給する分配部とを備える構成となっている。これにより、接着機構には厚さの差が少ないウェーハが供給されることになり、キャリアプレートには厚さの差が少ないウェーハが接着可能という効果を奏するものである。
【0065】請求項3に係るウェーハ接着装置によれば、厚さ分配機構に排出部と代替部材供給部とが備えられる構成となっている。これにより、設定範囲外の厚さを有するウェーハを排出できると共に排出されたウェーハの代替部材を供給できるという優れた効果を奏する。
【0066】請求項4に係るウェーハ接着装置によれば、ウェーハ供給機構には、厚さ分配機構に加えて補助供給機構が備えられた構成となっている。これにより、厚さ分配機構を使用しなくても接着機構にウェーハを供給できるためウェーハ接着時の汎用性が広がるという優れた効果を奏するものである。
【0067】請求項5に係るウェーハ接着装置によれば、ストック部が複数設けられる構成となっている。これにより、ウェーハ接着装置に複数ロットのウェーハが投入可能となり生産効率の向上という効果が得られる。
【0068】




 

 


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