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番号 発明の名称
1 ディスク形ワークの洗浄装置
2 自動定寸装置
3 ウエハ加圧装置
4 研磨パッドの管理方法及び装置
5 ドレッサー
6 研磨装置のピストン装置
7 研磨装置の加圧体昇降装置
8 研磨装置及び研磨方法
9 自動定寸装置
10 ドレッサ及びその製造方法
11 ポリッシングパッドのドレッシング方法及びその装置
12 ワークの研磨方法及びその装置
13 CMP装置
14 研磨装置及びワーク測定方法
15 研磨装置のヘッド
16 研磨装置
17 ワーク研磨方法及びワーク研磨システム
18 防振機構付き平面研磨装置
19 研磨装置及びその歯車清掃方法
20 スラッジ除去手段を備えた研磨用定盤及びスラッジ除 去方法
21 研磨装置
22 エッジポリッシング装置の研磨ドラム
23 エッジポリッシング装置及びその方法
24 ディスク形ワークの洗浄方法及び装置
25 チャック装置
26 ウエハエッジの鏡面研磨方法及び装置

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