発明の名称 静圧軸受油圧シリンダ装置 発行国 日本国特許庁（ＪＰ） 公報種別 公開特許公報（Ａ） 公開番号 特開平８−１５０５２７ 公開日 平成８年（１９９６）６月１１日 出願番号 特願平６−２９３１２８ 出願日 平成６年（１９９４）１１月２８日 代理人 【弁理士】 【氏名又は名称】佐藤 一雄 （外３名） 発明者 落 合▲あきら▼ 要約 目的 鏡面加工面に送りマークが付くことがないように移動テーブルを駆動し得るようにした油圧送り装置を得ること。 構成 サドル５上に移動可能に配設された移動テーブル６に、油圧シリンダ１のピストンロッド４を静圧カップリングを介して連結するとともに、ピストンロッド４を支持するロッドカバー支持部８の内面に静圧ポケット９ａ，９ｂ，１０ａ，１０ｂを形成し、その静圧ポケットに対向形定比弁１７，１８を介して圧油を供給するようにした。 特許請求の範囲 【請求項１】サドル上に移動可能に配設された移動テーブルに、油圧シリンダのピストンロッドを静圧カップリングを介して連結するとともに、上記ピストンロッドを支持するロッドカバー支持部内面に静圧ポケットを形成し、その静圧ポケットに対向形定比弁を介して圧油を供給するようにしたことを特徴とする、静圧軸受油圧シリンダ装置。 【請求項２】対向形定比弁の代りに、圧油供給ラインに固定絞りまたは流量制御弁が設けられていることを特徴とする、請求項１記載の静圧軸受油圧シリンダ装置。 【請求項３】静圧ポケットの左右には少なくとも一つの排油孔が設けられていることを特徴とする、請求項１記載の静圧軸受油圧シリンダ装置。 【請求項４】静圧ポケットに圧油を供給するための油タンクには、圧油の温度をコントロールする油温制御装置が設けられていることを特徴とする、請求項１記載の静圧軸受油圧シリンダ装置。 発明の詳細な説明 【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は超精密工作機械における移動テーブル等の駆動を行なうための静圧軸受油圧シリンダ装置に関する。 【０００２】 【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】一般に、工作機械における移動テーブルの駆動装置としては、電機サーボ送り装置或はボールネジが使用されているが、超精密加工の分野においては鏡面加工を行なう場合、指令値による送りマークが加工面に転写されてしまい、鏡面加工の面としては著しく評価の低いものになってしまうことがある等の問題がある。 【０００３】本発明はこのような点に鑑み、鏡面加工面にギザギザ状の送りマークが付くことがないように移動テーブルを駆動し得る静圧軸受油圧シリンダ装置を得ることを目的とする。 【０００４】 【課題を解決するための手段】本発明は、サドル状に移動可能に配設された移動テーブルに、油圧シリンダのピストンロッドを静圧カップリングを介して連結するとともに、上記ピストンロッドを支持するロッドカバー支持部内面に静圧ポケットを形成し、その静圧ポケットに対向形定比弁或は固定絞り、流量制御弁を介して圧油を供給するようにしたことを特徴とする。 【０００５】また、本発明は、油タンクに圧油の温度コントロールする油温制御装置が設けられていることを特徴とする。 【０００６】 【作用】油圧シリンダのピストンロッドが、ロッドカバー支持部内面に形成されている静圧ポケットに供給される油圧により支持保持される。したがって、ロッド部の剛性が高まり、送り動作時にふらつきが発生することがなく、しかも油圧の脈動も静圧カップリングによってその影響が防止される。 【０００７】 【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例について説明する。 【０００８】図１において符号１は基盤２上に設置された油圧シリンダであって、その油圧シリンダ１内に摺動可能に設けられているピストン３に一体的に連結されているピストンロッド４が、上記油圧シリンダ１の端部から突出されている。そして、上記ピストンロッド４の先端が、固定サドル５上に移動可能に載置されている移動テーブル６に静圧カップリング７を介して連結されている。 【０００９】ところで、上記油圧シリンダ１の一端部内周面には、ピストンロッド４が貫通するロッドカバー支持部８が設けられており、そのロッドカバー支持部８の内面には互いに対向する複数対の静圧ポケット９ａ，９ｂ，１０ａ，１０ｂが形成され、各静圧ポケット９ａ，９ｂ，１０ａ，１０ｂに所定圧の圧油が供給されるようにしてある。 【００１０】上記ロッドカバー支持部８の内周面には、静圧ポケット９ａ，…の軸線方向左右両側に周方向に延びる排油孔１１ａ，１１ｂが形成されており、その排油孔１１ａ，１１ｂが回収ポンプ１２を有する回収ライン１３に接続されている。また、上記外端側の排油孔１１ｂの外側部には、周方向に延びるエアシール供給溝１４が設けられ、シール用空気が供給され、シリンダロッド４とロッドカバー支持部材８の間の環状間隙から油が外部に洩出しないようにしてある。 【００１１】図２は、上記油圧シリンダ１及び静圧軸受部の圧油供給系統を示す図であり、ポンプ１５によって汲み上げられ加圧された圧油は、切換弁１６を介して図１に示す油圧シリンダ１に供給され、そのピストン３の駆動が行なわれる。上記ポンプ１５で加圧された圧油の一部は対向形定比弁１７を介して上下の静圧ポケット９ａ，９ｂに供給され、また他の対向形定比弁１８を介して左右の静圧ポケット１０ａ，１０ｂに供給される。 【００１２】また、上記油圧シリンダ１等に供給する油を貯留する油タンク１９内には、油温制御用熱交換器２０が配設されており、冷却器２１から上記油温制御用熱交換器２０に冷却流体が供給され、それによって油タンク１９内の油温が一定になり、油の粘性が一定になるようにしてある。なお図中、符号２２はリリーフ弁である。 【００１３】しかして、移動テーブル６上に載置されたワークＷの加工時においては、切換弁１６の切換によって、ポンプ１５で加圧された圧油が油圧シリンダ１に供給され、ピストン３が所定方向に移動され、ピストンロッド４及び静圧カップリング７を介して上記移動テーブル６が図１において左右方向に所定速度で移動される。一方、圧油が対向形定比弁１７，１８を介して上下の静圧ポケット９ａ，９ｂ及び左右の静圧ポケット１０ａ，１０ｂに供給されているので、その静圧によってピストンロッド４の中間部が常に同一軸線上にあるように固定保持され、ピストンロッド部の剛性が高められる。 【００１４】したがって、ピストンロッド４の移動時にピストンロッド４がふらつくようなことがなく、またポンプによる圧油の脈動も上記静圧カップリング７によってその影響が除去され、上記油圧送り装置による移動テーブルの送りによってワークＷに対して希望の面を加工でき理想に近い鏡面とすることができる。また、このとき、油タンク１９内の油温が油温制御用熱交換器２０によって制御されているため、油の粘性が一定におさえられており、温度変化による送りむらが発生するようなことが確実に防止される。 【００１５】さらに、静圧ポケットの両側には排油孔１１ａ，１１ｂが設けられているため、上記静圧ポケット９ａ，９ｂ，１０ａ，１０ｂからピストンロッド４に沿って洩れ出た油は、上記排油孔１１ａ，１１ｂによって捕獲され、回収ライン１３を介して回収されるとともに、エアシール供給溝１４にシール用エアーを供給することによって油が外部に流出することが確実に阻止される。 【００１６】なお、上記実施例においては対向形低比弁を設けたものを示したが、この代りに固定絞り或は流量調整弁を設けてもよい。 【００１７】 【発明の効果】以上説明したように、本発明はサドル上に移動可能に配設された移動テーブルに油圧シリンダのピストンロッドを静圧カップリングを介して連結するとともに、ピストンロッドを支持するロッドカバー支持部内面に静圧ポケットを形成し、その静圧ポケットに対向形低比弁、或は固定絞りまたは流量制御弁を介して圧油を供給するようにしたので、ピストンロッドのふらつきを防止するとともに、油圧の脈動の影響を防止でき、加工面にぎざぎざ状の送りマークが付かない鏡面仕上げが可能となる等の効果を奏する。