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発明の名称 磁気ディスクの突起検査装置
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開平9−7328
公開日 平成9年(1997)1月10日
出願番号 特願平7−158214
出願日 平成7年(1995)6月23日
代理人 【弁理士】
【氏名又は名称】小池 晃 (外2名)
発明者 田中 彰二 / 河副 一重
要約 目的


構成
突起検出用ヘッド3は、磁気ディスク2の半径方向(図中矢印rで示す。)に移動し、外部磁界によって変化する抵抗率に応じて再生信号を出力する。
特許請求の範囲
【請求項1】 磁気ディスク上の突起を検出する磁気ディスクの突起検査装置において、上記磁気ディスクの半径方向に移動し、外部磁界によって変化する抵抗率に応じた再生信号を出力する突起検出用ヘッドを備えることを特徴とする磁気ディスクの突起検査装置。
発明の詳細な説明
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク上の突起を検出する磁気ディスクの突起検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ハードディスクドライブ装置においては、アルミやガラス等の硬い基板から成る磁気ディスク上に、セラミックで作製された磁気ヘッド付きのスライダを浮上させて、データの記録及び再生を行っている。したがって、磁気ディスク、いわゆるハードディスク上にスライダの浮上量より高い突起が存在する場合には、この突起にスライダが衝突して、ハードディスク及びヘッドを破損することになる。そこで、予め、ハードディスク上の突起の有無を検査する必要がある。
【0003】従来、磁気ディスクの突起を検査する突起検査装置には、検査したい突起に対応する浮上量を有するスライダ上にピエゾ素子等の圧力検出素子を搭載したり、音響発散(Acoustic Emission、AE)センサをヘッド取付部材に張り付けたような突起検出用ヘッドが用いられていた。
【0004】図7に従来の突起検査装置に用いられる突起検出用ヘッドの概略的な構成を示す。ここで、図7の(A)は上記突起検出用ヘッドの上面図であり、図7の(B)は側面図である。突起検出用ヘッド50は、アーム52の長手方向の一方に、ロードビーム51の長手方向の一方を固定し、このロードビーム51の下にジンバル54を取付、さらにジンバル54の下にスライダ53を備え付けている。スライダ53によって、突起検出用ヘッド50は、回転するディスク上に所定の浮上量分だけ浮上する。ここで、ジンバル54は、浮上した突起検出用ヘッド50がハードディスク上を移動する際に、スライダ53がその移動に追従することを助ける。また、ジンバル54はロードビーム51と共にサスペンションとしても機能する。
【0005】スライダ53上には圧電素子55が設けられている。具体的に、この圧電素子55は、力や加速度による歪を与えると電圧を発生する圧電効果を有する例えばピエゾ素子から成る。
【0006】圧電素子55によって、スライダ53とディスク上に存在する突起との接触により生じる力が検出される。この検出された力は電気信号としてリード線56a,56bを介して図示しない制御部に送られることにより、ハードディスク上の突起が検出される。
【0007】このようにして、ハードディスク上の突起を検出することにより、ハードディスク上に存在する突起とヘッド上のスライダとが衝突して、ハードディスク及びヘッドが破損することを回避することができる。
【0008】また、上記AEセンサを用いた突起検出用ヘッドでは、接触によって発生する振動から電圧を発生し、この電圧を検出して、接触の検出を行っている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したようにピエゾ素子等の圧電素子を搭載したり、AEセンサを張り付けたような突起検出用ヘッドでは、スライダと磁気ディスクが機械的に接触しなくても、突起を乗り越えるとき、あるいはへこみ上を通過する際に、センサーに対して圧力,音響発散が加わり、これによって出力信号が観測されることがある。すなわち、従来の突起検出用ヘッドを用いた磁気ディスクの突起検査装置では、信頼性が損なわれる場合があった。
【0010】そこで、本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、磁気ディスクの突起を高い信頼性の下に検出できる磁気ディスクの突起検査装置の提供を目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気ディスクの突起検査装置は、上記課題を解決するために、磁気ディスク上の突起を検出するディスクの突起検査装置において、上記磁気ディスクの半径方向に移動し、外部磁界によって変化する抵抗率に応じた再生信号を出力する突起検出用ヘッドを備える。
【0012】
【作用】外部磁界によって変化する抵抗率に応じて再生信号を出力する磁気抵抗効果素子を用いた突起検出用ヘッドは、磁気ディスクの突起部に接触すると、急激に温度変化を起こす。すると、磁気抵抗効果素子の抵抗変化率が大きく変わるので、突起検査装置は、検出信号を十分なS/Nで得ることができる。
【0013】
【実施例】以下、本発明に係る磁気ディスクの突起検査装置の実施例について説明する。この実施例は、例えばハードディスクのような磁気ディスクの突起を検出する突起検査装置である。
【0014】図1に示すように、この突起検査装置1は、磁気ディスク2の半径方向(図中矢印rで示す。)に移動し、外部磁界によって変化する抵抗率に応じて再生信号を出力する突起検出用ヘッド3を備えて成る。
【0015】突起検出用ヘッド3は、キャリッジ4に固定されており、スライダ移動用モータ5によって磁気ディスク2の半径方向rに移動する。突起検出用ヘッド3の磁気ディスク2上の位置を示す信号は、モータ制御部6に送られる。
【0016】また、磁気ディスク2は、スピンドル7の回転動作によって回転する。この磁気ディスク2の回転数は、回転検出部8で検出される。この検出された回転数は、モータ制御部6に送られる。
【0017】モータ制御部6は、突起検出用ヘッド3の磁気ディスク2上での位置を示す信号及び磁気ディスク2の回転数によって、突起検出用ヘッド3が磁気ディスク2のどの半径位置にあっても周速が一定になるようにスピンドル7の回転動作を制御する。これにより、磁気ディスク2の回転数は制御され、突起検出用ヘッド3の磁気ディスク2からの浮上量は一定となる。
【0018】また、突起検出用ヘッド3上が検出した信号は、リード線9を介してアンプ10に供給され増幅されてから信号処理部11に送られる。信号処理部11では、送られた電圧を電気信号として波形整形し、例えばオシロスコープのような波形観測器12に送る。
【0019】この突起検出用ヘッド3は、図2及び図3に示すような構成である。すなわち、突起検出用ヘッド3は、アーム14の長手方向の一方に、ロードビーム15の長手方向の一方を固定し、このロードビーム15の下にジンバル16を取付、さらにジンバル16の下にスライダ17を備え付けている。スライダ17によって、突起検出用ヘッド3は、回転する磁気ディスク2上に所定の浮上量分だけ浮上する。ここで、ジンバル16は、浮上した突起検出用ヘッド3が磁気ディスク2上を移動する際に、スライダ17がその移動に追従することを助ける。また、ジンバル16はロードビーム15と共にサスペンションとしても機能する。
【0020】スライダ17上には例えばパーマロイ等のような磁気抵抗効果素子(以下、MR素子という)18が設けられている。このMR素子18は、本来、電気抵抗が磁気ディスク2から漏れ出る信号磁化(外部磁界)の方向によって変化する現象を利用して、該磁気ディスク2上の磁気的信号を電気的信号に変換する。すなわち、外部磁界によって素子の抵抗変化率が代わることを用いて再生信号を得ようとする。
【0021】このMR素子18の突起検査装置1における動作原理について図4を参照しながら説明する。MR素子18には、電源端子20から抵抗21、リード部9aを介してセンス電流が供給される。このセンス電流によりMR素子18は、磁気ディスク2のような磁性体22の外部磁界Heを検出する。そして、検出信号をリード9bを介してアンプ23に送る。アンプ23は、上記検出信号を増幅して再生信号とし、出力端子24から上記信号処理部11に供給する。
【0022】通常、MR素子18は、薄膜で形成されており、その厚みは数10nm程度、上記センス電流の電流密度は106〜108A/cm2程度である。従って、常時電流の流れている素子自体の温度は上昇していることが推定される。MR素子18が図5に示すように浮上した状態で、磁気ディスク2の突起部25に接触すると、該MR素子18は磁気ディスク2によって冷却され、急激に温度変化を起こす。MR素子18は、外部磁界によって素子の抵抗率が変わることを用いて再生信号を得ようとするものであるが、一般的にMR素子18の抵抗変化率の温度係数は、大きい。このため、接触が起きるとこのように急激な温度変化が起き、抵抗変化率が大きく変わり、センス電流ISにより出力信号となって観測される。
【0023】この接触に起因する信号S1は、アンプ10、信号処理部11を介して波形観測器12に供給され、本来、磁気ディスク2に記録された信号S0と同等以上の出力信号として、図6に示すように、観測される。
【0024】ここで、MR素子18が搭載されているスライダ17は、浮上量が50nmの50%ナノスライダである。また、磁気ディスク2にはトラッキングのためのサーボ情報を得るための位置信号が予め書き込んである。
【0025】以上より、本実施例の突起検査装置1によれば、書き込み信号S0と同等の検出信号S1を十分なS/Nで得ることができるので、磁気ディスクの突起を高い信頼性の下に検出できる。
【0026】
【発明の効果】本発明に係る磁気ディスクの突起検査装置は、磁気ディスク上の突起を検出するディスクの突起検査装置において、上記磁気ディスクの半径方向に移動し、外部磁界によって変化する抵抗率に応じた再生信号を出力する突起検出用ヘッドを備えるので、磁気ディスクの突起を高い信頼性の下に検出できる。




 

 


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