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番号 発明の名称
1501 半導体ウエハ等の不良解析方法および装置
1502 半導体不良解析システムおよびその解析データの圧縮方法
1503 静電吸着装置
1504 静電吸着装置
1505 半導体ウエハおよび半導体チップならびにダイシング方法
1506 半導体装置
1507 半導体装置の冷却装置
1508 半導体装置およびその半導体装置に組み込まれる半導体チップ
1509 半導体装置及びその製造方法
1510 固体撮像素子
1511 量子細線導波路
1512 半導体集積回路装置
1513 薄膜トランジスタ
1514 ツェナーダイオード
1515 高耐圧半導体装置
1516 ジョセフソンスイッチおよびこれを用いた信号処理装置
1517 X線レーザ装置
1518 半導体レーザ素子
1519 多層配線基板の製造方法
1520 多層配線基板とその製造方法および両面プリント配線板の製造方法
1521 フラットケーブル用クランプ
1522 IGBTの過電流保護装置
1523 スイッチ回路
1524 低圧水銀蒸気放電灯の製造方法
1525 低圧水銀蒸気放電灯の製造方法
1526 低圧水銀蒸気放電灯の製造方法
1527 電子顕微鏡
1528 高真空で作製する有機光共振器素子
1529 薄膜磁性体とその製法およびそれを用いたマイクロ磁気デバイス
1530 コンデンサ内蔵セラミック多層回路板の製法
1531 電子線描画装置
1532 金属の選択CVD前処理装置
1533 プラズマエッチング方法
1534 ウエット処理装置
1535 半導体製造装置および半導体装置
1536 半導体基板の熱処理装置及び方法
1537 IC素子における配線接続装置
1538 IC素子に対する絶縁膜形成方法
1539 半導体製造ラインの構成方法
1540 混成回路基板
1541 半導体装置の製造方法
1542 半導体レーザ装置
1543 半導体レーザ素子
1544 電極端子の接続方法
1545 多層配線基板の製造方法
1546 帯域分離合成フィルタ
1547 ダイナミック型フリップフロップ
1548 ダイナミック型セット・リセットフリップフロップ
1549 通電試験装置
1550 イオン源装置およびそのイオン源装置を備えたイオン打ち込み装置
1551 イオン打ち込み装置
1552 質量分析計
1553 四重極質量分析計
1554 非水系二次電池
1555 非水溶媒二次電池および二次電池装置
1556 溶融塩型燃料電池の電極製造方法
1557 溶融炭酸塩型燃料電池の電解質板の製造方法
1558 非水電解液ならびに非水電解液電池
1559 非水電解液と非水電解液電池
1560 集合型非水系二次電池
1561 二次電池装置
1562 高周波プラズマヒータおよびその運転方法
1563 耐食性、耐摩耗性磁性膜およびこれを用いた磁気ヘッド
1564 電子部品
1565 エピタキシー方法
1566 半導体集積回路装置の製造方法および製造装置
1567 パターン形成方法
1568 プローブカード
1569 電子装置
1570 光受信モジュール
1571 電界効果型トランジスタ並びにそれを用いた液晶表示装置
1572 ガスレーザ装置
1573 半導体レーザ
1574 洗浄装置
1575 分解のためのマ−クを有する組立構造体およびその分解システム
1576 高周波電力増幅器の電源供給方式
1577 電圧駆動形素子の駆動方法及びその回路
1578 カウンタ回路
1579 位相制御発振器
1580 蛍光膜の乾燥方法
1581 カラー蛍光面表示装置及びその製造方法並びに水溶性ポリマー含有組成物膜の積層体の形成方法
1582 カラー蛍光面表示装置及びその製造方法
1583 走査型プローブ加工観察装置
1584 走査型顕微鏡
1585 走査型プローブ顕微鏡
1586 発光装置
1587 燃料電池装置
1588 コンタクト
1589 多層磁気抵抗効果膜および磁気ヘッド
1590 工程認識方法および認識装置
1591 半導体装置の製造方法
1592 信号の周期検出方法及びそれを用いた投影露光装置
1593 配線形成装置
1594 IC素子およびIC素子における配線接続方法
1595 半導体パッケージ
1596 半導体基板の赤外線放射率測定方法
1597 半導体装置
1598 マルチチップモジュール構造体
1599 半導体デバイス
1600 X線撮像管

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