発明の名称 ウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置 発行国 日本国特許庁（ＪＰ） 公報種別 公開特許公報（Ａ） 公開番号 特開平６−２６７８０９ 公開日 平成６年（１９９４）９月２２日 出願番号 特願平５−５６９６３ 出願日 平成５年（１９９３）３月１７日 代理人 【弁理士】 【氏名又は名称】筒井 大和 発明者 石川 勝彦 / 田辺 義和 要約 目的 被処理ウェハの処理条件の設定および進行状況の管理を自動的に行うことができるウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置を提供する。 構成 複数のプロセスチャンバ内に順にウェハを挿入してプロセス処理を一貫して行う半導体製造工程に用いられ、ドッキングチャンバを有しないマルチチャンバ装置とされ、ウェハ搬送チャンバ１に、４台のプロセスチャンバ２〜５、ウェハローダチャンバ６およびウェハアンローダチャンバ７が接続され、これらは管理システム８により制御される構成となっている。そして、プロセスチャンバ２〜５、ウェハローダチャンバ６およびウェハアンローダチャンバ７には、それぞれウェハ９のウェハＩＤを読み取るウェハＩＤ読み取り部２ａ〜７ａなどが備えられ、ウェハ９上の特定位置に刻印されたウェハＩＤがウェハ９の搬入時と搬出時に光学的に読み取られるようになっている。 特許請求の範囲 【請求項１】 ウェハ搬送チャンバに、複数のプロセスチャンバ、ウェハローダチャンバおよびウェハアンローダチャンバが接続され、該複数のプロセスチャンバ内に順にウェハを挿入してプロセス処理を一貫して行う半導体製造工程に用いられるマルチチャンバ装置であって、前記複数のプロセスチャンバ、ウェハローダチャンバおよびウェハアンローダチャンバにウェハＩＤ読み取り部を設けることを特徴とするウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置。 【請求項２】 前記ウェハＩＤ読み取り部を、前記複数のプロセスチャンバ、ウェハローダチャンバおよびウェハアンローダチャンバが接続される前記ウェハ搬送チャンバ側に設けることを特徴とする請求項１記載のウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置。 【請求項３】 前記ウェハＩＤ読み取り部を前記ウェハの搬送経路の上部に配設し、該ウェハ上のウェハＩＤを光学的に読み取り、該読み取り情報をウェハ処理情報ファイルの内容と照合して、前記プロセスチャンバの各々が実行すべきプロセス内容を該プロセスチャンバに伝達することを特徴とする請求項１または２記載のウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置。 【請求項４】 前記ウェハ処理情報ファイルに保存されているウェハ処理条件を前記ウェハＩＤによって把握し、前記ウェハの進行状況と処理内容とを該ウェハＩＤで検索することを特徴とする請求項３記載のウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置。 【請求項５】 前記ウェハ処理情報ファイルのウェハの進行状況の内容を、前記ウェハＩＤで更新することを特徴とする請求項４記載のウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置。 発明の詳細な説明 【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工程に用いられるマルチチャンバ装置に関し、特にウェハ搬送チャンバに、複数のプロセスチャンバ、ウェハローダチャンバおよびウェハアンローダチャンバが接続される場合に、被処理ウェハの処理条件の設定および進行状況の管理の自動化が可能とされるウェハＩＤ（Identification：識別コード）読み取り機能付きマルチチャンバ装置に適用して有効な技術に関する。 【０００２】 【従来の技術】近年、ＬＳＩの高集積化とデバイスの微細化の進行に併せて、半導体製造装置にも新しい観点からの技術が要求されるようになってきており、複数工程にわたるマルチチャンバ装置もその一つである。このマルチチャンバ装置は、以下に示す理由により、今後の半導体製造装置の発展形態の１つとして、１９８０年代の後半から国内外の半導体装置メーカーにより提案、製作されている。 【０００３】(1).マルチチャンバシステムは、真空あるいは不活性ガス雰囲気でのウェハの一貫処理ができるので、各層を形成するときに外界からの汚染などを防ぎ、品質向上を図ることができ、さらに品質の安定化を図ることも可能である。 【０００４】(2).マルチチャンバシステム内での一貫処理であるため、ウェハ搬送に要する時間の削減ができ、全体としての工程短縮を図ることができる。 【０００５】(3).マルチチャンバにおいては、新プロセスに対応するために、マルチチャンバを構成している１つのプロセスチャンバだけを新規に製作し、ウェハ搬送ロボット部、ロードロック室などは従来のものをそのまま利用できるので、半導体製造のための装置費用を削減することができる。 【０００６】次に、マルチチャンバ装置の概要を説明すると、たとえばこれまで製作されてきたマルチチャンバ装置は、ウェハ搬送装置に複数のプロセス処理装置を接続させて、一部のプロセス処理の一貫処理を目的としたものである。 【０００７】そして、マルチチャンバの基本構成は、基幹となるウェハ搬送チャンバとその周辺に接続されたプロセスチャンバ、ロードロックチャンバであり、このようなマルチチャンバ装置を利用することによって、たとえば薄膜形成であれば前処理から薄膜デポまでの一貫した連続処理を実行することができる。 【０００８】 【発明が解決しようとする課題】ところが、前記のような従来技術においては、下記のような問題がある。 【０００９】(1).半導体製造において、プロセス処理を実行する場合に、プロセス処理装置に対して処理条件を入力する必要があり、現状のマルチチャンバ装置においては、作業者が被処理ウェハのＩＤを確認して装置へ処理条件を入力する必要がある。つまり、従来のマルチチャンバ装置では、ウェハの搬送は自動化されているものの、プロセス処理における条件入力に関しては自動化されておらず、従って処理条件待ちの無駄な時間が発生する。 【００１０】(2).人手による装置条件入力では、入力ミスが発生する可能性がある。そのために、入力ミスを防ぐための対策が必要である。 【００１１】(3).マルチチャンバ装置で処理条件を作業者が入力する場合、次の作業が正しく実行されるように、処理終了後にこの内容を記録しておく必要がある。しかし、人手による記録作業はミスを生じ易く、その記録ミスのために次の工程で被処理ウェハが正しく処理されない可能性が生じる。 【００１２】(4).マルチチャンバ装置がドッキングチャンバで複数台数接続される場合、作業者が複数の被処理ウェハの処理条件を確認して、該当する条件を正しく入力することは一般に困難である。 【００１３】以上のように、従来のマルチチャンバ装置においては、被処理ウェハの処理条件における設定入力の問題、自動化への要求などに対して良好に適用できないという問題がある。 【００１４】そこで、本発明の目的は、ウェハＩＤ読み取り機能によって被処理ウェハの処理条件の設定および進行状況の管理を自動的に行うことができるウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置を提供することにある。 【００１５】本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。 【００１６】 【課題を解決するための手段】本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。 【００１７】すなわち、本発明のウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置は、ウェハ搬送チャンバに、複数のプロセスチャンバ、ウェハローダチャンバおよびウェハアンローダチャンバが接続され、これらの複数のプロセスチャンバ内に順にウェハを挿入してプロセス処理を一貫して行う半導体製造工程に用いられるマルチチャンバ装置であって、複数のプロセスチャンバ、ウェハローダチャンバおよびウェハアンローダチャンバにウェハＩＤ読み取り部を設けるものである。 【００１８】この場合に、前記ウェハＩＤ読み取り部を、複数のプロセスチャンバ、ウェハローダチャンバおよびウェハアンローダチャンバが接続されるウェハ搬送チャンバ側に設けるようにしたものである。 【００１９】また、前記ウェハＩＤ読み取り部をウェハの搬送経路の上部に配設し、ウェハ上のウェハＩＤを光学的に読み取り、この読み取り情報をウェハ処理情報ファイルの内容と照合して、プロセスチャンバの各々が実行すべきプロセス内容をプロセスチャンバに伝達するようにしたものである。 【００２０】さらに、前記ウェハ処理情報ファイルに保存されているウェハ処理条件をウェハＩＤによって把握し、ウェハの進行状況と処理内容とをウェハＩＤで検索するようにしたものである。 【００２１】さらに、前記ウェハ処理情報ファイルのウェハの進行状況の内容を、ウェハＩＤで更新するようにしたものである。 【００２２】 【作用】前記したウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置によれば、ウェハＩＤ読み取り部が、複数のプロセスチャンバ、ウェハローダチャンバおよびウェハアンローダチャンバ側、またはウェハ搬送チャンバ側に設けられることにより、ウェハＩＤ読み取り部により読み取られたウェハＩＤから各プロセスチャンバでの処理条件を設定することができ、かつ処理後にこのウェハの進行状況を更新することができる。 【００２３】たとえば、ウェハ処理情報ファイルとして、被処理ウェハの処理条件を有するファイルとウェハの進行状況を管理するファイルとを持つ上位のシステムと連動させ、処理条件の設定および進行状況の更新を自動的に実行させるアルゴリズムにより可能となる。 【００２４】すなわち、マルチチャンバ装置の各プロセスチャンバにおいては、ウェハがウェハ搬送チャンバからプロセスチャンバへ搬送されるときに、そのウェハＩＤを読み取り、その読み取ったウェハＩＤを用いて上位のシステムから処理条件を収集してプロセス処理条件を自動的に決め、またウェハを処理した後では、その正常終了情報を上位のシステムに返してウェハの進行状況を自動的に更新することができる。 【００２５】これにより、被処理ウェハの処理条件の設定を自動的に行うことができ、さらにウェハの進行状況の管理も自動化が可能となり、その上ウェハが次の処理のプロセスチャンバに送られたときに、その処理工程での正常処理の実行を可能とすることができる。 【００２６】 【実施例】図１は本発明の一実施例であるウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置を示す概略構成図、図２は本実施例のウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置のウェハＩＤ読み取り部を詳細に示す断面図、図３は本実施例における処理手順を示すフロー図である。 【００２７】まず、図１により本実施例のウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置の構成を説明する。 【００２８】本実施例のウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置は、たとえば複数のプロセスチャンバ内に順にウェハを挿入してプロセス処理を一貫して行う半導体製造工程に用いられ、ドッキングチャンバを有しないマルチチャンバ装置とされ、ウェハ搬送チャンバ１に、４台のプロセスチャンバ２〜５、ウェハローダチャンバ６およびウェハアンローダチャンバ７が接続され、これらは管理システム８により制御される構成となっている。 【００２９】ウェハ搬送チャンバ１は、たとえば関節的に屈曲されて伸縮自在なウェハ搬送用腕１ａと、ウェハ９を搭載するウェハ搬送用試料台１ｂと、ウェハ搬送用腕１ａを駆動する駆動制御部１ｃとを備え、ウェハ搬送用腕１ａの先端にウェハ搬送用試料台１ｂが固定され、このウェハ搬送用試料台１ｂに搭載されたウェハ９が、駆動制御部１ｃの制御に基づいてプロセスチャンバ２〜５、ウェハローダチャンバ６およびウェハアンローダチャンバ７との間で搬入／搬出される。 【００３０】プロセスチャンバ２〜５は、それぞれウェハ９のウェハＩＤを読み取るウェハＩＤ読み取り部２ａ〜５ａと、ウェハ９を搭載するウェハ用試料台２ｂ〜５ｂと、ウェハ用試料台２ｂ〜５ｂを駆動する駆動制御部２ｃ〜５ｃとを備え、ウェハ用試料台２ｂ〜５ｂに搭載されたウェハ９が駆動制御部２ｃ〜５ｃの制御に基づいてプロセス処理される。たとえば、薄膜形成であれば、前処理から薄膜デポまでの一貫した連続処理のうちのそれぞれの処理が各プロセスチャンバ２〜５内において行われる。 【００３１】また、ウェハＩＤ読み取り部２ａ（３ａ〜５ａ）は、図２に示すようにウェハ搬送チャンバ１との接続部近傍に、プロセスチャンバ２（３〜５）内のウェハ９の搬送経路の上部に配設され、このウェハＩＤ読み取り部２ａ（３ａ〜５ａ）によってウェハ上の特定位置に刻印されたウェハＩＤ９ａが、たとえばウェハ９の搬入時と搬出時に光学的に読み取られるようになっている。 【００３２】ウェハローダチャンバ６は、プロセスチャンバ２〜５と同様に、ウェハローダチャンバ６内のウェハ９の搬送経路の上部に配設され、ウェハ９の搬入時および搬出時にウェハＩＤ９ａを読み取るウェハＩＤ読み取り部６ａと、ウェハ９を搭載するウェハ用試料台６ｂと、ウェハ用試料台６ｂを駆動する駆動制御部６ｃとを備え、外部から搬送されるウェハ９がウェハローダチャンバ６を通じてマルチチャンバ装置内に搬入される。 【００３３】ウェハアンローダチャンバ７は、プロセスチャンバ２〜５と同様に、ウェハアンローダチャンバ７内のウェハ９の搬送経路の上部に配設され、ウェハ９の搬入時および搬出時にウェハＩＤ９ａを読み取るウェハＩＤ読み取り部７ａと、ウェハ９を搭載するウェハ用試料台７ｂと、ウェハ用試料台７ｂを駆動する駆動制御部７ｃとを備え、マルチチャンバ装置内で一貫処理されたウェハ９がウェハアンローダチャンバ７を通じて外部に搬出される。 【００３４】管理システム８は、マルチチャンバ装置の全体的な制御機能の他に、ウェハ搬送チャンバ１、プロセスチャンバ２〜５、ウェハローダチャンバ６およびウェハアンローダチャンバ７の演算処理系を内蔵し、これらの全体的な制御が予めプログラムされたアルゴリズムに従って自動的に実行される。 【００３５】また、管理システム８には、ウェハ処理情報ファイルとしてのウェハ処理条件ファイル１０およびウェハ進行管理ファイル１１が接続され、各プロセスチャンバ２〜５におけるウェハ９の処理条件がウェハ処理条件ファイル１０から収集されて自動的に決められ、またウェハ９の処理後は、その正常終了情報によりウェハ進行管理ファイル１１の進行状況の内容が自動的に更新されるようになっている。 【００３６】なお、以上のような構成において、ウェハＩＤ９ａを光学的に読み取ることは現状の技術で可能であり、さらにシステム間通信によりウェハ処理情報を送受信すること、また進行状況に合わせて特定工程を識別するアルゴリズムを含ませることなども容易に可能である。 【００３７】次に、本実施例の作用について、実際にウェハ９の自動処理を行う場合を図３の処理フローに基づいて説明する。図３において、列方向の各欄の処理は上方に記載の各構成要素により実行されることを表す。 【００３８】始めに、処理すべきウェハ９はウェハローダチャンバ６内のウェハ用試料台６ｂに設置されているものとする。 【００３９】まず、作業者が開始スイッチ（図示せず）を押すなどの操作をすると、管理システム８が開始命令を発する（ステップ３０１）。すると、管理システム８からウェハ搬送チャンバ１内のウェハ搬送用腕１ａをウェハローダチャンバ６へ移動させる指示がでる。これは、ウェハ搬送チャンバ１の欄にあるウェハローダチャンバ６への移動である（ステップ３０２）。 【００４０】さらに、管理システム８からのウェハ搬送指示に従い、ウェハ搬送チャンバ１の駆動制御部１ｃはウェハ搬送用腕１ａをウェハローダチャンバ６に挿入し、ウェハ用試料台６ｂの上に設置されている被処理用のウェハ９をウェハ搬送用腕１ａのウェハ搬送用試料台１ｂに載せて、ウェハ搬送用腕１ａをウェハ搬送チャンバ１内に引き出す。 【００４１】このウェハ９を引き出す作業途中に、ウェハ９がウェハローダチャンバ６のウェハＩＤ読み取り部６ａを通過する。このとき、ウェハＩＤ読み取り部６ａは、ウェハ９の特定位置に刻印されているウェハＩＤ９ａを読み取ることができる。これは、ウェハローダチャンバ６の欄にあるウェハＩＤ９ａの読み取りである（ステップ３０３）。 【００４２】そして、読み取られたウェハＩＤ９ａがウェハＩＤ読み取り部６ａから管理システム８に送られ、ウェハＩＤ９ａを管理システム８の制御下にあるウェハ進行管理ファイル１１と照らし合わせて、次工程の内容を確認する。これは、ウェハローダチャンバ６の欄にある進行確認である（ステップ３０４）。 【００４３】この情報を得て、管理システム８はいずれかのプロセスチャンバ２〜５の選択命令を実行する（ステップ３０５）。すなわち、管理システム８から命令を受けたウェハ搬送チャンバ１は、ウェハ搬送用腕１ａを指示された特定プロセスチャンバ、たとえばプロセスチャンバ２へ移動させる。これは、特定のプロセスチャンバ２への移動である（ステップ３０６）。 【００４４】なお、他のプロセスチャンバ３〜５にも同様にして移動させることができ、これによって一般性を失うことはない。以上の処理により、ウェハ９はプロセスチャンバ２の入り口で待機している状態になる。 【００４５】続いて、管理システム８は、管理システム８の欄のウェハ９の挿入命令を発する（ステップ３０７）。その結果、ウェハ搬送チャンバ１の駆動制御部１ｃはウェハ９をウェハ搬送用試料台１ｂに載せられた状態でプロセスチャンバ２へ搬入する。 【００４６】このウェハ９がプロセスチャンバ２に搬入される途中で、ウェハ９がウェハＩＤ読み取り部２ａを通過する。このとき、ウェハＩＤ読み取り部２ａは、ウェハＩＤ９ａの読み取りを実行する（ステップ３０８）。これは、ステップ３０３のＩＤ読み取りと同等である。 【００４７】そして、管理システム８は、ウェハＩＤ読み取り部２ａが読み取ったウェハＩＤ９ａをもとに、管理システム８の管理下にあるウェハ進行管理ファイル１１の内容を参照し、このプロセスチャンバ２が正しい選択であることを確認する。 【００４８】さらに、ウェハ９の処理条件の読み取りを実行する（ステップ３０９）。すなわち、管理システム８の制御下にあるウェハ処理条件ファイル１０からこの工程に相当する処理条件を選択する。これによって、自動的にプロセス処理を実行することができる。これが、プロセスチャンバ２におけるプロセス処理である（ステップ３１０）。 【００４９】プロセス処理後、管理システム８はウェハ９の取り出し命令を発する（ステップ３１１）。この命令によって、ウェハ搬送チャンバ１の欄にある特定のプロセスチャンバ２への移動を実行する（ステップ３１２）。 【００５０】そして、管理システム８の指示によって、ウェハ搬送チャンバ１の駆動制御部１ｃはウェハ搬送用腕１ａをプロセスチャンバ２へ移動し、プロセスチャンバ２内にあるウェハ９を取り出す。プロセスチャンバ２からウェハ９を引き出すときに、プロセスチャンバ２の欄にあるウェハＩＤ９ａの読み取りを実行する（ステップ３１３）。 【００５１】このとき、管理システム８を通して得たウェハＩＤ９ａと、管理システム８の制御下にあるウェハ進行管理ファイル１１を参照し、この処理が終了したことをウェハ進行管理ファイル１１内の進行状況において更新すると同時に、次の工程が処理可能かどうかを判断する。これが、管理システム８の欄にある終了判定である（ステップ３１４）。 【００５２】さらに、マルチチャンバ装置のプロセスチャンバ３〜５で処理が続行できるときには、ステップ３０４の進行確認に進み、以下同様の処理を実行する。また、プロセスチャンバ３〜５で処理ができないときにはこのマルチチャンバ装置での処理が完了となり、管理システム８は完了命令を発する（ステップ３１５）。 【００５３】そして、完了命令が発っせられると、管理システム８はウェハ９をウェハアンローダチャンバ７に設置して外部に搬出できる状態にし、ウェハ搬送用腕１ａを初期状態にして作業を一旦停止状態にする。 【００５４】以上のようにして、ウェハ９がウェハローダチャンバ６から搬入され、さらに各プロセスチャンバ２〜５を通じて一貫処理され、最後にウェハアンローダチャンバ７を通じて外部に搬出される。 【００５５】従って、本実施例のウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置によれば、プロセスチャンバ２〜５、ウェハローダチャンバ６およびウェハアンローダチャンバ７にウェハＩＤ読み取り部２ａ〜７ａを設けることにより、ウェハ９が前工程のプロセスチャンバ２〜５からウェハ搬送チャンバ１内に引き出されるときにウェハＩＤ９ａを読み取り、次工程の処理に対応するプロセスチャンバ２〜５を選択し、さらに選択されたプロセスチャンバ２〜５にウェハ９が挿入されたときに再びウェハＩＤ９ａを読み取って選択の正当性を確認した後に処理を自動的に実行することができる。 【００５６】また、処理の実行後は、次工程の処理に対応するプロセスチャンバ２〜５を選択すると同時に、終了した処理の進行状況を自動的に更新することができる。 【００５７】さらに、ウェハローダチャンバ６からウェハ搬送チャンバ１に搬入されるとき、ウェハ搬送チャンバ１からウェハアンローダチャンバ７に搬出されるときも同様にウェハＩＤ９ａを読み取ることができるので、マルチチャンバ装置における一貫したプロセス処理の自動化に対応することができる。 【００５８】以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。 【００５９】たとえば、本実施例のウェハＩＤ読み取り機能付きマルチチャンバ装置については、プロセスチャンバ２〜５、ウェハローダチャンバ６およびウェハアンローダチャンバ７側にウェハＩＤ読み取り部２ａ〜７ａが設けられる場合について説明したが、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、ウェハＩＤ読み取り部をウェハ搬送チャンバ側に設ける場合について適用可能である。 【００６０】さらに、前記実施例においては、ウェハＩＤ９ａの読み取りは、プロセスチャンバ２〜５にウェハ９が搬入されるとき、およびウェハ９をプロセスチャンバ２〜５から搬出するときの両方で実施しているが、搬入または搬出のどちらか一方の場合にウェハＩＤを読み取ることも可能である。 【００６１】また、ウェハ搬送チャンバ１の形状およびプロセスチャンバ２〜５の数量などについては、半導体製造工程のプロセス処理などに合わせて、これ以下またはこれ以上の多くのプロセスチャンバが接続される場合、さらにドッキングチャンバを有する構成など、種々の接続構成に適用可能であることはいうまでもない。 【００６２】 【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。 【００６３】(1).複数のプロセスチャンバ、ウェハローダチャンバおよびウェハアンローダチャンバにウェハＩＤ読み取り部を設けることにより、ウェハＩＤ読み取り部によりウェハＩＤを自動的に読み取ることができるので、たとえばウェハ処理情報ファイルに保存されているウェハの進行状況と処理内容とをウェハＩＤで検索し、各プロセスチャンバでの処理条件を設定することができ、かつ処理後にこのウェハの進行状況を更新することが可能となる。 【００６４】(2).ウェハＩＤ読み取り部をウェハ搬送チャンバ側に設けることにより、前記(1) と同様に処理条件の設定および進行状況の更新を自動的に行うことができると同時に、従来のプロセスチャンバを流用することが可能となる。 【００６５】(3).前記(1) および(2) により、被処理ウェハの処理条件の設定を自動的に行うことができるので、従来のような人手による被処理ウェハの処理条件における設定入力ミスなどの問題が解決され、ＬＳＩの高集積化とデバイスの微細化の進行に対応した処理工程での正常処理の実行が可能とされるマルチチャンバ装置を得ることができる。 【００６６】(4).前記(1) および(2) により、処理条件の設定に加えて進行状況の管理も自動的に行うことができるので、ウェハの自動搬入、連続したプロセス処理、さらにウェハの自動搬出までの自動一貫処理の基本形態の実現が可能とされるマルチチャンバ装置を得ることができる。