米国特許情報 | 欧州特許情報 | 国際公開(PCT)情報 | Google の米国特許検索
 
     特許分類
A 農業
B 衣類
C 家具
D 医学
E スポ−ツ;娯楽
F 加工処理操作
G 机上付属具
H 装飾
I 車両
J 包装;運搬
L 化学;冶金
M 繊維;紙;印刷
N 固定構造物
O 機械工学
P 武器
Q 照明
R 測定; 光学
S 写真;映画
T 計算機;電気通信
U 核技術
V 電気素子
W 発電
X 楽器;音響


  ホーム -> 電気素子 -> 株式会社日立製作所

発明の名称 電子線描画装置
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開平6−216014
公開日 平成6年(1994)8月5日
出願番号 特願平5−4252
出願日 平成5年(1993)1月13日
代理人 【弁理士】
【氏名又は名称】高橋 明夫 (外1名)
発明者 川野 雅道
要約 目的
複数台を集中管理して全体を効率良く有機的に運用する電子線描画装置を提供する。

構成
制御コンピュータと制御部と電子線描画装置本体等により構成される複数の電子線描画装置4、8、12等をローカルエリアネットワーク13を介してモニタコンピュータ14に接続する。モニタ用コンピュータ14は描画データベースを格納して、さらに描画パラメータの登録、描画データ変換、チップ配列指定、描画手順作成等を行ない、ローカルエリアネットワーク13を介して各電子線描画装置をモート操作して集中管理する。
特許請求の範囲
【請求項1】 制御コンピュータからの情報に基づいて電子線ビ−ム描画装置本体を制御して描画を行う電子線描画装置において、モニタ用コンピュータとを備え、上記電子線描画装置の一台または複数台とモニタ用コンピュータとをローカルエリアネットワーク等の通信路に接続して、上記各電子線描画装置の装置状態デ−タをモニタ用コンピュータにより集中管理するようにしたことを特徴とする電子線描画装置。
【請求項2】 請求項1において、上記モニタ用コンピュータに、上記各電子線描画装置をリモート操作する機能を具備するようにしたことを特徴とする電子線描画装置。
【請求項3】 請求項1または2において、上記モニタ用コンピュータに、CAD等で作成したLSIパターンデータを上記電子線描画装置それぞれに固有の描画データに変換するデータ変換機能を具備するようにしたことを特徴する電子線描画装置。
【請求項4】 請求項1ないし3のいずれかにおいて、上記モニタ用コンピュータに、上記電子線描画装置それぞれの描画に必要なウエハ上のチップ配列情報、装置に起因するパラメータ、プロセスに起因するパラメータ、描画手順等をファイルとして予約登録する機能を具備するようにしたことを特徴とする電子線描画装置。
【請求項5】 請求項3または4において、上記モニタ用コンピュータに、上記各電子線描画装置固有の描画データ、ウエハ上のチップ配列情報、パラメータ、描画手順等の情報を各電子線描画装置の要求に応じ転送するファイルサーバ機能を具備するようにしたことを特徴とする電子線描画装置。
【請求項6】 請求項1ないし5のいずれかにおいて、上記モニタ用コンピュータに、上記各電子線描画装置の装置状態情報を記録し、また、装置状態情報の経時変化等を出力するデータベース機能を具備するようにしたことを特徴とする電子線描画装置。
【請求項7】 請求項6において、上記モニタ用コンピュータに、上記装置状態の経時変化情報に基づいて部品交換時期等のメンテナンス情報を出力する機能を具備するようにしたことを特徴とする電子線描画装置。
発明の詳細な説明
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電子線描画装置に関し、とくに、制御コンピュータと電子線描画装置本体等により構成された電子線描画装置の複数を集中的に制御する電子線描画装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の電子線描画装置は主としてステッパ用のレチクル描画や素子試作のための直接描画等に使用されてきたため、一般的にLSIチップ等の大量生産用途には使用されていなかった。
【0003】このため、通常、装置は単独に使用され、装置近傍に配置された装置制御用のコンピュータのコンソールを介して装置の操作、モニタ等が行なわれていた。
【0004】また、CAD等で作成したLSI等のパターンは大型コンピュータ等で電子線描画装置固有の描画データフォマットに変換後、MT(磁気テープ)に記録され、ローカルエリアネットワーク等を介して電子線描画装置に転送されていた。
【0005】しかし、最近では、複数の電子線描画装置を用いてゲートアレイやカスタムLSI等のASIC、さらにはメモリ素子等の生産等が行なわれるようになっている。
【0006】電子線描画装置ではステッパのような描画パターンの変更に伴うレチクル交換が不要であり、ウエハの描画データやその手順デ−タ等を装置にローディングして描画パターンを変更できるので、複数の電子線描画装置を用いる場合には各装置の状態監視、キャリブレーション、描画パターンのデータ変換、描画手順の予約登録等を集中的かつ柔軟に管理する方が効率的である。
【0007】また、複数の電子線描画装置のオートビームコントロール等やキャリブレーション等も集中的に管理した方が効率的である。
【0008】また、最近のレチクルパターンは高集積化に伴い複雑化して1枚の描画当たり数時間を要するようになっているので、描画中は装置が無人運転される結果、トラブル等を途中で認識して迅速に対応することができなかった。
【0009】特開昭63−208215号公報には、複数の電子線描画系にそれぞれ描画デ−タ格納用の複数のバッファメモリを接続し、制御用計算機によりこれらの複数のバッファメモリを共通に管理して画像デ−タ格納部から各バッファメモリに所要の画像デ−タを記憶するようにして、各電子線描画系の描画領域内に異なる図形を連続して描画することが開示されている。
【0010】また、特開昭62−98724号公報には、1系統の制御用計算機から描画デ−タをバッファメモリに送って蓄え、デ−タ分解回路によりこの描像デ−タを分解して複数の電子光学系に分配し、各電子光学系は分配された描像デ−タにそれぞれの偏向歪補正を施してそれぞれの描画を行なうことが開示されている。
【0011】また、特開昭62−57215号公報には、1系統のパタ−ンデ−タ/システム管理部から複数のパタ−ン描画部にパタ−ンデ−タを同時に送って複数の材料(ウエハ)を同時に描画することが開示されている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術においては、描画デ−タを複数のメモリに分けて格納して描画領域内に異なる図形を連続して描画したり、1系統のパタ−ンデ−タ/システム管理部から複数のパタ−ン描画部にパタ−ンデ−タを同時に送って複数の材料(ウエハ)を同時に描画することができるものの、(1)複数台の電子線描画装置を遠隔地で集中的にモニタして装置状況を把握し集中管理したり、(2)複数台の装置履歴等を収集して管理し、(3)遠隔地から複数台の装置のキャリブレーション等を行ない、(4)上記装置パラメータ、プロセスパラメータ等により描画データを補正し、また、ウエハ上のチップ配列情報、描画手順等の情報等を修正して各電子線描画装置毎に個別に実行したりすることができないという問題があった。
【0013】本発明の目的は、上記の問題点を解決して複数台の装置を有機的に効率良く運用するようにした電子線描画装置を提供するにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するために、モニタ用コンピュータとを設け、上記電子線描画装置の1台または複数台とモニタ用コンピュータとをローカルエリアネットワーク等の通信路に接続して、上記各電子線描画装置の装置状態デ−タをモニタ用コンピュータにより集中管理するようにする。
【0015】このため、上記モニタ用コンピュータに、上記各電子線描画装置をリモート操作する機能を具備するようにする。
【0016】さらに、上記モニタ用コンピュータに、CAD等で作成したLSIパターンデータを上記電子線描画装置それぞれに固有の描画データに変換するデータ変換機能を具備するようにする。
【0017】さらに、上記モニタ用コンピュータに、上記電子線描画装置それぞれの描画に必要なウエハ上のチップ配列情報、装置に起因するパラメータ、プロセスに起因するパラメータ、描画手順等をファイルとして予約登録する機能を具備するようにする。
【0018】さらに、上記モニタ用コンピュータに、上記各電子線描画装置固有の描画データ、ウエハ上のチップ配列情報、パラメータ、描画手順等の情報を各電子線描画装置の要求に応じ転送するファイルサーバ機能を具備するようにする。
【0019】さらに、上記モニタ用コンピュータに、上記各電子線描画装置の装置状態情報を記録し、また、装置状態情報の経時変化等を出力するデータベース機能を具備するようにする。
【0020】さらに、上記モニタ用コンピュータに、上記装置状態の経時変化情報に基づいて部品交換時期等のメンテナンス情報を出力する機能を具備するようにする。
【0021】
【作用】上記モニタ用コンピュータはローカルエリアネットワーク等の通信路に接続された電子線描画装置の装置状態をモニタして集中管理する。
【0022】また、上記集中管理はモニタ用コンピュータから各電子線描画装置をリモート操作して行なう。
【0023】また、上記モニタ用コンピュータのデータ変換機能はCAD等で作成したLSIパターンデータを上記複数台の電子線描画装置それぞれに固有の描画データに変換する。
【0024】また、上記モニタ用コンピュータの予約登録機能は、上記複数台の電子線描画装置それぞれの描画に必要なウエハ上のチップ配列情報、装置に起因するパラメータ、プロセスに起因するパラメータ、描画手順等をファイルする。
【0025】また、上記モニタ用コンピュータのファイルサーバ機能は上記各電子線描画装置固有の描画データ、ウエハ上のチップ配列情報、パラメータ、描画手順等の情報を各電子線描画装置の要求に応じて転送する。
【0026】また、上記モニタ用コンピュータのデータベース機能は上記各電子線描画装置の装置状態情報を記録し、また、装置状態情報の経時変化等を出力する。
【0027】まあた、上記モニタ用コンピュータのメンテナンス情報出力機能は、上記装置状態の経時変化情報に基づいて部品交換時期等の情報を出力する。
【0028】
【実施例】図1は本発明による電子線描画装置実施例の構成図である。
【0029】図1において、クリーンルーム内に設置された電子線描画装置4、8、12等がローカルエリアネットワーク13を介してクリーンルーム外の遠隔地に配置されたモニタ用コンピュータ14に接続されている。なお、電子線描画装置が1台の場合も同様である。
【0030】また、電子線描画装置4は制御コンピュータ1、制御部2、電子線描画装置本体3で構成されている。同様に電子線描画装置8は制御コンピュータ5、制御部6、電子線描画装置本体7で構成され、電子線描画装置12は制御コンピュータ9、制御部10、電子線描画装置本体11で構成されている。
【0031】制御コンピュータ1は内部インターフェイスを介してローカルエリアネットワーク13と接続され、制御部2に所要の描画データを転送し、また、描画指令を発行して電子線描画装置本体3を制御する。
【0032】また、制御コンピュータ1は制御部2と電子線描画装置本体3の動作状態を定期的にモニタして、その装置状態ファイル15の装置状態データを更新する。
【0033】同様に、電子線描画装置8、12等の各制御コンピュータもそれぞれの制御系と電子線描画装置本体の動作状態をモニタして、それぞれの装置状態ファイルを更新する。
【0034】モニタ用コンピュータ14はローカルエリアネットワーク13のプロトコルを介して装置状態ファイル15、16、17を定期的に読み出し表示する。
【0035】図2はモニタ用コンピュータ14の上記装置状態表示例である。
【0036】装置状態ファイル15、16、17から読み出した装置状態デ−タを解釈して装置の動作状況、異常発生状況、装置各部の状態(装置本体の真空度、ウエハ搭載状況等)等を判り易く絵にして表示する。
【0037】図1では3台の電子線描画装置4、8、12がモニタされているので、図2では表示画面18を3分割して3台の装置状態を同時に表示している。この分割数はモニタする電子線描画装置の数に応じて増減される。
【0038】また、モニタ用コンピュータ14は上記装置状態デ−タを項目別に分類して対応する項目のファイルへ格納する。この結果、オペレータは例えば装置真空度の経時変化情報等を任意に指定して表示させることができる。
【0039】また、上記経時変化データを予め設定した基準値と比較して装置の再調整、部品の交換等のメンテナンス情報を生成して表示することもできる。
【0040】この他、各制御コンピュータ1、5、9等は、データ変換機能(CAD等で作成したLSIパターンデータ等を電子線描画装置固有のフォマットに変換しファイルに登録する機能)、描画手順ファイル作成機能(電子線描画装置を制御するコマンドの発行手順をファイルに予約登録する機能)、描画アレイ作成機能(描画ウエハ上のチップ配列、描画条件をファイルに登録する機能)等を備えている。
【0041】また、上記各機能をモニタ用コンピュータ14に移してモニタ用コンピュータ14上で上記データ変換、描画アレイファイル、描画手順ファイルの作成を行なうようにすることもできる。
【0042】また、オペレータがそれぞれの制御コンピュータ1端末から描画ウエハロツトのID情報を入力し、この情報をローカルエリアネットワーク13の通信プロトコルを介してモニタ用コンピュータ14に伝え、モニタ用コンピュータ14より予め作成済みのデータ変換されたデータファイル、描画手順ファイル、描画アレイファイルを折り返し受け取るようにするようにしてもよい。
【0043】また、モニタ用コンピュータ14から描画手順ファイルを1コマンド毎に対応する制御コンピュータ宛に転送するようにすれば、モニタ用コンピュータ14から各電子線描画装置4、8、12等をリモート操作することができる。
【0044】図3は上記データ変換操作、描画手順ファイル作成操作、描画アレイファイル作成操作、単独コマンドによるリモート操作等の手順をモニタ用コンピュータ14で実行する場合の表示画面例である。
【0045】上記各操作は、操作用のウインドウ19をすでに表示済みのモニタ表示上にオーバラップさせて実行し、コマンド発行時にはリモート操作する通信相手をローカルエリアネットワーク13を介して相手側に通知し決定する。
【0046】図4は上記本発明による電子線描画装置の集中管理の概念を説明するフローチャ−ト例である。
【0047】ステップ100にて、制御コンピュータ1、5、9等はそれぞれの制御部2、6、10を定期的にアクセスして対応する電子線描画装置4、8、12の装置状態を収集し、ステップ101にて各装置状態ファイルに記録する。
【0048】ステップ103にて、モニタ用コンピュータ14は制御コンピュータ1、5、9の装置状態ファイルをローカルエリアネットワーク13を介して読み出だし、ステップ104にて集中モニタに表示する。次いで、ステップ105にてモニタ用コンピュータ14は必要に応じて上記収集データを履歴ファイルに登録し、ステップ106にてこれを計時変化許容値を比較し、異常があれば集中モニタ上に警告を表示する。
【0049】また、ステップ107ではオペレータがモニタ用コンピュータ14からローカルエリアネットワークのリモート端末等の通信プロトコルを介してリモート操作により、描画に先立つ装置キャリブレーションやQC的に実施する装置キャリブレーションなどを指示し、ステップ108にて指示された制御コンピュ−タがこれを起動する。
【0050】図5は上記図4のステップ107、108の続きを示すフロ−チャ−トである。
【0051】ステップ109にて制御コンピュータ1、5、9等はオペレータがあ指定した描画ロットの描画データファイル、描画手順ファイル等をローカルエリアネットワーク13を介してモニタ用コンピュータ14より収集し、ステップ110にてこれらのファイルに従った描画を開始する。
【0052】一方、モニタ用コンピュータ14はステップ113にてローカルエリアネットワーク13を介した装置状態ファイルを読み取り、ステップ114にて装置異常を検知すると、ステップ115にてオペレータの指示により予定、または実行中の描画デ−タファイル、描画手順ファイル等を他の正常な装置へ振り替える。
【0053】電子線描画装置ではレチクルが不要なので、上記描画データファイル、描画手順ファイル等の転送のみにより、装置異常を迅速にバックアップすることができる。
【0054】
【発明の効果】以上述べたように、本発明では電子線描画装置4、8、12等をクリーンルーム外の遠隔地に配置したモニタ用コンピュータ14にローカルエリアネットワーク13を介して集中モニタするので、各電子線描画装置の状況を一括管理し全体の稼働効率を向上ことができる。
【0055】また、モニタ用コンピュータ14は各電子線描画装置をモニタして得た情報を逐次、項目別に分類してファイルにメモリするので、経時変化等の装置保守情報を管理し、部品交換時期等を事前に予想することができる。
【0056】また、モニタ用コンピュータ操作により、描画データ変換、描画手順ファイル作成等を実行して描画スケジュール等の生産工程を一括管理し、必要に応じ各描画装置へ転送するので複数の電子線描画装置を柔軟に運用することができる。




 

 


     NEWS
会社検索順位 特許の出願数の順位が発表

URL変更
平成6年
平成7年
平成8年
平成9年
平成10年
平成11年
平成12年
平成13年


 
   お問い合わせ info@patentjp.com patentjp.com   Copyright 2007-2013