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発明の名称 パルス計数用2次電子増倍管
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開平6−139994
公開日 平成6年(1994)5月20日
出願番号 特願平4−285683
出願日 平成4年(1992)10月23日
代理人 【弁理士】
【氏名又は名称】小川 勝男
発明者 宮田 忠玉
要約 目的
ベーキング装置を内蔵することにより、真空中で特性の回復が出来るパルス計数用2次電子増倍管を提供すること。

構成
質量分析により得られたイオンをパルス計数用2次電子増倍管内を走査することにより2次電子増倍管内部に汚れが発生する。この汚れを真空内で除去すべく、2次電子増倍管にヒータを内蔵させ、特性の劣化時ヒータを使用することにより真空中での特性の再生が出来る。
特許請求の範囲
【請求項1】真空中を飛んでくる電子やイオンを検出するパルス計数用2次電子増倍管において、ベーキング装置を内蔵し、真空中で特性を回復することを特徴としたパルス計数用2次電子増倍管。
発明の詳細な説明
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、LC(LIQUID CHROMATOGRAPHY)/API(ATOMOSPHERIC PRESSUREIONIZATION)質量分析方法及び、GC(GAS CHROMATOGRAPHY)質量分析方法に関する。
【0002】
【従来の技術】電子やイオンによる汚れにより、特性が劣化した場合、真空中におけるベーキングにより再生する点について配慮がされておらず、容易に特性の再生が出来ない問題があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、パルス計数用2次電子増倍管にヒータを付属させることにより、真空中でベーキングが出来、再生することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、真空中にあるパルス計数用2次電子増倍管をベーキング出来るようにしたものである。
【0005】
【作用】パルス計数用2次電子増倍管は、電子やイオンを検出する。
【0006】この検出により汚れを生じ特性の劣化が生じる。この劣化した特性を再生するため、パルス計数用2次電子増倍管にヒータを設け、ベーキングすることにより汚れを除去し再生することが出来る。
【0007】
【実施例】以下本発明の実施例を図1により説明する。質量分析計で得られたイオン1は、真空チャンバ6内の、高電圧3が印加されたパルス計数用2次電子増倍管2を通り電圧変換され、計測器4にて出力表示が行われる。このイオン1がパルス計数用2次電子増倍管2を通ることにより、パルス計数用2次電子増倍管2内部に汚れが生じる。このことにより、パルス計数用2次電子増倍管2の特性が劣化してしまう。この劣化した特性の再生のため、パルス計数用2次電子増倍管2部にヒータ5を設け、劣化した場合ベーキングすることにより特性の再生を行う。
【0008】
【発明の効果】本発明によれば、真空中においてパルス計数用2次電子増倍管の再生が出来るので、イオンや電子の検出における高感度化に効果がある。




 

 


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