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発明の名称 電子ビーム絞り装置
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開平6−139981
公開日 平成6年(1994)5月20日
出願番号 特願平4−285676
出願日 平成4年(1992)10月23日
代理人 【弁理士】
【氏名又は名称】小川 勝男
発明者 菊池 正美 / 高橋 忠範
要約 目的
本発明は、電子顕微鏡に用いる電子ビーム絞りに係り、その目的は、熱膨張より絞りが穴位置変化による電子光学系の軸じれを防止し、安定した像観察が可能な電子顕微鏡に用いる電子ビーム絞り装置を提供することにある。

構成
電子ビーム絞り板を二つ折りにするだけの簡単な構造で、電子ビーム絞り板16の熱膨張分のΔLと、補正板17の熱膨張分ΔLが同じ変化量で方向が逆となるため、結果として絞り穴の変化量を相殺することが可能となる。
特許請求の範囲
【請求項1】電子顕微鏡の加熱して用いる電子ビーム絞りに於て、絞りを貫通する電子ビームに対して、絞り穴の位置が熱膨張により、ずれを生じない機構を有したことを特徴とする電子ビーム絞り装置。
発明の詳細な説明
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子顕微鏡に於て熱膨張により、絞りの穴位置がずれ軸ずれを起こすことを補正した、電子顕微鏡のビーム絞りに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の電子顕微鏡の電子ビーム装置は、電子ビームが絞りに衝突した時に生ずる、コンタミネーションと呼ばれる炭化物の堆積を抑制するため、絞りを加熱し、長時間絞り表面を清浄に保つことができるようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の加熱絞り装置は、実使用状態に於て、加熱開始から定温になるまでの昇温過程で、絞りの熱膨張によって、絞り穴を貫通する電子ビームに対して絞り穴位置のドリフトが生じ、軸ずれが起こるため、定温に達するまでは絶えず絞り位置の補正を行っていた。
【0004】しかし、絞りが定温になるまでの間は、絞り穴位置のドリフトが像の伸び縮みや非点量の変化となって現れるため容易に精彩な像観察及び測定ができなかった。
【0005】本発明は、昇温過程での熱膨張による絞りの位置ずれをなくしたことによって、容易に像観察ができる電子顕微鏡に於ける電子ビーム絞り装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、この様な問題点を解決する手段として、一枚板の絞り板を折りまげ、二つ折りの構造とし、上下絞りの熱膨張を相殺することにより達成できる。
【0007】
【作用】上記した構成により図2に示す、加熱された下側の絞り(補正板)17は、A方向にΔL熱膨張し、また上側の絞り(電子ビーム絞り板)16は、その反対方向にΔL熱膨張する。結果として熱膨張分ΔLを互いに打ち消すことになる。このため電子ビーム2の貫通する絞り穴18の絶対位置は変化しないことになり、絞りの加熱過程に於て、絞り穴の絶対位置を保持することができる。よって、電子ビーム2に対して熱膨張で生ずる絞り穴18のずれが防止でき、軸ずれのない、安定した試料観察が可能となる。
【0008】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図3により説明する。
【0009】図3により電子銃1より照射された電子ビーム2は、第1陽極3と第2陽極4に引き出され、ビームモニター絞り5,収束レンズ6,対物電子ビーム絞り7,対物レンズ8を通過し、試料9に照射される。偏向コイル10により電子ビーム2を走査して、試料9から発生した二次電子11を、二次電子検出器12で捕え、増幅器及び制御回路13を通してTVモニター14に表示される。
【0010】図2に示すように、補正板17は熱膨張しA方向に伸びるが、同じ材質を用いた電子ビーム絞り板16は、逆方向に同じ量だけ熱膨張するので、結果的に電子ビーム絞り板16の絞り穴18の位置は動かない。補正板17には、電子ビーム2の通過を阻害しないようビームパス穴19があけられている。
【0011】本実施例では、二つ折りの上部を電子ビーム絞り板16に、下部を補正板17にしたが、上下その逆にしても効果は同じである。また、膨張率の異なる金属を接合して、用いることも可能で金属の組み合わせによっては更に高精度な絞り穴位置補正が期待できる。
【0012】本発明によれば、電子ビーム絞り板を二つ折りにするだけの簡単な構造で、電子ビーム絞りの熱膨張による絞り位置の変化を防ぐことができ、軸ずれのない安定した像観察が可能となる。
【0013】
【発明の効果】本発明によれば、絞り温度上昇過程に於て、熱膨張による絞り穴位置の変化による、電子光学系の軸ずれを防止することができ安定した試料観察が可能となる。また、装置の準備時間が大幅に短縮でき作業効率の向上が図れる。




 

 


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