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電子線描画装置 - 株式会社日立製作所
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発明の名称 電子線描画装置
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開平6−104165
公開日 平成6年(1994)4月15日
出願番号 特願平4−249944
出願日 平成4年(1992)9月18日
代理人 【弁理士】
【氏名又は名称】小川 勝男
発明者 加藤 慎一 / 伊藤 博之 / 早田 康成
要約 目的
電子線描画装置において、成形レンズにより一括露光成形絞り上にクロスオーバーを結像させる機能と、検出器を設けることにより、精度良い絞り開口の観察を可能とする電子光学系を提供すること。

構成
成形絞り31,一括露光成形絞り32,成形偏向器14,成形レンズ41,検出器15により構成される。
特許請求の範囲
【請求項1】電子銃より照射された電子線を、成形レンズ,矩形成形絞りと一括露光成形絞り、及び成形偏向器により任意図形に成形し試料面上に照射投影する一括露光電子光学系と、試料移動搬送系及びそれら制御系からなる電子線描画装置において、成形レンズによりクロスオーバーを一括露光成形絞り上に結像する機能を有することを特徴とした電子線描画装置。
【請求項2】請求項1において、一括露光成形絞り上方に2次電子あるいは反射電子を検出する手段を有し、絞り上のクロスオーバー像を走査することにより一括露光成形絞り上の開口の観察を可能としたことを特徴とした電子線描画装置。
【請求項3】絞り上にクロスオーバーを結像走査し、絞りからの反射電子,2次電子もしくは透過電子を検出し、絞り形状を観察することを特徴とする一括露光成形絞り観察方法。
発明の詳細な説明
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電子線描画装置および微細かつ複数の図形を有する一括露光成形絞りの観察方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の描画装置における成形絞りの観察は、図1に示すように絞りを透過した電子線をステージ上に設けた微粒子点上で面走査させ、走査する電子線形状が微粒子点より大きいことを利用し、発生する反射電子像により行われていた。
【0003】また、特開平3−217251 号公報には、絞り上に図形の認識コードパターンを設け、認識コードパターン上を電子線で操作し、発生する2次電子あるいは反射電子を検出し、間接的に認識する手法が開示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の重金属の微粒子点上で電子線を面走査させ、発生する反射電子により絞り開口を検出し観察する方法では、微粒子点の大きさが最小でも0.3μm程度であるので、0.3μm 以下のパターンに対応した成形絞り開口の形状を判別することが困難である。
【0005】本発明の目的は、微細パターンを有する一括露光成形絞りの観察出来る電子光学系を有する電子線描画装置を提供することに有る。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するために、成形レンズにより観察するパターンより小さなクロスオーバーを一括露光成形絞り上に結像させる機能をもたせ、クロスオーバーを走査し、発生した2次電子あるいは反射電子を検出器にて検出し、絞り開口を観察出来るようにした。
【0007】
【作用】成形レンズによりクロスオーバーを一括露光成形絞り上に結像させることが出き、検出器により絞り開口を観察することが出来る。
【0008】
【実施例】図1は従来の絞り開口観察方法、図2,図3は本発明による電子線描画装置実施例の構成図である。図2において、電子銃1から放出される電子線2は、成形絞り31,成形レンズ41,42,成形偏向器14,一括露光成形絞り32等により形状と電流密度を制御されて試料6に照射され、偏向器5により試料6上を走査される。CPU13は高圧電源8を制御して電子線2の電流値や加速電圧等を設定する。またCPU13は描画データをレンズ制御部9,成形制御部10,偏向制御部11等に送って各制御信号を発生する。またCPU13はステージ制御部12に描画位置を送ってステージ7の位置を制御する。また真空度は真空計16,真空検出部17により測定される。
【0009】次に図3により絞り開口の観察方法を説明する。電子線2は描画時において成形絞り31により所定の形状に成形され、一括露光成形絞り32の所定の開口に偏向照射され描画形状に成形される。観察時において成形レンズ41,42は、クロスオーバーを一括露光成形絞り32上に結像する機能に切り換えられ、クロスオーバーは観察するパターンより小さくなり、成形偏向器14または図形選択偏向器20により走査する。発生した反射電子は検出器15により検出され絞り開口の観察をすることが出来る。
【0010】また絞り像は、透過電子を試料上の反射電子検出機やステージのファラデーカップにより検出することで観察可能である。
【0011】
【発明の効果】本発明によれば、高精度な絞り開口の観察認識が可能と成る。




 

 


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