米国特許情報 | 欧州特許情報 | 国際公開(PCT)情報 | Google の米国特許検索
 
     特許分類
A 農業
B 衣類
C 家具
D 医学
E スポ−ツ;娯楽
F 加工処理操作
G 机上付属具
H 装飾
I 車両
J 包装;運搬
L 化学;冶金
M 繊維;紙;印刷
N 固定構造物
O 機械工学
P 武器
Q 照明
R 測定; 光学
S 写真;映画
T 計算機;電気通信
U 核技術
V 電気素子
W 発電
X 楽器;音響


  ホーム -> 電気素子 -> 日立電子エンジニアリング株式会社

発明の名称 薄膜部品の仮固定方法
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開平6−69324
公開日 平成6年(1994)3月11日
出願番号 特願平4−245584
出願日 平成4年(1992)8月21日
代理人 【弁理士】
【氏名又は名称】梶山 佶是 (外1名)
発明者 下田 勇一 / 高橋 直紀
要約 目的
薄膜部品に対するホットメルト固定法において、風圧による移動を防止してエアの噴き付けにより強制冷却し、冷却時間を短縮できる仮固定方法を提供する。

構成
薄膜部品1を搬送するハンドリング機構5に噴射ノズル62を設け、治具2に載置された薄膜部品1が移動しない程度の弱い風圧でエアAを噴き付けて、液状のワックス3を冷却して半硬化状態とし、ついで、より強い風圧でエアAを噴き付け、半硬化状態のワックス3を強制冷却して急速に完全硬化する。上記のエアAの風圧の強弱は、エア圧制御部64の制御によるか、または、ハンドリング機構5の移動による噴射ノズル62の距離変化により行う。
特許請求の範囲
【請求項1】 治具などの表面に塗布されたワックスを一定の温度に加熱して液状とし、ハンドリング機構により搬送され、該表面に載置された薄膜部品に対して、該ワックスを冷却・硬化して行う、前記治具などに対する該薄膜部品の仮固定において、前記ハンドリング機構に噴射ノズルを設け、該噴射ノズルにより前記治具に載置された薄膜部品が移動しない程度の弱い風圧でエアを噴き付けて、前記液状のワックスを冷却して半硬化状態とし、ついで、より強い風圧でエアを噴き付け、該半硬化状態のワックスを強制冷却して急速に完全硬化することを特徴とする、薄膜部品の仮固定方法。
【請求項2】 前記ハンドリング機構の移動により、噴射ノズルを薄膜部品に対して接近した一定の位置とし、エア制御部による該噴射ノズルの噴射エア圧の制御により、薄膜部品に対する前記弱い風圧または強い風圧の噴き付けをそれぞれ行う、請求項1記載の薄膜部品の仮固定方法。
【請求項3】 前記噴射ノズルの噴射エア圧を一定とし、前記ハンドリング機構の移動による噴射ノズルの距離制御により、薄膜部品に対する前記弱い風圧または強い風圧の噴き付けをそれぞれ行う、請求項1記載の薄膜部品の仮固定方法。
発明の詳細な説明
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、治具などの表面に対して薄膜部品をワックスにより仮固定する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体などの薄膜部品の加工や検査においては、これを治具に着脱容易に仮固定してなされる場合がある。この場合の仮固定方法には、ワックスを使用する、いわゆるホツトメルト法が好都合であるとして使用されている。図4によりこれを説明する。図4(a) において、治具2の上側表面にはワックス3が塗布されている。ワックス3は常温付近で完全に硬化し、加熱により温度が上昇するに従って漸次に軟化して半硬化状態となり、さらに温度が上昇すると遂に液状となる。治具2は加熱・冷却部4の加熱器41により加熱され、この熱が伝達されてワックス3を液状とし、これに薄膜部品1が載置される。加熱・冷却部4のポンプ43により配管42に冷却水Wを通し、ワックス3を常温付近に冷却して完全硬化させると、薄膜部品1は治具2に仮固定される。ついで、治具2は所定の位置に移動して薄膜部品1の加工または検査がなされ、これが終了すると、治具2再加熱してワックス3を液状とし、薄膜部品1が脱去される。この場合、薄膜部品1の処理を効率化するために脱去専用の加熱台(図示省略)を設け、これに治具2を載置して薄膜部品1を脱去する方法がとられている。以上のように温度によりワックス3が液状または硬化する性質を利用する仮固定方法はホットメルト固定法とよばれている。図4(b) は、配管42と冷却水Wの代わりに、ペルチェ素子44を設け、これにDC電流を通してワックス3を冷却する場合を示す。なお、ペルチェ素子44は電流の方向により発熱するので、これのみで冷却と加熱を行うことができ、その場合は当然加熱器41は不要である。
【0003】上記において、治具2に対する薄膜部品1の搬送・載置を自動化するために、ロボットハンドリング機構が使用されており、その一例を図5に示す。図5において、ハンドリング機構5はハンドリングアーム51の先端に、例えばエア吸着方式のチャック部52が設けられ、薄膜部品1はチャック部52にエア吸着され、アーム51の操作により治具2の上部に搬送されて下降し、治具2の表面に載置されて上記により仮固定される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記の冷却水Wによるワックス3の冷却方法においては、冷却または再加熱が治具2を介してなされるためかなりの時間を要し、すなわち温度に対する応答性が良好でない。また、この方法では配管42の水漏れが発生し易いばかりでなく、冷却水Wの温度上昇を防ぐために配管42などに放熱部が必要であるなどの欠点がある。また、上記のペルチェ素子44による冷却方法においては、水漏れの恐れがなく、電流の制御のみにより冷却または加熱が可能であるので機構が簡易な利点があるが、温度に対する応答性が良好でないことは冷却水Wの場合と同様である。最近における薄膜部品1の量産化に対応して、治具2に対する仮固定を迅速、効率的に行うことが必要とされ、すくなくとも冷却方式を改善することが要請されている。これに対して風力によりワックス3を強制冷却する方法が有効と考えられるが、載置された時点の薄膜部品は、ワックス3が液状のために風圧により移動するので、正しい位置に仮固定することができない。そこで、風圧を適当に制御してこの移動を防止する対策が必要である。この発明は以上に鑑みてなされたもので、風圧による移動を防止して強制冷却し、冷却時間を短縮できる薄膜部品の仮固定方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的を達成する薄膜部品の仮固定方法であって、薄膜部品を搬送するハンドリング機構に噴射ノズルを設ける。噴射ノズルにより、治具に載置された薄膜部品が移動しない程度の弱い風圧でエアを噴き付けて、液状のワックスを冷却して半硬化状態とし、ついで、より強い風圧でエアを噴き付け、半硬化状態のワックスを強制冷却して急速に完全硬化する。上記において、ハンドリング機構の移動により、噴射ノズルを薄膜部品に対して接近した一定の位置とし、エア圧制御部による噴射ノズルの噴射エア圧の制御により、薄膜部品に対する上記の弱い風圧または強い風圧の噴き付けをそれぞれ行う。または、噴射ノズルの噴射エア圧を一定とし、ハンドリング機構の移動による噴射ノズルの距離制御により、薄膜部品に対する上記の弱い風圧または強い風圧の噴き付けをそれぞれ行う。
【0006】
【作用】上記の仮固定方法においては、ハンドリング機構に設けられた噴射ノズルより、まず弱い風圧のエアが薄膜部品に噴き付けられて、液状のワックスの流動性にかかわらず薄膜部品は移動せず、ワックスは自然冷却より速く冷却して半硬化する。ついで、より強い風圧のエアが噴き付けられて、半硬化状態のワックスは強制冷却されて急速に完全硬化し、薄膜部品は治具に仮固定される。上記における弱い風圧または強い風圧の制御は、ハンドリング機構により噴射ノズルを薄膜部品に対して接近した一定の位置とし、エア圧制御部により噴射ノズルの噴射エア圧を制御してなされる。または、噴射ノズルの噴射エア圧を一定とし、ハンドリング機構により噴射ノズルの距離を制御してなされ、それぞれの噴き付けが行われる。以上により、仮固定に要する時間は従来に比較して著しく短縮される。
【0007】
【実施例】図1はこの発明の一実施例を示し、図2は図1に対する仮固定方法の手順の説明図、図3はこの発明の仮固定方法と、自然冷却および従来の冷却方法におけるワックスの冷却曲線の比較説明図である。
【0008】図1において、治具2には前記したワックス3が塗布されており、また治具2の下部には加熱器71を内蔵した加熱部7が設けられる。これに対して、ハンドリング機構5は前記した図5と同様のものとし、これにエア噴射機構6を設ける。エア噴射機構6は、ハンドリング機構5のチャック部52に対して、支持具61により噴射ノズル62を取り付け、噴射ノズル62はパイプ63によりエア圧制御部64に接続される。ただし、図では噴射ノズル62を1個としたが、薄膜部品1の大きさに対応して必要な個数を配列する。なお、チャック部52はパイプ53により吸気部54に接続されている。
【0009】図2と図3により、治具2に対する薄膜部品1の仮固定方法と、その時間短縮効果を説明する。図2(a) において、加熱器71により治具2を介してワックス3を加熱して液状とする。チャック部52に薄膜部品1を吸着し、アーム51の操作により薄膜部品1を搬送して治具2の表面に載置する。ここで、アーム51を操作してチャック部52を斜め上方の適当な位置に移動し、エア圧制御部64の制御により、噴射ノズル62より一定の噴射圧のエアAを噴射して薄膜部品1に噴き付ける。この噴き付け開始時点を図3のt0 とする。この場合、噴射ノズル62の位置はエアAの風圧が弱くて薄膜部品1が移動しない距離間隔とする。弱い風圧のエアAによりワックス3は、図3の曲線Q0 で示す自然冷却、または曲線Q1 で示す従来の冷却水方式より速い速度の曲線Q2 に沿って冷却し、時点t1 で半硬化する。半硬化により薄膜部品1はより強い風圧でも移動しないので、アーム51の操作により噴射ノズル62を(b) に示す位置に移動し、薄膜部品1に対してより強い風圧のエアAを噴き付けると、曲線Q3 に沿ってワックス3は強制冷却され、時点t2 で完全硬化して薄膜部品1は治具2に仮固定される。このあと、前記したように、治具2は所定の位置に移動して薄膜部品1に対する加工または検査がなされ、これが終了すると脱去専用の加熱台により薄膜部品1は治具2より脱去される。なお、治具2は複数個が用意されており、この脱去作業中に他の薄膜部品の仮固定と加工または検査処理が平行して行われる。図3において、曲線Q0,Q1 に対する完全硬化時点をt4,t3 とすると、これに比べてこの発明の方法における完全硬化時点t2 は大幅(実例では5分の1)に短縮されることが了解できる。以上は、噴射ノズル62の位置を変えてエアAの風圧を変化する方法であるが、噴射ノズル62を、図2(b) のように一定の位置に置き、エア圧制御部64により噴射エア圧を制御して薄膜部品1に対する風圧を変化させる方法でも、上記と同一の結果がえられることは明らかである。
【0010】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による薄膜部品の仮固定方法においては、ハンドリング機構に噴射ノズルを設け、薄膜部品に対して、まず弱い風圧のエアを噴き付けて、液状のワックスの流動性による薄膜部品の移動を回避し、ワックスを自然冷却、または従来の冷却水の方式より速く冷却して半硬化し、ついで、より強い風圧のエアを噴き付けて、ワックスを強制冷却して急速に完全硬化し、薄膜部品を治具に仮固定するもので、風圧の強弱は、噴射ノズルを一定の位置とし、エア圧制御部により噴射エア圧を制御するか、または、噴射エア圧を一定とし、噴射ノズルの距離間隔を変化する方法により行われ、いずれにしても仮固定に要する時間は従来に比較して著しく短縮され、薄膜部品の量産化に寄与するところには大きいものがある。




 

 


     NEWS
会社検索順位 特許の出願数の順位が発表

URL変更
平成6年
平成7年
平成8年
平成9年
平成10年
平成11年
平成12年
平成13年


 
   お問い合わせ info@patentjp.com patentjp.com   Copyright 2007-2013