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発明の名称 制御装置
発行国 日本国特許庁(JP)
公報種別 公開特許公報(A)
公開番号 特開平6−45235
公開日 平成6年(1994)2月18日
出願番号 特願平4−193653
出願日 平成4年(1992)7月21日
代理人 【弁理士】
【氏名又は名称】小川 勝男
発明者 松岡 玄也 / 川野 雅道 / 高田 郁夫 / 佐々木 実
要約 目的


構成
装置の制御に必要な複数の画面を制御用表示装置に表示するとともに、それぞれの制御に必要な複数画面が重ならないように表示する。また、装置の使用形態に応じて、最適な操作画面が表示出来るように、画面情報を記憶する。
特許請求の範囲
【請求項1】表示装置を用いた制御装置において、装置の制御に必要な複数の画面を前記表示装置に表示する際に、制御に必要な複数の画面が重ならないように表示することを特徴とする制御装置。
【請求項2】表示装置を用いた制御装置において、装置の制御に必要な複数の画面を前記表示装置に表示して装置制御を行なう際に、制御に必要な複数の画面が重ならないように表示するとともに、同一機能を有する操作画面を複数個同時表示する機能をもつことを特徴とする制御装置。
【請求項3】請求項1または2において、表示する画面の種類,大きさ,表示する位置等の表示条件を記憶格納する機能を設け、制御の使用形態に応じて、これらの記憶された情報に従って制御画面を表示する機能を設けた制御装置。
【請求項4】請求項1,2または3において、制御用計算機を用い、表示装置に前記制御用計算機のモニタ画面を用いた制御装置。
【請求項5】請求項1乃至4のいずれか記載の制御装置を用いた電子線描画装置。
発明の詳細な説明
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は装置の制御を制御用表示装置を用いて制御する装置に係り、特に、電子線描画装置の制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】電子線描画装置の制御では、制御用計算機を用いて装置制御が行なわれる。図1は、電子線描画装置の概略構成を示したものである。装置を構成する電子光学鏡筒101は、電子銃102,偏向器103,電子レンズ104等から構成され、それぞれ、高圧電源109,偏向制御回路110,レンズ制御回路111でもって制御される。試料室105内には、試料台106,反射電子検出器107が有り、試料台の制御は、駆動回路、及び、レーザ干渉計からなる試料台制御回路113で制御される。また、反射電子検出器107からの信号は、信号処理回路112で処理される。電子光学鏡筒101、及び、試料室105は、真空排気装置108で真空に排気されている。排気装置は、真空制御回路114によって制御されている。制御回路の内、描画に直接関係する偏向制御回路110,信号処理回路112,試料台制御回路113が、インタフェィス115を介して制御用計算機116と結合されている。制御用計算機116には、入力用キーボード117、及び、表示装置118が備えてある。電子線描画装置を用いて描画を行なう際には、装置使用者はキーボード117から必要な命令を入力し、装置の動作状態を表示装置118で確認していた。図1に示した装置では、その他の回路の制御、例えば、高圧電源の制御には、電源専用の操作パネル120を用いて制御を行なっていた。同様に、レンズ電流の制御には操作パネル121を、真空排気系の制御にはパネル122を使用していた。従って、装置使用者は制御計算機116だけでなく、その他の操作パネルを操作する必要があり、操作上不便であった。
【0003】図2は、このような不便さを考慮して設計された従来の電子線描画装置の構成である。全ての制御回路109,110,111,112,113,114は、インタフェィス115でもって制御用計算機116と結合されている。従って、装置の全ての回路は、制御計算機116から制御することが可能である。制御用計算機には、図1に示した入力用キーボード117、及び、表示装置118に加えてポインティングデバイス119が備えてある。
【0004】このような構成の電子線描画装置を制御する場合には、装置使用者は入力用キーボード117、あるいはポインティングデバイス119を用いて必要な命令を入力し、制御結果は表示装置118で確認する。従来の制御装置では、命令をキーボード117から入力する方式が主流であったが、操作性の向上の点からポインティングデバイス119を用いて命令を入力する方法がとられるようになってきている。その場合には、表示装置118には、従来の各制御回路の操作パネル120,121,122等に対応する複数の操作画面が表示され、その画面上のスイッチ、あるいは、つまみをポインティングデバイスで操作することによって、装置制御が行なえるようになっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】一般に、装置を制御するには、複数の制御回路を用いて行なう。例えば、電子線描画装置では、図1、あるいは、図2に示したように、多数の制御回路が必要である。従って、表示装置118に表示すべき操作画面は、複数個必要となる。
【0006】この操作画面は、装置を制御する制御ソフトウェアの一機能として開発される。しかし、一般に、制御ソフトウェアの規模が大きいため、プログラムの開発では、複数のプログラム開発担当者が、個々の制御回路を制御するソフトウェアの開発を担当することになり、その結果、各制御回路の操作画面が、重なり合ってしまうことが多い。図3にその一例を示す。表示装置118の画面には、操作用の画面301,302,303,304の4種類の画面が表示されている。各画面は、それぞれ独立の機能の制御を担当している。一例を挙げると、画面301は電子銃の状態を示し、画面302は偏向系の操作画面であり、画面303はレンズ操作画面、画面304はSEM像表示画面である。
【0007】装置使用者は、これらの画面と、ポインティングデバイス119を用いて装置制御を行なうことが出来る。しかし、実際に装置を制御する際には、例えば、SEM表示画面304を観察しつつ、偏向系やレンズ系の条件を変更することが多い。あるいは、電子光学鏡筒内に、複数の偏向器が存在する場合にはそれらの偏向条件を変化させつつSEM像を観察することがしばしばである。このような操作を行なうに際して、図3に示されるような従来の画面では、必要な都度、装置制御に必要とする画面を、重なりあった画面の一番上に持ってくる操作が必要となる。更に、複数の偏向器の条件を変えるには、その都度、偏向器を制御する画面を切り替える手間が必要であった。従って、装置に指示を与える前に、必要とする画面を前面に出す画面選択の操作が必要となり、更に、同一機能を有する操作画面における、異なった状態での情報を同時には得られないこともあって、操作性の上で非常に煩雑となっていた。
【0008】本発明の目的は、従来の装置制御における操作性の不都合さを解決することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するために、本発明における装置制御装置では、複数の操作画面が重畳しない様に考慮される。あるいは、同一機能を有する画面を複数個表示できように考慮する。特定の装置の制御を目的とする表示装置の画面では、必要とする画面の個数は限られており、従って、各々の画面の大きさ,位置などを、あらかじめ決定しておいても問題は無い。更に、本発明では、最適な画面の表示方法を記憶する回路を設け、常に操作しやすい画面を提供する。
【0010】
【作用】装置制御時に同時に操作する、あるいは、観察する画面を重畳しないように表示するため、画面選択の操作が不必要となるので、操作性が格段に向上する。
【0011】
【実施例】以下に、本発明に基づく制御装置を、電子線描画装置に適用した場合を例にとって説明する。図4は、操作用の画面の一例を示したものである。本実施例では、表示画面を同図(a)に示すように画面を6個の区画に分割し、制御画面は、この区画を単位として表示するようにした。図4(b)は表示例である。同画面には、401,402,403,404の4種の画面が表示されている。各画面は、それぞれ、電子銃,偏向系,レンズ及び、SEM機能を操作する画面である。各画面の大きさは区画を単位として決められており、画面401は2個の区画の大きさであり、その他は1区画分の大きさで表示されている。このように表示することによって、各制御画面は重畳すること無く表示されるので、画面選択の操作が不必要となり操作性が向上する。更に、別種の偏向器の操作画面が必要となった場合には、同図(c)に示すように、もう1個の区画を用いて表示することが可能である。また、1個の区画の大きさでは不充分の場合には、同図(d)の様にすることも可能である。図4に示した例では、最大6種類の画面しか表示できないが、装置制御に必要とされる制御画面の最大個数は、必ずしも6個に限られるものではない。事前の検討により区画の個数を決定すれば良く、従って、図4に示した例より区画の個数を多くし、それを単位として表示してもよい。
【0012】図5は、本発明の他の実施例を示したものである。同図は図2で示した電子線描画装置の構成を示している。しかし、装置には図2の場合とは異なり、制御用画面の表示情報を記憶する装置501が備えてあり、最適の操作画面を記憶する機能をもつ。記憶する表示情報は、表示する画面の種類,大きさ,画面上の位置,配色などが含まれる。
【0013】例えば、描画を行なう際には図6(a)に示すように、描画の経過を表示する601画面と、試料台の状態を表示する602画面、更に、電子ビームの偏向の様子をモニタする603画面を用いて描画を行なうのが、最も、操作しやすい制御画面であったとすると、装置操作者は、制御用計算機に命じて画面の表示情報を、記憶装置501に記憶させることが可能である。画面情報を登録後は、最適化された画面が、描画時に表示されることになる。また、装置の使用形態が描画とは異なった状態の場合、例えば、電子光学鏡筒の調整に対しては、異なった種類の操作画面を登録することも可能である。この方式を採用することによって、装置の状態ごとに最適な制御画面を登録することが可能となり、装置の操作性が格段に向上する。
【0014】本発明は、必要とする操作画面を重畳させないことを目的としている。従って、同時に操作する必要のない画面が重なって表示されても、本発明の目的を逸脱するものではない。図6(b)は同図(a)のように、電子線描画に適した3種類の画面を表示しつつ描画を行なっている最中に、次の描画に備えて他の描画データの処理を同時に行ない、その様子を画面604で監視している例である。この場合、画面604は一時的に表示されるものであり、従って、同画面は他の画面と重畳して表示されても問題は無い。描画データの処理の経過を確認した後は、画面604は消去されて、再び、画面は図6(a)の状態に戻り、現在進行中の電子線描画経過をモニタすることになる。
【0015】
【発明の効果】装置の制御に必要な画面が重畳すること無く表示されるので、画面選択の操作が不要となり、操作性が格段に向上し、誤操作を防ぐことができる。また、電子線描画装置の使用形態に応じて、最適な制御画面を選択することが可能となる。




 

 


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